一种掩膜版组件中的遮蔽条、掩膜版组件及蒸镀装置制造方法及图纸

技术编号:16686883 阅读:213 留言:0更新日期:2017-12-02 03:33
本实用新型专利技术实施例提供一种掩膜版组件中的遮蔽条、掩膜版组件及蒸镀装置,涉及蒸镀领域,能够避免因支撑条的弯曲变形造成的云纹现象、混色现象的问题。该遮蔽条中背离遮蔽面一侧的表面划分为搭接区和至少两个非搭接区,其中,遮蔽面为遮蔽条在蒸镀时用于遮蔽蒸镀材料的表面,搭接区为遮蔽条与掩膜版组件中的其他部件搭接的区域;遮蔽条包括位于至少一个非搭接区的至少一个凸部。

A cover bar, a mask plate assembly and a steaming device in a mask plate assembly

The embodiment of the utility model provides a masking strip, mask assembly and evaporating device in the mask module, which relates to the field of evaporation, and can avoid the problem of moire and color mixing caused by the bending deformation of the supporting bar. The shielding surface of strip from one side of the shielding surface overlap region and at least two non overlapping area, which is used for shielding surface shielding shielding material in steam plating deposition, regional and other components of lap shielding mask components in the overlapping zone; including at least one shield a convex part is located at at least one non overlapping zone.

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版组件中的遮蔽条、掩膜版组件及蒸镀装置
本技术涉及蒸镀领域,尤其涉及一种掩膜版组件中的遮蔽条、掩膜版组件及蒸镀装置。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode,简称OLED)显示器因其具有自发光、轻薄、功耗低、高对比度、高色域、可实现柔性显示等优点,已被广泛地应用于包括电脑、手机等电子产品在内的各种电子设备中。其中,OLED显示器件中的发光器件一般利用掩膜版,例如FMM(FineMetalMask,精细金属掩膜版),采用蒸镀的方式将蒸镀材料蒸镀至背板(例如LTPS背板、Oxide背板)的预设位置。如图1所示,现有技术中,在蒸镀作业前,需要在支撑架11上依次焊接遮蔽条(Cover)100、支撑条(Howling)200、以及多个掩膜版10,其中,该掩膜版10划分为有效掩膜区110和无效掩膜区120,遮蔽条100设置于相邻两个掩膜版10之间,以避免在蒸镀过程中,蒸镀材料会透过相邻的掩膜版10之间的缝隙蒸镀至背板上;支撑条200设置于掩膜版10的无效掩膜区120对应的位置,且与掩膜版10的列方向垂直,以使得在蒸镀过程中,对掩膜板10以及背板均起到本文档来自技高网...
一种掩膜版组件中的遮蔽条、掩膜版组件及蒸镀装置

【技术保护点】
一种掩膜版组件中的遮蔽条,其特征在于,所述遮蔽条中背离遮蔽面一侧的表面划分为搭接区和至少两个非搭接区,其中,所述遮蔽面为所述遮蔽条在蒸镀时用于遮蔽蒸镀材料的表面,所述搭接区为所述遮蔽条与掩膜版组件中的其他部件搭接的区域;所述遮蔽条包括位于至少一个所述非搭接区的至少一个凸部。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版组件中的遮蔽条,其特征在于,所述遮蔽条中背离遮蔽面一侧的表面划分为搭接区和至少两个非搭接区,其中,所述遮蔽面为所述遮蔽条在蒸镀时用于遮蔽蒸镀材料的表面,所述搭接区为所述遮蔽条与掩膜版组件中的其他部件搭接的区域;所述遮蔽条包括位于至少一个所述非搭接区的至少一个凸部。2.根据权利要求1所述的遮蔽条,其特征在于,每一所述非搭接区具有一个凸部,且所述凸部沿所述遮蔽条的长度方向贯穿所述非搭接区。3.根据权利要求1所述的遮蔽条,其特征在于,每一所述非搭接区具有多个凸部,且所述多个凸部沿所述遮蔽条的长度方向均匀分布于所述非搭接区。4.根据权利要求1-3任一项所述的遮蔽条,其特征在于,所述凸部背离所述遮蔽面一侧的表面为平面。5.根据权利要求1所述的遮蔽条,其特征在于,所述遮蔽条主要由非磁性不锈钢材料构成。6.一种掩膜版组件,其特征在于,包括支撑架以及依次设置于所述支撑架上的权利要求1-5任一项所述遮...

【专利技术属性】
技术研发人员:张健黄俊杰王震唐富强郭登俊林治明
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
类型:新型
国别省市:北京,11

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