基板收纳容器制造技术

基板收纳容器的底部具有：抵接部(7)，分别与多个定位部(921、922)抵接，所述多个定位部(921、922)设置在装入口，该装入口用于将收纳在基板收纳空间内的基板向处理装置搬运，并且所述多个定位部(921、922)用于相对于装入口对容器主体进行定位；以及后侧底部被卡止部(615)，在连接容器主体开口部和后壁(22)的方向上，位于比位于最靠近容器主体开口部位置的抵接部(7)和位于最靠近后壁(22)位置的抵接部7的中央位置(CP)更靠后壁(22)的位置，卡止并固定在装入口的容器卡止部(911)。

Substrate receiving container

Substrate container bottom has a contact portion (7), respectively, and a plurality of positioning parts (921, 922) connecting the plurality of positioning parts (921, 922) arranged in the loading entrance, entrance for inclusion in the storage space in the substrate to the substrate processing device handling, and the plurality of positioning parts (921, 922) for loading entrance positioning of the container body; and the bottom of the rear side by the clamping part (615), in connection with the container body opening and a rear wall (22) direction, is located in the abutting part than located closest to the main body of the container opening part (7) and in the near wall (22) position of the abutting part 7 of the central position (CP) on the posterior wall (22) position, locking and fixing on the container entrance card stop (911).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器
本专利技术涉及在收纳、保管、搬运和输送由半导体晶片等构成的基板时使用的基板收纳容器。
技术介绍
作为用于收纳由半导体晶片构成的基板并在工厂内的工序等中搬运的基板收纳容器，以往已为公众所知的有一种包括容器主体和盖体的结构。容器主体具有在一端部形成有容器主体开口部且另一端部封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而成，能够收纳多个基板。盖体相对于容器主体开口部可装拆，并且能够封闭容器主体开口部。在作为盖体的一部分的、封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分上设置有前部保持构件。在容器主体开口部被盖体封闭时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。此外，后侧基板支承部以与前部保持构件成对的方式设置在壁部上。后侧基板支承部能够支承多个基板的边缘部。在容器主体开口部被盖体封闭时，通过使后侧基板支承部与前部保持构件协同动作来支承多个基板，由此在使相邻的基板之间以规定的间隔分离且并列的状态下，保持多个基板。容器主体的壁部具有后壁、上壁、下壁和一对侧壁，由上壁的一端部、下壁的一端部和侧壁的一端部形成容器主体开口部。具有下壁的基板收纳容器的容器主体的底部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板收纳容器，其特征在于，所述基板收纳容器包括：容器主体，所述容器主体具有壁部，所述壁部是在一端部形成有容器主体开口部且另一端部封闭的筒状的壁部，所述壁部具有后壁、上壁、下壁和一对侧壁，由所述上壁的一端部、所述下壁的一端部和所述侧壁的一端部形成所述容器主体开口部，由所述上壁的内表面、所述下壁的内表面、所述侧壁的内表面和所述后壁的内表面形成基板收纳空间，所述基板收纳空间能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通；以及盖体，相对于所述容器主体开口部可装拆，能够封闭所述容器主体开口部，所述下壁构成所述容器主体的底部，所述下壁的靠近所述后壁的部分具有供气用过滤器部，所述下壁的靠近所述容器主体开口部...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板收纳容器，其特征在于，所述基板收纳容器包括：容器主体，所述容器主体具有壁部，所述壁部是在一端部形成有容器主体开口部且另一端部封闭的筒状的壁部，所述壁部具有后壁、上壁、下壁和一对侧壁，由所述上壁的一端部、所述下壁的一端部和所述侧壁的一端部形成所述容器主体开口部，由所述上壁的内表面、所述下壁的内表面、所述侧壁的内表面和所述后壁的内表面形成基板收纳空间，所述基板收纳空间能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通；以及盖体，相对于所述容器主体开口部可装拆，能够封闭所述容器主体开口部，所述下壁构成所述容器主体的底部，所述下壁的靠近所述后壁的部分具有供气用过滤器部，所述下壁的靠近所述容器主体开口部的部分具有排气用过滤器部，所述供气用过滤器部具有：气道，能够连通所述基板收纳空间和所述容器主体的外部的空间；以及过滤器，配置在所述气道上，气体能够通过所述过滤器从所述容器主体的外部的空间向所述基板收纳空间通过，所述排气用过滤器部具有：气道，能够连通所述基板收纳空间和所述容器主体的外部的空间；以及过滤器，配置在所述气道上，气体能够通过所述过滤器从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部的空间通过，所述底部具有：抵接部，分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：永岛刚，
申请(专利权)人：未来儿股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP