下载基板收纳容器的技术资料

文档序号:17102945

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

基板收纳容器的底部具有:抵接部(7),分别与多个定位部(921、922)抵接,所述多个定位部(921、922)设置在装入口,该装入口用于将收纳在基板收纳空间内的基板向处理装置搬运,并且所述多个定位部(921、922)用于相对于装入口对容器主...
该专利属于未来儿股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过未来儿股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。