The invention discloses a solar cell preparation method, including coating plating antireflection film and coating step processing steps, postprocessing steps, wherein the plating antireflection film the following steps: after the wafer into the coating before treatment is not saturated in the graphite boat film PECVD film Shi Mozhou in 70 to 90 times, 1 times of cleaning, cleaning after the completion of the Shi Mozhou into the PECVD tube were not film saturated, not film saturation is completed, continue to be used for silicon coating. By adopting the technology of the invention, the phenomenon of whitening on the edge of the solar cell sheet is greatly reduced, the color difference uniformity of the solar cell sheet is improved, the defective rate of the product is reduced, and the cost is saved.
【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池片制备方法
本专利技术涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种太阳能电池片制备方法。
技术介绍
随着光伏行业的不断发展，太阳能电池制造技术不断创新，黑硅技术已逐渐凸显其优势并被行业仍可，目前已逐步占据太阳能电池制造市场，但是仍然存在一定的技术缺陷，主要缺陷在于目前干法黑硅镀膜厚色系较多，边缘发白发黄严重。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种能够改善硅片边缘效应的太阳能电池片制备方法。本专利技术的目的采用如下技术方案实现：一种太阳能电池片制备方法，包括镀膜前处理步骤、镀减反射膜步骤以及镀膜后处理步骤，其中，所述镀减反射膜步骤具体为：将经过镀膜前处理的硅片装入不成膜饱和的石墨舟内进行PECVD镀膜，石墨舟在使用70～90次后，进行1次清洗处理，清洗完成后的石墨舟装入PECVD管内，进行不成膜饱和，不成膜饱和完成后，继续用于硅片镀膜。进一步地，所述不成膜饱和的具体步骤为：向PECVD管内通入氨气5000～7000sccm，压强为1000～2000Pa，反应温度为300～500℃，反应时间为1～2小时。进一步地，所述石墨舟的清洗处理包...
【技术保护点】
一种太阳能电池片制备方法，包括镀膜前处理步骤、镀减反射膜步骤以及镀膜后处理步骤，其特征在于，所述镀减反射膜步骤具体为：将经过镀膜前处理的硅片装入不成膜饱和的石墨舟内进行PECVD镀膜，石墨舟在使用70～90次后，进行1次清洗处理，清洗完成后的石墨舟装入PECVD管内，进行不成膜饱和，不成膜饱和完成后，继续用于硅片镀膜。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片制备方法，包括镀膜前处理步骤、镀减反射膜步骤以及镀膜后处理步骤，其特征在于，所述镀减反射膜步骤具体为：将经过镀膜前处理的硅片装入不成膜饱和的石墨舟内进行PECVD镀膜，石墨舟在使用70～90次后，进行1次清洗处理，清洗完成后的石墨舟装入PECVD管内，进行不成膜饱和，不成膜饱和完成后，继续用于硅片镀膜。2.如权利要求1所述的太阳能电池片制备方法，其特征在于，所述不成膜饱和的具体步骤为：向PECVD管内通入氨气5000～7000sccm，压强为1000～2000Pa，反应温度为300～500℃，反应时间为1～2小时。3.如权利要求1所述的太阳能电池片制备方法，其特征在于，所述石墨舟的清洗处理包括以下步骤：拆舟、酸洗、水洗至中性、干燥、装舟。4.如权利要求3所述的太阳能电池片制备方法，其特征在于，所述石墨舟的清洗处理步骤中，酸洗具体为：将拆下的石墨舟放入HF槽中浸泡...
【专利技术属性】
技术研发人员：何长春，仇杰，葛竖坚，翟贝贝，
申请(专利权)人：东方日升新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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