一种硅片中转装置制造方法及图纸

技术编号:17109910 阅读:23 留言:0更新日期:2018-01-24 22:30
本实用新型专利技术公开了一种硅片中转装置,包括中转部、调节组件和多个伸缩组件,所述中转部包括多个中转板,所述中转板用于承载硅片,多个所述中转板平行等间距设置;所述伸缩组件的两端分别连接相邻设置的两个所述中转板;所述调节组件通过拉伸或压缩所述伸缩组件来调整相邻的两个所述中转板之间的间距。通过调节相邻中转板之间的间距,将中转板插入对应规格的花篮内的硅片之间,通过中转板托起硅片并取出,再次调整相邻中转板之间的间距,可以将中转板上的硅片转移到对应规格的花篮中,操作简单、方便,避免硅片错位、划伤或擦伤硅片表面。

A silicon wafer transfer device

The utility model discloses a wafer transfer device, including transit, adjusting component and a plurality of expansion components, the transfer part comprises a plurality of transfer board, the transit board for carrying the silicon wafer, a plurality of the transfer plate parallel arranged equidistantly; both ends of the telescopic assembly are respectively connected with the adjacent set two the transfer plate spacing; the adjustment assembly by stretching or compressing the telescopic assembly to adjust the two adjacent the transit between the plates. The spacing between the adjacent transit regulation board, the transfer plate is inserted between the silicon wafer corresponding specifications of the flower basket, through the transit board and hold the wafer out, re adjust the spacing between the adjacent transfer plate, can be converted to silicon plate on the transfer to the corresponding specifications of the basket, the operation is simple and convenient, avoid silicon dislocation, scratch or a scratch on silicon wafer surface.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片中转装置
本技术涉及太阳能电池片
,尤其涉及一种硅片中转装置。
技术介绍
花篮是用于放置硅片的一种载具,在生产硅片的过程中,比如进行制绒时,需要将硅片放置在花篮中后整体放入药槽中,与相应的药液反应。目前,在生产过程中需要使用三种规格的花篮,分别为硅片间距为4.7mm且能够放置100片硅片的花篮、硅片间距为4mm且能够放置50片硅片的花篮以及硅片间距为4.7mm且能够放置25片硅片的花篮。工作人员在生产过程中,需要将硅片在不同规格的花篮之间进行中转,一般有两种中转方式:一种是使用镊子将硅片一片一片导入指定规格的花篮中,这种中转方式的耗时长、效率低,且镊子容易划伤硅片,影响硅片质量;另一种是将两种规格的花篮对接,将硅片推入指定的花篮中,这种中转方式需要保证花篮对接的位置准确以及施力大小适当,若花篮对接位置不准确容易导致硅片错位及表面划伤、擦伤,若施力过大会导致硅片碎片,对工作人员的操作熟练程度要求较高。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种操作简单、方便的硅片中转装置。为达此目的,本技术采用以下技术方案:一种硅片中转装置,包括:中转部,所述中转部包括用于承载硅片的多个中转板,多个所述中转板平行等间距设置;多个伸缩组件,每个所述伸缩组件的两端分别连接相邻设置的两个所述中转板;及调节组件,所述调节组件通过拉伸或压缩所述伸缩组件来调整相邻的两个所述中转板之间的间距。其中,所述调节组件包括千分尺,所述中转部的底部位于所述千分尺的框架内,且位于两端的两个所述中转板中的一个与所述千分尺的螺杆连接、另一个与所述框架远离所述螺杆的端部的侧壁连接。其中,所述伸缩组件包括连接部以及第一连接杆,所述第一连接杆的中部与所述连接部转动连接,所述第一连接杆的两端分别与相邻设置的两个所述中转板滑动连接,且多个所述第一连接杆首尾连接;所述调节组件还包括光轴,所述光轴的两端与所述框架固定,所述连接部和所述中转板均套设于所述光轴并与所述光轴滑动连接。其中,所述伸缩组件还包括与所述第一连接杆交叉设置的第二连接杆,所述第二连接杆的中部与所述连接部转动连接,所述第二连接杆的两端分别与相邻设置的两个所述中转板滑动连接,且多个所述第二连接杆首尾连接。其中,所述伸缩组件还包括弹簧,所述弹簧的两端分别与所述第一连接杆和所述第二连接杆连接。其中,所述中转板的侧部在所述第一连接杆的端部和所述第二连接杆的端部的相应位置处均竖向开设有活动孔,相邻的两个所述第一连接杆的端部铰接且能够沿对应的所述活动孔上下滑动,相邻的两个所述第二连接杆的端部铰接且能够沿对应的所述活动孔上下滑动。其中,所述第一连接杆的两端中任一个设置有第一连接轴、另一个设置有第一连接孔,相邻的两个所述第一连接杆的所述第一连接轴和所述第一连接孔配合以实现铰接;所述第二连接杆的两端中任一个设置有第二连接轴、另一个设置有第二连接孔,相邻的两个所述第二连接杆的所述第二连接轴和所述第二连接孔配合以实现铰接;所述第一连接轴和所述第二连接轴均能够沿对应的所述活动孔滑动。其中,相邻的两个所述中转板之间设置有两个所述伸缩组件,两个所述伸缩组件分别设置于所述中转板的两端。其中,所述调节组件还包括移动板,所述移动板通过轴承与所述螺杆的端部连接,且所述移动板以所述螺杆的中心轴线对称,所述中转部的端部的所述中转板与所述移动板固定连接。其中,所述中转板伸出所述框架外的长度为硅片边长的2/3-1倍。有益效果:本技术提供了一种硅片中转装置,通过调节组件拉伸或压缩伸缩组件,调节相邻中转板之间的间距,将中转板插入对应规格的花篮内的硅片之间,通过中转板托起硅片并取出,再次调整相邻中转板之间的间距,可以将中转板上的硅片转移到对应规格的花篮中,操作简单、方便,避免硅片错位、划伤或擦伤硅片表面。附图说明图1是本技术提供的硅片中转装置的结构示意图;图2是本技术提供的硅片中转装置的部分结构示意图;图3是本技术提供的伸缩组件的结构示意图;图4是本技术提供的移动板的结构示意图;图5是本技术提供的中转板的结构示意图。其中:1、中转部;11、中转板;111、活动孔;112、通孔;2、伸缩组件;21、连接部;22、第一连接杆;221、第一连接轴;222、第一连接孔;23、第二连接杆;231、第二连接轴;232、第二连接孔;24、弹簧;3、千分尺;31、框架;32、移动板;321、轴承;33、光轴;34、螺杆。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图1-图5所示,本技术提供了一种硅片中转装置,包括中转部1、调节组件和多个伸缩组件2,中转部1包括多个中转板11,中转板11用于承载硅片,多个中转板11平行等间距设置;伸缩组件2的两端分别连接相邻设置的两个中转板11;调节组件通过拉伸或压缩伸缩组件2来调整相邻的两个中转板11之间的间距。通过调节相邻中转板11之间的间距,使硅片中转装置中的中转板11之间的间距与装载硅片的花篮相适应,将中转板11插入对应规格的花篮内的硅片之间,使中转板11托起硅片并由花篮中取出,再次调整相邻中转板11之间的间距后,使其与转移的目标花篮的规格相适应,将中转板11伸入目标花篮内,可以将中转板11上的硅片转移到对应规格的花篮中,从而完成硅片的中转操作,操作简单、方便,降低工作人员的操作难度,避免硅片错位;通过中转板11承载硅片可以避免硅片表面划伤或擦伤。具体而言,调节组件包括千分尺3,中转部1的底部位于千分尺3的框架31内,且中转部1位于两端的两个中转板11中的一个与千分尺3的螺杆34连接、另一个与框架31远离螺杆34的端部的侧壁(即框架31与螺杆34相对的侧壁)连接,使得中转部1的一端固定、另一端可以在螺杆34的带动下移动。工作人员通过旋转千分尺3的旋钮调节螺杆34伸出的距离,带动与之连接的中转板11运动,从而挤压或拉伸伸缩组件2,调整相邻中转板11之间的间距,还可以通过读取千分尺3的读数确定调整后相邻中转板11之间的距离。为方便中转板11伸入花篮内托起硅片,中转板11伸出框架31外的长度可以为硅片边长的2/3-1倍,以使硅片能平稳的放置于中转板11上,避免硅片跌落破损。本技术中的伸缩组件2包括连接部21和第一连接杆22,第一连接杆22的两端分别连接相邻设置的两个中转板11,第一连接杆22与连接部21转动连接,伸缩组件2的连接部21的外表面可以设置有环形槽,第一连接杆22的中间部位可以为圆环,圆环套设于环形槽并可在环形槽内转动,从而实现第一连接杆22与连接部21的转动连接;第一连接杆22倾斜设置于相邻的两个中转板11之间,且第一连接杆22的两端与中转板11滑动连接。使用时,工作人员通过调节组件拉伸或压缩中转部1,使得相邻中转板11之间的第一连接杆22绕连接部21转动,从而改变相邻中转板11之间的距离,以适应不同规格的花篮;为实现多个第一连接杆21的联动,调节组件还包括光轴33,光轴33的两端固定于框架31,连接部21和中转板11套设于光轴33并能够沿光轴33滑动,多个第一连接杆22首尾铰接后与中转板11滑动连接。当旋转千分尺3的旋钮时,螺杆34推动端部的中转本文档来自技高网...
一种硅片中转装置

【技术保护点】
一种硅片中转装置,其特征在于,包括:中转部(1),所述中转部(1)包括用于承载硅片的多个中转板(11),多个所述中转板(11)平行等间距设置;多个伸缩组件(2),每个所述伸缩组件(2)的两端分别连接相邻设置的两个所述中转板;及调节组件,所述调节组件通过拉伸或压缩所述伸缩组件(2)来调整相邻的两个所述中转板(11)之间的间距。

【技术特征摘要】
1.一种硅片中转装置,其特征在于,包括:中转部(1),所述中转部(1)包括用于承载硅片的多个中转板(11),多个所述中转板(11)平行等间距设置;多个伸缩组件(2),每个所述伸缩组件(2)的两端分别连接相邻设置的两个所述中转板;及调节组件,所述调节组件通过拉伸或压缩所述伸缩组件(2)来调整相邻的两个所述中转板(11)之间的间距。2.如权利要求1所述的硅片中转装置,其特征在于,所述调节组件包括千分尺(3),所述中转部(1)的底部位于所述千分尺(3)的框架(31)内,且位于两端的两个所述中转板(11)中的一个与所述千分尺(3)的螺杆(34)连接、另一个与所述框架(31)远离所述螺杆(34)的端部的侧壁连接。3.如权利要求2所述的硅片中转装置,其特征在于,所述伸缩组件(2)包括连接部(21)以及第一连接杆(22),所述第一连接杆(22)的中部与所述连接部(21)转动连接,所述第一连接杆(22)的两端分别与相邻设置的两个所述中转板(11)滑动连接,且多个所述第一连接杆(22)首尾连接;所述调节组件还包括光轴(33),所述光轴(33)的两端与所述框架(31)固定,所述连接部(21)和所述中转板(11)均套设于所述光轴(33)并与所述光轴(33)滑动连接。4.如权利要求3所述的硅片中转装置,其特征在于,所述伸缩组件(2)还包括与所述第一连接杆(22)交叉设置的第二连接杆(23),所述第二连接杆(23)的中部与所述连接部(21)转动连接,所述第二连接杆(23)的两端分别与相邻设置的两个所述中转板(11)滑动连接,且多个所述第二连接杆(23)首尾连接。5.如权利要求4所述的硅片中转装置,其特征在于,所述伸缩组件(2)还包括弹簧(24),所述弹簧(24)的两端分别与所述第一连接杆(22)和所...

【专利技术属性】
技术研发人员:张伟孙祥薛彦斌王栩生邢国强
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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