一种多工作台固晶机的上下料装置制造方法及图纸

一种多工作台固晶机的上下料装置，包括机架平台，上料装置，下料装置，基片，所述机架平台上设置有环形凸台，环形凸台上设有多个工作台，工作台沿环形凸台滑动，上料装置将基片放置在工作台上，下料装置将工作台上的基片取出。本实用新型专利技术结构简单、上下料效率高、固晶效率高，芯片良品率高。

An upper and lower feeding device for a multi worktable solid crystal machine

A multi stage solid crystal machine on the feeding device, which comprises a frame platform, feeding device, feeding device, substrate, the platform of the frame is provided with an annular lug boss ring is provided with a plurality of working table, table along the annular lug sliding, the feeding device of the substrate placed on the table, feeding device will work out on the substrate. The utility model has the advantages of simple structure, high efficiency of upper and lower material, high efficiency of solid crystal and high yield of good chip.

【技术实现步骤摘要】
一种多工作台固晶机的上下料装置
本技术涉及一种半导体加工设备
，尤其涉及一种固晶机。
技术介绍
在现有的双工作台固晶机中，有的是给每一个工作台配备一套对应的上料装置和下料装置，有的则是将上料装置和下料装置做为一个整体然后再安装在相应的导轨上，然后通过整个模块的运动在两个工作台间进行上下料；在第一种布局方式下不仅需要安装多套上料装置和下料装置，还占用了更多的空间；在第二种布局方式下则因为整个运动模块过于笨重，很难实现高速运动。以上两种方式固晶的效率较低。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种多工作台固晶机的上下料装置，旨在解决固晶机上下料效率不高的问题，并提高整个固晶机的效率。本技术的技术方案如下。一种多工作台固晶机的上下料装置，包括机架平台，上料装置，下料装置，基片，所述机架平台上设置有环形凸台，环形凸台上设有多个工作台，工作台沿环形凸台滑动，上料装置将基片放置在工作台上，下料装置将工作台上的基片取出。优选地：工作台底部设置有与环形凸台相适应的凹槽，环形凸台位于凹槽中。优选地：凹槽中设置有第一夹板、第二夹板、第一移动装置、第二移动装置，第一移动装置、第二移动装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多工作台固晶机的上下料装置，其特征在于：包括机架平台，上料装置，下料装置，基片，所述机架平台上设置有环形凸台，环形凸台上设有多个工作台，工作台沿环形凸台滑动，上料装置将基片放置在工作台上，下料装置将工作台上的基片取出。

【技术特征摘要】
1.一种多工作台固晶机的上下料装置，其特征在于：包括机架平台，上料装置，下料装置，基片，所述机架平台上设置有环形凸台，环形凸台上设有多个工作台，工作台沿环形凸台滑动，上料装置将基片放置在工作台上，下料装置将工作台上的基片取出。2.根据权利要求1所述的多工作台固晶机的上下料装置，其特征在于：工作台底部设置有与环形凸台相适应的凹槽，环形凸台位于凹槽中。3.根据权利要求2所述的多工作台固晶机的上下料装置，其特征在于：凹槽中设置有第一夹板、第二夹板、第一移动装置、第二移动装置，第一移动装置、第...

【专利技术属性】
技术研发人员：原小明，
申请(专利权)人：南京江智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32