The utility model provides a testing system for the wafer, the system includes tester, microcontroller and probe card tester for the first test of the wafer, the MCU receives the start signal tester, MCU second test on the wafer through the encryption algorithm, the probe card welding connection probe, probe contact wafer. A probe card is provided with a receiving instrument first on-off signal and the first microcontroller interface, the first probe group connected to the first relay, receiving tester second on-off signal and second MCU interface, second probe sets connected second relay and receiving third on-off signal and third probe sets connected to the third relay group. The first second single-chip microcontroller interface, interface chip, probe card to complete the connection of each test unit. The test instrument and the single chip microcomputer are tested separately, and the relay on the probe card is used to switch, which can greatly improve the test efficiency.
【技术实现步骤摘要】
用于晶圆测试的探针卡及测试系统
本技术涉及半导体领域,尤其是涉及一种用于晶圆测试的探针卡及测试系统。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC芯片。在晶圆制造完成之后,晶圆测试是一步非常重要的测试,晶圆测试是对晶片上的每个IC芯片进行测试,通过与芯片上的外触点(pad)接触,测试其电气特性,看是否符合出厂标准。晶圆测试时一般通过专门的测试仪进行测试,而测试仪在设计时,只有一些较常用的测试项目打包进了测试仪,验证芯片的逻辑功能都采用固定的测试模式来实现。但是随着芯片产品的多元化,有些功能测试仪再也无法单独完成,如某些芯片具有随机码,在获取到了随机码之后,运行加密算法,然后才能计算出对芯片操作的指令,故不同IC芯片的指令都不相同,导致现有的测试仪的固定测试模式无法实现良好的适应性。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种具有良好测试效率的用于晶圆测试的探针卡及测试系统。为实现上述的主要目的,本技术提供的探针卡包括电路板,所述电路板上设置有:圆形通孔,沿圆形通孔的边缘位置设置有焊接位,焊接位沿圆形通孔的周向连接有第一探针组、第二探针组和第三探针组,第一探针组、第二探针组和第三探针组均包括探针,探针的第一端连接焊接位,探针的第二端贯穿圆形通孔;第一单片机接口;第一继电器,第一继电器与第一单片机接口、第一探针组连接;第二单片机接口;第二继电器,第二继电器与第二单片机接口、第二探针组连接;第三继电器组,第三继电器组与第三探针组连接。由此可见,探针卡上的探针与晶圆接触,在晶圆电气特性测试过程中,完 ...
【技术保护点】
用于晶圆测试的探针卡,其特征在于,包括电路板,所述电路板上设置有:圆形通孔,沿所述圆形通孔的边缘位置设置有焊接位,所述焊接位沿所述圆形通孔的周向连接有第一探针组、第二探针组和第三探针组,所述第一探针组、所述第二探针组和所述第三探针组中的探针的第一端连接所述焊接位,所述探针的第二端贯穿所述圆形通孔;第一单片机接口;第一继电器,所述第一继电器与所述第一单片机接口、所述第一探针组连接;第二单片机接口;第二继电器,所述第二继电器与所述第二单片机接口、所述第二探针组连接;第三继电器组,所述第三继电器组与所述第三探针组连接。
【技术特征摘要】
1.用于晶圆测试的探针卡,其特征在于,包括电路板,所述电路板上设置有:圆形通孔,沿所述圆形通孔的边缘位置设置有焊接位,所述焊接位沿所述圆形通孔的周向连接有第一探针组、第二探针组和第三探针组,所述第一探针组、所述第二探针组和所述第三探针组中的探针的第一端连接所述焊接位,所述探针的第二端贯穿所述圆形通孔;第一单片机接口;第一继电器,所述第一继电器与所述第一单片机接口、所述第一探针组连接;第二单片机接口;第二继电器,所述第二继电器与所述第二单片机接口、所述第二探针组连接;第三继电器组,所述第三继电器组与所述第三探针组连接。2.根据权利要求1所述的用于晶圆测试的探针卡,其特征在于:所述第三继电器组包括三个继电器,三个所述继电器均与所述第三探针组连接。3.用于晶圆测试的测试系统,其特征在于,包括:测试仪,所述测试仪对所述晶圆进行第一测试;单片机,所述单片机接收所述测试仪的启动信号,所述单片机通过加密算法对所述晶圆进行第二测试;探针卡,所述探针卡包括电路板,所述电路板上设置有:圆形通孔,沿所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴俊,熊强,袁志伟,
申请(专利权)人:珠海市中芯集成电路有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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