The invention provides a universal masking adsorption device, which does not need to change the magnet arrangement according to each mask in different mask patterns, and enables various masks to be well adsorbed on the substrate. The mask adsorption device is arranged on the back side of the substrate (1), and (1) on the substrate through the magnetic mask set side surface (2) adsorbed on the substrate (1), among them, and the mask (2) relative to the surface to become N N (3 pole pole) and mask (2) and the relative surface become S S pole pole (4) periodically arranged in a magnet column (5) will be the direction of the long edge alignment, and have in interval with the mask (2) relative to the entire region are arranged in parallel, as follows: the state of the magnet column (5) of the N pole (3) and the S pole (4) arranged in the phase of the magnet adjacent columns (5) are staggered with each other.
【技术实现步骤摘要】
掩模吸附装置
本专利技术涉及掩模吸附装置。
技术介绍
在经由金属掩模而在基板上进行所希望的图案的成膜的成膜装置中,作为通过磁力使掩模良好地吸附于基板的成膜面的技术,例如专利文献1公开了在基板保持体设有与掩模的非开口部对应地排列的磁铁的技术。然而,在专利文献1公开的技术中,对于掩模图案不同的掩模,需要每次改变磁铁的排列,在使用各种掩模时,需要预先准备具有与各掩模对应的磁铁排列的各种基板保持体。这种情况下,需要将预先收纳有各种基板保持体的基板保持体贮存室向成膜装置追加配设,或者需要根据掩模而每次更换对应的基板保持体等,成膜装置的大型化、高成本化不可避免。此外,在专利文献2中公开了如下的技术:在与掩模相对的基板的被处理面的相反侧,将具有N极与S极的交界部的磁铁配置成使掩模的框架区域与该交界部相对。而且,在专利文献3中公开了如下的技术:使用隔着中心线而分离配置成极性互不相同的朝向的多个磁体,将掩模固定于基板,上述中心线穿过对掩模的开口部进行分隔的肋(框架)的宽度的中心。然而,都需要根据掩模图案来变更磁铁及磁体的配置,存在与上述专利文献1同样的问题点。【在先技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本特开平11-131212号公报【专利文献2】国际公开第2009/069743号【专利文献3】日本特开2015-124394号公报
技术实现思路
【专利技术要解决的课题】本专利技术鉴于上述的现状而作出,提供一种通用性高的掩模吸附装置,其不需要按照掩模图案不同的各种掩模中的每一种掩模来变更磁铁排列而能够使各种掩模良好地吸附于基板。【用于解决课题的方案】一种掩模吸附装置,所述掩模吸附 ...
【技术保护点】
一种掩模吸附装置,所述掩模吸附装置设置在基板的背面侧,并通过磁力使在基板的表面侧设置的掩模吸附于该基板,其特征在于,与所述掩模相对的面成为N极的N极部和与所述掩模相对的面成为S极的S极部周期性地配设而构成的磁铁列将其长边方向对齐,并且空出间隔地在能与所述掩模相对的整个区域并列设置,成为如下的状态:该磁铁列的所述N极部及所述S极部的排列相位在相邻的所述磁铁列彼此间进行错开。
【技术特征摘要】
2016.07.01 JP 2016-1317351.一种掩模吸附装置,所述掩模吸附装置设置在基板的背面侧,并通过磁力使在基板的表面侧设置的掩模吸附于该基板,其特征在于,与所述掩模相对的面成为N极的N极部和与所述掩模相对的面成为S极的S极部周期性地配设而构成的磁铁列将其长边方向对齐,并且空出间隔地在能与所述掩模相对的整个区域并列设置,成为如下的状态:该磁铁列的所述N极部及所述S极部的排列相位在相邻的所述磁铁列彼此间进行错开。2.根据权利要求1所述的掩模吸附装置,其特征在于,成为如下的状态:在相邻的所述磁铁列彼此间,所述N极部及...
【专利技术属性】
技术研发人员:竹见崇,青沼大介,
申请(专利权)人:佳能特机株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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