一种精密掩膜板框架制造技术
A kind of precision mask plate frame
The utility model provides a precision mask frame, which comprises a support bar and the mask body frame, the horizontal bar, space is arranged on the mask body within the framework of the supporting longitudinal spacing is arranged on the mask body frame, metal mask plate is fixed on the mask body frame, the bar and the support bar and the metal mask plate contact, the support bar and bar and metal mask plate on the contact surface has pitch semi etching groove. The utility model has the following advantages: first, reduce the support bars and bar weight, thereby reducing the support bars and bar due to gravity sag; second, reduced support bars and a bar of metal mask plate of the additional force, so that the metal mask plate in magnetic force greatly reduce or even eliminate the deformation, keep tightly with the substrate, thus effectively avoid the evaporation process, color mixing problem.
【技术实现步骤摘要】
一种精密掩膜板框架
本技术涉及蒸镀设备领域，特别是涉及一种精密掩膜板框架。
技术介绍
近年来，有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示器已经成为国内外非常热门的新兴平板显示器产品，OLED显示器具有自发光、广视角、短反应时间、广色域、低工作电压、面板薄、易于做成柔性面板、工作温度范围广等优点。OLED器件的制备通常采用的真空蒸镀法，将蒸镀材料在真空中加热、蒸发，使蒸发出来的原子或原子基团在温度较低的衬底基板上析出并形成薄膜。蒸镀工艺的稳定性对成膜质量的好坏有很大的影响。为了实现彩色化显示，在蒸镀工艺中要分别蒸镀红、绿、蓝三基色对应的材料，通常采用掩膜法，即在衬底基板的前面设置一层很薄的金属掩膜板，在金属掩膜板的开口处蒸镀红、绿、蓝三基色对应的有机材料。而用来蒸镀红、绿、蓝三基色对应的有机材料的位置(即像素电极的位置)已经被精确定义了出来，所以在蒸镀工艺中金属掩膜板的开口就要和像素电极位置对应，不允许有超出误差范围的偏移，否则将会出现两种发光材料重合在一起的情况，发生混色。如图1-1、1-2、1-3所示，金属掩膜板2因为尺寸...
【技术保护点】
一种精密掩膜板框架，包括掩膜板主体框架、支撑条和遮挡条，所述遮挡条横向等间距设置于所述掩膜板主体框架内，所述支撑条纵向等间距设置于所述掩膜板主体框架内，金属掩膜板固定在所述掩膜板主体框架上，所述遮挡条和支撑条均与金属掩膜板接触，其特征在于，所述支撑条和遮挡条与金属掩膜板接触的上表面设有等间距半刻蚀凹槽。
【技术特征摘要】
1.一种精密掩膜板框架，包括掩膜板主体框架、支撑条和遮挡条，所述遮挡条横向等间距设置于所述掩膜板主体框架内，所述支撑条纵向等间距设置于所述掩膜板主体框架内，金属掩膜板固定在所述掩膜板主体框架上，所述遮挡条和支撑条均与金属掩膜板接...
【专利技术属性】
技术研发人员：周扬川，柯贤军，吴俊雄，冉应刚，农艳菲，苏君海，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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