衬底搬送机器人及衬底检测方法技术

本发明专利技术的衬底搬送机器人具备：机器臂，能够升降；衬底保持装置(7)，安装在机器臂上；以及衬底检测器件(23)，用来检测由衬底保持装置(7)保持的衬底。衬底检测器件(23)具有：衬底传感器，用来检测衬底；以及传感器升降器件(16、17)，用来不使机器臂升降而使衬底传感器升降，以扫描包含衬底的配置位置的区域。本发明专利技术可一边防止机器人与装置碰撞一边无障碍地检测具备具有小尺寸的开口部的装置内的衬底。

Substrate moving robot and substrate detection method

The substrate conveying robot of the invention has the following functions: the robot arm can be lifted, the substrate holding device (7) is mounted on the robot arm, and the substrate detection device (23) is used to detect the substrate maintained by the substrate holding device (7). The substrate detection device (23) has the substrate sensor for detecting the substrate, and the sensor lifting device (16, 17), which does not lift the robot arm and make the substrate sensor up and down to scan the area containing the placement location of the substrate. The invention can be used to prevent the robot from colliding with the device to detect the substrate in a device with small size openings without obstacle.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】衬底搬送机器人及衬底检测方法
本专利技术涉及一种在机器臂上安装有衬底保持装置的衬底搬送机器人及用于检测由所述衬底搬送机器人搬送的衬底的衬底搬送方法。
技术介绍
先前，利用机器人来搬送半导体制造用晶片等的衬底的技术已经得到广泛应用。此处，在制造半导体的时候，会实施晶片的洗净处理、成膜处理、加热处理、蚀刻处理等的各种处理步骤。由于各处理步骤是利用各自不同的处理装置进行实施，因此有必要在多个处理装置之间搬送晶片。用于晶片等衬底的搬送的衬底搬送机器人，例如将机器臂的基端部安装在沿Z轴可升降的回旋主轴的上端部，且将作为衬底保持装置的手部安装在机器臂之前端部而构成。手部具有叶片部件，在所述叶片部件上载置并保持有衬底。这样，在从收容多片衬底的衬底收容容器的内部将衬底取出时，利用机器人控制器将回旋主轴及机器臂进行驱动，而使手部的叶片部件进入容器内所收容的各片衬底之间，并将叶片部件定位在搬送对象的衬底的下方。使回旋主轴从所述状态上升而将搬送对象的衬底载置在叶片部件之上，利用设置在手部的衬底固定机构(边缘夹持机构或真空吸附机构等)将衬底固定在叶片部件上。然后，利用机器人控制器将机器臂及回旋主轴进行驱动，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底搬送机器人，用来保持并搬送衬底，具备：机器臂，能够升降；衬底保持装置，安装在所述机器臂上；以及衬底检测器件，用来检测由所述衬底保持装置保持的所述衬底；且所述衬底检测器件具有：衬底传感器，用来检测所述衬底；以及传感器升降器件，用来不使所述机器臂升降而使所述衬底传感器升降，以扫描包含所述衬底的配置位置的区域。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.27 JP 2015-0908141.一种衬底搬送机器人，用来保持并搬送衬底，具备：机器臂，能够升降；衬底保持装置，安装在所述机器臂上；以及衬底检测器件，用来检测由所述衬底保持装置保持的所述衬底；且所述衬底检测器件具有：衬底传感器，用来检测所述衬底；以及传感器升降器件，用来不使所述机器臂升降而使所述衬底传感器升降，以扫描包含所述衬底的配置位置的区域。2.根据权利要求1所述的衬底搬送机器人，其中所述衬底传感器设置在所述衬底保持装置。3.根据权利要求2所述的衬底搬送机器人，其中所述衬底保持装置具有安装在所述机器臂的手腕部、以及设置在所述手腕部且供载置所述衬底的叶片部件；且所述衬底传感器设置在所述叶片部件；所述传感器升降器件构成为使所述叶片部件相对于所述手腕部升降。4.根据权利要求2所述的衬底搬送机器人，其中所述衬底保持装置具有安装在所述机器臂的手腕部、以及设置在所述手腕部且分别供载置所述衬底的上侧叶片部件及下侧叶片部件；且所述衬底传感器设置在所述上侧叶片部件及所述下侧叶片部件中的至少一个叶片部件；所述传感器升降器件构成为使所述至少一个叶片部件相对于所述手腕部升降。5.根据权利要求2所述的衬底搬送机器人，其中所述衬底保持装置具有能够彼此独立驱动的上侧衬底保持装置及下侧衬底保持装置，且所述衬底检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤博彦，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP