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基板收纳容器制造技术
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文档序号:17102945
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基板收纳容器的底部具有:抵接部(7),分别与多个定位部(921、922)抵接,所述多个定位部(921、922)设置在装入口,该装入口用于将收纳在基板收纳空间内的基板向处理装置搬运,并且所述多个定位部(921、922)用于相对于装入口对容器主...
该专利属于未来儿股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过未来儿股份有限公司授权不得商用。
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