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本实用新型揭示了一种WAT测试监控系统，用于对WAT测试机台进行监控，所述WAT测试机台包括卡盘以及若干个探针，所述WAT测试监控系统包括所述WAT测试机台和一晶圆，其中：所述晶圆包括第一掺杂类型的衬底、形成于所述衬底中的第二掺杂类型的阱以...该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。