一种硅片的分选组件及硅片测试仪制造技术

技术编号:17109900 阅读:43 留言:0更新日期:2018-01-24 22:29
本实用新型专利技术公开了一种硅片的分选组件及硅片测试仪,该硅片的分选组件用于硅片测试仪,包括覆盖于硅片测试仪的屏幕上的分选屏,分选屏的表面设置有分选区域,分选区域与屏幕上显示的硅片的图像所在区域重合,分选区域均分为多个第一子单元,当屏幕上显示的硅片的图像存在缺陷区域时,缺陷区域覆盖第一子单元的个数占第一子单元的总数之比,即为硅片中缺陷区域所占面积;和/或分选区域内设置有第一坐标系,根据第一坐标系读出缺陷区域的边长和高,以得到缺陷区域的面积。通过划分第一子单元,工作人员可以快速、准确地计算缺陷区域所占的面积,判断硅片是否合格,从而提高分选硅片的准确率,从而提高太阳能电池片的质量。

A silicon wafer sorting component and a silicon wafer tester

The utility model discloses a separation component and wafer tester with a silicon wafer, the wafer sorting assembly for silicon wafer tester, which comprises a sorting screen covered on the silicon wafer tester on the screen, the screen is provided with a separating surface separation region, where the image of silicon overlap display area and screen sorting, sorting area divided into a plurality of first sub unit, the image displayed on the screen when the wafer defect area, accounting for the first sub unit of the ratio of the number of defect areas covering the first sub unit, which is the defect area in silicon area; and / or separation area are arranged in the first coordinate system, coordinate the first the length of the defect area and is read according to high, to obtain defect area. By dividing the first sub cell, the staff can quickly and accurately calculate the area occupied by the defective area and determine whether the silicon wafer is qualified, so as to improve the accuracy of the sorting silicon wafer, thereby improving the quality of the solar panel.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片的分选组件及硅片测试仪
本技术涉及硅片测试
,尤其涉及一种硅片的分选组件及硅片测试仪。
技术介绍
光伏检测综合分析系统(Photoluminescence,PL)和红外缺陷测试仪(Electroluminescence,EL)是非常重要的光伏测试仪器,它们能有效分辨出硅片的缺陷,如绒丝、黑边、黑心、结区摩擦、漏浆、断栅、反向击穿、烧结不良等,其功能相当于太阳能硅片测试的“眼睛”,尤其是PL更是在电池片的制造起点起到一个“监控”作用。其中,绒丝是硅片比较常见的缺陷之一。绒丝会造成太阳能电池低开压、低短路电流、低少子寿命等一系列问题,并存在弱光风险,因此各个厂家对绒丝的把控十分严格。目前行业普遍认为,当硅片的绒丝区域的面积大于硅片面积的10%时,称之为绒丝异常,则硅片不合格。但现有技术中并没有精确计算绒丝区域面积及绒丝位置的方法,硅片是否合格的判断准确度也不高。
技术实现思路
本技术的第一目的在于提出一种能够计算硅片的缺陷区域的面积的分选组件。为达此目的,本技术采用以下技术方案:一种硅片的分选组件,用于硅片测试仪,包括覆盖于硅片测试仪的屏幕上的分选屏,所述分选屏的表面设置有分选区域,所述分选区域与所述屏幕上显示的硅片的图像所在区域重合,所述分选区域均分为多个第一子单元,当所述屏幕上显示的硅片的图像存在缺陷区域时,所述缺陷区域覆盖所述第一子单元的个数占所述第一子单元的总数之比,即为硅片中缺陷区域所占面积;和/或所述分选区域内设置有第一坐标系,根据所述第一坐标系读出所述缺陷区域的边长和高,以得到所述缺陷区域的面积。其中,所述分选区域包括多条横向刻度线和纵向刻度线,多条所述横向刻度线与所述纵向刻度线围成多个所述第一子单元,所述第一坐标系的横坐标轴与一条所述横向刻度线重合,所述第一坐标系的纵坐标轴与一条所述纵向刻度线重合。其中,所述第一坐标系以所述分选屏的中心为原点。其中,还包括硅片对应屏,所述硅片对应屏与硅片的大小相等,所述硅片对应屏的表面均分为多个第二子单元,所述第二子单元与所述第一子单元数量相同。其中,所述硅片对应屏还设置有第二坐标系,所述第二坐标系用于确定缺陷区域中的缺陷的位置。其中,所述硅片对应屏由玻璃或塑料材质屏。其中,所述分选屏为柔性塑料透明贴纸、玻璃板或塑料板。其中,所述缺陷区域为具有绒丝、黑边、黑心、结区摩擦、漏浆、断栅、反向击穿或烧结不良的区域。本技术的第二目的在于提出一种能够计算硅片的缺陷区域的面积的硅片测试仪。为达此目的,本技术采用以下技术方案:一种硅片测试仪,包括上述的分选组件。其中,所述测试仪为PL测试仪或EL测试仪。有益效果:本技术提供了一种硅片的分选组件及硅片测试仪。该硅片的分选组件用于硅片测试仪,包括覆盖于硅片测试仪的屏幕上的分选屏,所述分选屏的表面设置有分选区域,所述分选区域与所述屏幕上显示的硅片的图像所在区域重合,所述分选区域均分为多个第一子单元,当所述屏幕上显示的硅片的图像存在缺陷区域时,所述缺陷区域覆盖所述第一子单元的个数占所述第一子单元的总数之比,即为硅片中缺陷区域所占面积;和/或所述分选区域内设置有第一坐标系,根据所述第一坐标系读出所述缺陷区域的边长和高,以得到所述缺陷区域的面积。通过划分第一子单元,工作人员可以快速、准确地计算缺陷区域所占的面积,判断硅片是否合格,从而提高分选硅片的准确率,从而提高太阳能电池片的质量。附图说明图1是具有绒丝的硅片的结构示意图;图2是本技术实施例1提供的分选屏的结构示意图;图3是本技术实施例2提供的一种分选屏的结构示意图;图4是本技术实施例2提供的另一种分选屏的结构示意图;图5是本技术实施例2提供的分选屏划分第一子单元的区域与硅片的图像重合后的结构示意图;图6是本技术提供的硅片对应屏的结构示意图;图7是本技术提供的硅片对应屏与硅片的图像重合后的结构示意图。其中:1、分选屏;11、第一子单元;2、硅片对应屏;21、第二子单元;3、硅片;31、缺陷区域。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。实施例1如图2所示,本实施例提供了一种硅片的分选组件,用于硅片测试仪,包括覆盖于硅片测试仪的屏幕上的分选屏1,分选屏1的表面设置有分选区域,分选区域与屏幕上显示的硅片3的图像所在区域重合,分选区域均分为多个第一子单元11,当屏幕上显示的硅片3的图像存在缺陷区域31时,缺陷区域31覆盖第一子单元11的个数占第一子单元11的总数之比,即为硅片3中缺陷区域31所占面积。通过在分选屏1上设置分选区域,并在分选区域内划分第一子单元11,且分选区域与硅片测试仪的屏幕上显示的硅片3的图像重合,即分选区域的形状和大小与屏幕上显示的硅片3的图像的形状和大小相同,分选区域完全覆盖硅片3的图像,工作人员可以通过观察缺陷区域31覆盖第一子单元11的个数,快速、准确地计算缺陷区域31所占硅片3的面积,判断硅片3是否合格,从而提高分选硅片3的准确率,不需要工作人员估算,提高了分选硅片3的准确性,从而提高太阳能电池片的质量。具体而言,缺陷区域31可以为具有绒丝、黑边、黑心、结区摩擦、漏浆、断栅、反向击穿或烧结不良等缺陷的区域。如图1所示,由于硅片3的形状一般为正方形,本实施例中的分选屏1可以与硅片3的形状相同,分选屏1的表面可以全部划分第一子单元11,也可以部分划分多个第一子单元11。即本实施例中分选屏1的大小可以与硅片测试仪的屏幕上显示的硅片3的图像一致,为使划分第一子单元11的分选区域与硅片3在硅片3检测仪的屏幕上的图像重合,分选屏1的表面全部为分选区域,以便后续判断硅片3中缺陷区域31所占面积;分选屏1也可以大于硅片测试仪的屏幕上显示的硅片3的图像,但分选屏1上的分选区域需要与硅片测试仪的屏幕上显示的硅片3的图像重合,以便后续判断硅片3是否合格。分选屏1上包括多条横向刻度线和纵向刻度线,多条横向刻度线和纵向刻度线围成多个第一子单元11,以便计算缺陷区域31的面积。第一子单元11的个数越多,缺陷区域31的面积计算的越准确,但相对的,工作人员的计算强度将增大,因此,第一子单元11的个数可以根据工作需要确定。为方便工作人员记录硅片3上缺陷区域31的具体坐标,如图6所示,分选组件还可以包括硅片对应屏2,硅片对应屏2和分选屏1独立设置,硅片对应屏2与硅片3的大小相等,硅片对应屏2的表面均分为多个第二子单元21,第二子单元21与第一子单元11数量相同。如图7所示,在工作人员实际工作过程中,首先将硅片3的图像投射在硅片测试仪的屏幕上,分选屏1可以通过黏贴或其他方式固定在屏幕上;之后将硅片3取出,并将硅片对应屏2放置与硅片3表面,并与硅片3完全重合,工作人员可以对比分选屏1和硅片对应屏2计算缺陷区域31的面积,并且可以在硅片对应屏2上做标记,将硅片3上缺陷区域31的具体位置标记出来,以方便后续操作。为方便工作人员在硅片对应屏2上查找缺陷区域31的对应位置,硅片对应屏2还可以设置有第二坐标系,第二坐标系用于确定缺陷区域31中的缺陷的位置。本实施例中硅片对应屏2可以为玻璃或塑料材质屏,分选屏1可以为柔性塑料透明贴纸、本文档来自技高网...
一种硅片的分选组件及硅片测试仪

【技术保护点】
一种硅片的分选组件,用于硅片测试仪,其特征在于,包括覆盖于硅片测试仪的屏幕上的分选屏(1),所述分选屏(1)的表面设置有分选区域,所述分选区域与所述屏幕上显示的硅片(3)的图像所在区域重合,所述分选区域均分为多个第一子单元(11),当所述屏幕上显示的硅片(3)的图像存在缺陷区域(31)时,所述缺陷区域(31)覆盖所述第一子单元(11)的个数占所述第一子单元(11)的总数之比,即为硅片(3)中缺陷区域(31)所占面积;和/或所述分选区域内设置有第一坐标系,根据所述第一坐标系读出所述缺陷区域(31)的边长和高,以得到所述缺陷区域(31)的面积。

【技术特征摘要】
1.一种硅片的分选组件,用于硅片测试仪,其特征在于,包括覆盖于硅片测试仪的屏幕上的分选屏(1),所述分选屏(1)的表面设置有分选区域,所述分选区域与所述屏幕上显示的硅片(3)的图像所在区域重合,所述分选区域均分为多个第一子单元(11),当所述屏幕上显示的硅片(3)的图像存在缺陷区域(31)时,所述缺陷区域(31)覆盖所述第一子单元(11)的个数占所述第一子单元(11)的总数之比,即为硅片(3)中缺陷区域(31)所占面积;和/或所述分选区域内设置有第一坐标系,根据所述第一坐标系读出所述缺陷区域(31)的边长和高,以得到所述缺陷区域(31)的面积。2.如权利要求1所述的分选组件,其特征在于,所述分选区域包括多条横向刻度线和纵向刻度线,多条所述横向刻度线与所述纵向刻度线围成多个所述第一子单元(11),所述第一坐标系的横坐标轴与一条所述横向刻度线重合,所述第一坐标系的纵坐标轴与一条所述纵向刻度线重合。3.如权利要求1所述的分选组件,其特征在于,所述第一坐标系以所述分选屏(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:李琰琪王栩生涂修文邢国强
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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