WAT测试监控系统技术方案

本实用新型专利技术揭示了一种WAT测试监控系统，用于对WAT测试机台进行监控，所述WAT测试机台包括卡盘以及若干个探针，所述WAT测试监控系统包括所述WAT测试机台和一晶圆，其中：所述晶圆包括第一掺杂类型的衬底、形成于所述衬底中的第二掺杂类型的阱以及若干个垫片，若干个所述垫片分别与所述阱电连接；所述晶圆用于放在所述卡盘上，以使所述衬底与所述卡盘电连接；若干个所述探针与若干个所述垫片一一对应，所述垫片用于与对应的所述探针电连接。所述WAT测试监控系统可以监控WAT测试机台的供电线路和探针的异常情况，从而提高WAT测试的结果的准确性。

WAT test monitoring system

The utility model discloses a WAT test monitoring system for monitoring the WAT test machine, the WAT test machine includes a chuck and a plurality of probes, the WAT test monitoring system including the WAT test machine and a wafer, wherein the wafer comprises a substrate, a first doping type formed the substrate in the second doped type wells and a plurality of pads, a plurality of pads are respectively connected with the electric well; the wafer used on the chuck, so that the substrate and the chuck is electrically connected; a plurality of probes and a plurality of pads corresponding the gasket for connecting with the corresponding electric probe. The WAT test monitoring system can monitor the abnormal conditions of the power supply lines and probes of the WAT test machine, thus improving the accuracy of the results of the WAT test.

【技术实现步骤摘要】
WAT测试监控系统
本技术涉及半导体测试
，特别是涉及一种WAT测试监控系统。
技术介绍
WAT(Waferacceptancetest，晶圆验收测试)是在工艺流程结束后对芯片做的电性测量，用来检验各段工艺流程是否符合标准，测试项目包括器件特性测试、电容测试、接触电阻测试、击穿测试等。一般在WAT测试机台上设置卡盘(chuck)，将需要测试的晶圆或者芯片放置在卡盘上，使用探针扎晶圆或者芯片上的焊垫或者凸块，即加压(overdrive)，从而对该晶圆进行测试。然而，在现有技术中，经常出现卡盘向晶圆供电的供电线路故障，或探针电阻增加，导致WAT测试的结果不准确。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种WAT测试监控系统，可以监控WAT测试机台的供电线路和探针的异常情况，从而提高WAT测试的结果的准确性。为解决上述技术问题，本技术提供一种WAT测试监控系统，一种WAT测试监控系统，用于对WAT测试机台进行监控，所述WAT测试机台包括卡盘以及若干个探针，其特征在于，所述WAT测试监控系统包括所述WAT测试机台和一晶圆，其中：所述晶圆包括第一掺杂类型的衬底、形成于所述衬底中的第二掺杂类型的阱以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种WAT测试监控系统，用于对WAT测试机台进行监控，所述WAT测试机台包括卡盘以及若干个探针，其特征在于，所述WAT测试监控系统包括所述WAT测试机台和一晶圆，其中：所述晶圆包括第一掺杂类型的衬底、形成于所述衬底中的第二掺杂类型的阱以及若干个垫片，若干个所述垫片分别与所述阱电连接；以及所述晶圆用于放在所述卡盘上，以使所述衬底与所述卡盘电连接；若干个所述探针与若干个所述垫片一一对应，所述垫片用于与对应的所述探针电连接。

【技术特征摘要】
1.一种WAT测试监控系统，用于对WAT测试机台进行监控，所述WAT测试机台包括卡盘以及若干个探针，其特征在于，所述WAT测试监控系统包括所述WAT测试机台和一晶圆，其中：所述晶圆包括第一掺杂类型的衬底、形成于所述衬底中的第二掺杂类型的阱以及若干个垫片，若干个所述垫片分别与所述阱电连接；以及所述晶圆用于放在所述卡盘上，以使所述衬底与所述卡盘电连接；若干个所述探针与若干个所述垫片一一对应，所述垫片用于与对应的所述探针电连接。2.如权利要求1所述的WAT测试监控系统，其特征在于，所述WAT测试机台还包括至少一供电线路，所述供电线路向所述卡盘供电。3.如权利要求2所述的WAT测试监控系统，其特征在于，所述WAT测试监控系统用于测试所述供电线路，且测试时：所有的所述探针并联，所有的所述探针分别与对应所述垫片电连接；所有的所述探针与所述供电线路电连接，在所述供电线路、卡盘、衬底、探针之间形成一电流回路。4.如权利要求3所述的WAT测试监控系统，其特征在于，所述供电线路与所述探针之间串联一电流检测装置。5.如权利要求3所述的WAT测试监控系统，其特征在于，所有的所述垫片通过导线并联，以实现所有的所述探...

【专利技术属性】
技术研发人员：田学艳，郑春玉，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12