CF基板的微观缺陷检测方法、装置及设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种CF基板的微观缺陷检测方法、装置以及设备。所述检测方法包括以下步骤：获取所述CF基板的灰阶图像；检测所述灰阶图像的待检测点的灰阶值；获取所述待检测点所在的色彩区域对应的正常灰阶值范围；判断所述待检测点的灰阶值是否在对应的正常灰阶范围内；若所述待检测点的灰阶值不在对应的正常灰阶范围内，则判断所述待检测点为异常点。利用本发明专利技术提供的所述CF基板的微观缺陷检测方法、装置及设备，能够对CF基板上的不同色彩区域有区分地进行适应性的缺陷检测，从而提高CF基板的缺陷检出率，有效地解决了缺陷漏检的问题。

Microflaw detection method, device and equipment for CF substrate

The invention provides a micro defect detection method, a device and a device for a CF substrate. The detection method comprises the following steps: acquiring gray-scale image of the CF substrate; gray scale detection point detected the grayscale image of the gray-scale value; normal color region to obtain the corresponding testing points of the gray scale range; judging whether the detected point value is in the normal range corresponding to gray scale gray; if the detected point value is not in the normal gray scale range corresponding to the judgment, the point to be detected as outliers. The micro defect detection method, the CF substrate provided by the invention of the device and equipment defect detection can of different color area on the CF substrate have to distinguish the adaptability, so as to improve the detection rate of defects in CF substrate, effectively solves the problem of undetected flaws.

【技术实现步骤摘要】
CF基板的微观缺陷检测方法、装置及设备
本专利技术涉及光学检测
，特别涉及一种CF基板的微观缺陷检测方法、装置及设备。
技术介绍
目前，在显示面板制造中通常采用自动光学检测(AutomaticOpticInspection，简称AOI)设备来对CF(colorfilter，彩色滤光片、彩膜)基板的微观缺陷进行检测。微观缺陷包括白缺陷和黑缺陷，白缺陷类型有光阻缺失、颜色泛白等，黑缺陷类型有微粒(particle)、光阻残留、异物残留、背污等。由于CF基板的缺陷直接影响到显示面板的显示效果，因此，AOI检测对于CF基板的质量监控至关重要，如果AOI检测不能及时拦检具有缺陷的CF基板，可能导致大批量的异常CF基板流到后段，最终导致成品不良，造成良率较低。目前AOI设备的检查原理主要为灰阶比对，即CF基板进入机台后，AOI设备通过CCD(ChargeCoupledDevice，电荷耦合器件)对CF基板的膜面微观图像进行拍照以形成灰阶图像，并将像素点的灰阶值和其周围上下左右的像素点的灰阶值进行比对，如果差值超出设置灰阶差值(阈值)，则判定为缺陷。如图1所示，当灰阶图像中存在白缺陷时，待检本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种CF基板的微观缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：获取所述CF基板的灰阶图像；检测所述灰阶图像的待检测点的灰阶值；获取所述待检测点所在的色彩区域对应的正常灰阶值范围；判断所述待检测点的灰阶值是否在对应的正常灰阶范围内；若所述待检测点的灰阶值不在对应的正常灰阶范围内，则判断所述待检测点为异常点。

【技术特征摘要】
1.一种CF基板的微观缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：获取所述CF基板的灰阶图像；检测所述灰阶图像的待检测点的灰阶值；获取所述待检测点所在的色彩区域对应的正常灰阶值范围；判断所述待检测点的灰阶值是否在对应的正常灰阶范围内；若所述待检测点的灰阶值不在对应的正常灰阶范围内，则判断所述待检测点为异常点。2.如权利要求1所述的CF基板的微观缺陷检测方法，其特征在于，所述CF基板的微观缺陷检测方法还包括：针对所述CF基板的各个色彩制程的正常色彩区域分别设置相应的正常灰阶值范围。3.如权利要求1所述的CF基板的微观缺陷检测方法，其特征在于，所述CF基板的微观缺陷检测方法还包括：检测所述待检测点周围的对比像素点的灰阶值，其中，所述对比像素点与所述待检测点相距预设距离，且属于同一色彩区域；计算所述待检测点的灰阶值与所述对比像素点的灰阶值之间的差值；判断所述差值的绝对值是否大于预设阈值；若所述差值的绝对值大于所述预设阈值，则判断所述待检测点为异常点。4.如权利要求3所述的CF基板的微观缺陷检测方法，其特征在于，所述对比像素点至少包括与所述待检测点在同一水平方向上的对比像素点和与所述待检测点在同一垂直方向上的对比像素点。5.如权利要求4所述的CF基板的微观缺陷检测方法，其特征在于，所述预设距离至少包括水平方向的距离值和垂直方向的距离值，所述预设距离为同一方向上的一个或多个重复周期的相同色彩区域之间的距离。6.一种CF基板的微观缺陷检测装置，其特征在于，包括：获取模块，用于获取所述CF基板的灰阶图像；检测模块，用于检测所述灰阶图像的待检测点的灰阶值；所述获取模块还用于获取所述待检测点所在的色彩区域对应的正...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘学敏，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42