晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统，晶圆盒监测系统包括晶圆盒测试装置、振幅传感装置及控制器，其中：所述晶圆盒测试装置包括驱动装置，及位于所述驱动装置上的晶圆盒承载装置，所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置振动；控制器连接所述晶圆盒测试装置中的驱动装置，控制器控制驱动装置的进排气控制阀门的开启和关闭；所述振幅传感装置检测晶圆盒承载装置的振幅并将检测的所述晶圆盒承载装置的振幅的数据发送给控制器。本实用新型专利技术通过建立标准的晶圆盒测试装置和监控系统，及时准确发现晶圆盒使用情况及时处理，来完全量化晶圆盒的使用控制，从而监测线上所有晶圆盒的使用情况，并且智能控制晶圆盒测试时的振动次数、振幅和冲量。

Wafer box testing device and wafer box monitoring system

The utility model provides a wafer box testing device, wafer box monitoring system, monitoring system of wafer box comprises a wafer box testing device, amplitude sensing device and a controller, wherein the material testing device comprises a driving device, and is located in the drive device of the wafer box bearing device, the driving device drives the the material carrying device vibration; controller is connected with a driving device of the wafer box testing device, driving device controller into the exhaust control valve is opened and closed; the data sent by the amplitude detection material sensing device bearing device of the amplitude and the wafer box detection device for bearing amplitude controller. The utility model through wafer box testing device and monitoring system to establish the standard, found in a timely and accurate material the use of timely treatment, use the control to fully quantify material, so as to monitor the use of all online wafer box, and intelligent control of wafer box testing the vibration frequency, amplitude and impulse.

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统
本技术涉及半导体
，特别涉及一种晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统。
技术介绍
随着晶圆制造中的临界尺寸越来越小，制程的复杂度越来越高，晶圆盒(POD)洁净度对于产品合格率的影响也越来越大，晶圆盒污染问题每年都会造成巨大的损失。即使增加监控和抽样环节，现在还没有完全有效的方法来监测和消除这种损失，通常的原因是无法准确及时分辨产品缺陷是来自晶圆盒污染还是机台污染，因此需要同时对晶圆盒和机台进行监测，造成机台长时间停止使用来等待监测和人工测试结果，从而降低了机台的使用率，影响生产效率。现有技术通常是设置晶圆盒使用时间、年限和轻拿轻放的宣导来控制晶圆盒内环境的洁净度，来降低晶圆盒对产品合格率的影响。但现有技术中对晶圆盒内环境还没有量化的测试方法，通常只能进行人工模拟测试，无法避免人为因素而进行精确的模拟，得到准确的测试结果，从而无法对线上所有晶圆盒进行准确及时的监测和控制。因此，需要设计一种对晶圆盒准确及时监测的装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统，以解决现有的技术中对晶圆盒内环境没有量化的测试方法，对线上所有晶圆盒无法准确及时的监测和控制的问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种晶圆盒测试装置，所述晶圆盒测试装置包括驱动装置、及位于所述驱动装置上的晶圆盒承载装置，所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置进行上下振动。可选的，在所述的晶圆盒测试装置中，所述晶圆盒承载装置还包括固定装置，所述固定装置将晶圆盒固定在晶圆盒承载装置上。可选的，在所述的晶圆盒测试装置中，所述驱动装置与所述晶圆盒承载装置通过柔性连接装置连接。可选的，在所述的晶圆盒测试装置中，所述驱动装置包括第一驱动装置，所述第一驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第一端的下方。可选的，在所述的晶圆盒测试装置中，所述第一驱动装置包括第一升降装置和与所述第一升降装置连接的第一气缸，其中：所述第一气缸通过气体的进入和排出驱动所述第一升降装置进行升降运动，所述第一升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第一端的升降。可选的，在所述的晶圆盒测试装置中，所述驱动装置还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第二端的下方。可选的，在所述的晶圆盒测试装置中，所述第二驱动装置包括第二升降装置和与所述第二升降装置连接的第二气缸，其中：所述第二气缸通过气体的进入和排出驱动所述第二升降装置进行升降运动，所述第二升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第二端的升降。可选的，在所述的晶圆盒测试装置中，所述驱动装置还包括进排气控制阀门，其中：所述进排气控制阀门控制所述第一气缸和所述第二气缸中的气体的进入和排出。可选的，在所述的晶圆盒测试装置中，所述第一升降装置在晶圆盒测试过程中的升降的幅度为0～14厘米。可选的，在所述的晶圆盒测试装置中，所述第二升降装置在晶圆盒测试过程中的升降的幅度为0～14厘米。本技术还提供一种晶圆盒监测系统，所述晶圆盒监测系统包括：晶圆盒承载装置、驱动装置、振幅传感装置及控制器；其中，所述晶圆盒承载装置位于所述驱动装置上，所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置振动；所述控制器连接所述驱动装置，所述控制器控制所述驱动装置；所述振幅传感器位于所述晶圆盒承载装置上，所述振幅传感装置检测所述晶圆盒承载装置的振幅并将检测到的所述晶圆盒承载装置的振幅提供给所述控制器。可选的，在所述的晶圆盒监测系统中，所述驱动装置包括第一驱动装置，所述第一驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第一端的下方。可选的，在所述的晶圆盒监测系统中，所述第一驱动装置包括第一升降装置和与所述第一升降装置连接的第一气缸，其中：所述第一气缸通过气体的进入和排出驱动所述第一升降装置进行升降运动，所述第一升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第一端的升降。可选的，在所述的晶圆盒监测系统中，所述驱动装置还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第二端的下方。可选的，在所述的晶圆盒监测系统中，所述第二驱动装置包括第二升降装置和与所述第二升降装置连接的第二气缸，其中：所述第二气缸通过气体的进入和排出驱动所述第二升降装置进行升降运动，所述第二升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第二端的升降。可选的，在所述的晶圆盒监测系统中，所述驱动装置还包括进排气控制阀门，其中：所述进排气控制阀门控制所述第一气缸和所述第二气缸中的气体的进入和排出。可选的，在所述的晶圆盒监测系统中，所述控制器连接所述进排气控制阀门，控制所述进排气控制阀门的开启和关闭。可选的，在所述的晶圆盒监测系统中，所述晶圆盒监测系统还包括键盘，所述键盘将所述晶圆盒承载装置振动的振幅和振动的次数输入到控制器中。可选的，在所述的晶圆盒监测系统中，所述晶圆盒监测系统还包括显示器，所述显示器显示所述振幅传感装置发送给所述控制器的晶圆盒承载装置的振幅。可选的，在所述的晶圆盒监测系统中，所述晶圆盒监测系统还包括报警装置，所述报警装置对晶圆盒承载装置振动次数和振动的振幅超过标准的情况进行报警。在本技术提供的晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统中，通过建立标准的晶圆盒测试装置和包括晶圆盒测试装置的晶圆盒监测系统，及时准确发现晶圆盒使用情况和及时处理；通过完全模拟线上晶圆盒运送过程中的振幅情况，来完全量化晶圆盒的使用控制；通过测试结果反馈控制线上晶圆盒，线上晶圆盒使用情况反馈控制系统，从而达到监测线上所有晶圆盒使用情况的效果，并且通过控制器的键盘和显示器等人机交互设备，实现了智能控制晶圆盒测试时的振动次数、振幅和冲量，通过报警装置实现了晶圆盒使用情况的实时检测和报警。在本技术提供的晶圆盒测试装置中，通过固定装置和柔性连接装置使晶圆盒在测试过程中更加安全、稳固和可靠。通过将驱动装置分为两部分，使晶圆盒测试时，两端的振幅均可以自行灵活设置，可模拟多种测试环境。附图说明图1是本技术一实施例晶圆盒测试装置示意图；图2是本技术一实施例晶圆盒监测系统示意图；图中所示：1-晶圆盒测试装置；11-驱动装置；111-第一驱动装置；1111-第一升降装置；1112-第一气缸；112-第二驱动装置；1121-第二升降装置；1122-第二气缸；113-进排气控制阀门；12-晶圆盒承载装置；13-晶圆盒；2-振幅传感装置；3-控制器；31-键盘；32-显示器；33-报警装置。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。本技术的核心思想在于提供一种晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统，以解决现有的技术中对晶圆盒内环境没有量化的测试方法，对线上所有晶圆盒无法准确及时的监测和控制的问题。为实现上述思想，本技术提供了一种晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统，晶圆盒监测系统包括晶圆盒测试装置、振幅传感装置及控制器，其中：所述晶圆盒测试装置包括驱动装置，及位于所述驱动装置上的晶圆盒承载装置，所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置进行上下振动；控制器连接所述晶圆盒测试装置中的驱动装置，所述控制器控制所述晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆盒测试装置，其特征在于，所述晶圆盒测试装置包括驱动装置及位于所述驱动装置上的晶圆盒承载装置，所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置进行上下振动。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒测试装置，其特征在于，所述晶圆盒测试装置包括驱动装置及位于所述驱动装置上的晶圆盒承载装置，所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置进行上下振动。2.如权利要求1所述的晶圆盒测试装置，其特征在于，所述晶圆盒承载装置还包括固定装置，所述固定装置将晶圆盒固定在晶圆盒承载装置上。3.如权利要求1所述的晶圆盒测试装置，其特征在于，所述驱动装置与所述晶圆盒承载装置通过柔性连接装置连接。4.如权利要求1所述的晶圆盒测试装置，其特征在于，所述驱动装置包括第一驱动装置，所述第一驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第一端的下方。5.如权利要求4所述的晶圆盒测试装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一升降装置和与所述第一升降装置连接的第一气缸，其中：所述第一气缸通过气体的进入和排出驱动所述第一升降装置进行升降运动，所述第一升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第一端的升降。6.如权利要求5所述的晶圆盒测试装置，其特征在于，所述驱动装置还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第二端的下方。7.如权利要求6所述的晶圆盒测试装置，其特征在于，所述第二驱动装置包括第二升降装置和与所述第二升降装置连接的第二气缸，其中：所述第二气缸通过气体的进入和排出驱动所述第二升降装置进行升降运动，所述第二升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第二端的升降。8.如权利要求7所述的晶圆盒测试装置，其特征在于，所述驱动装置还包括进排气控制阀门，其中：所述进排气控制阀门控制所述第一气缸和所述第二气缸中的气体的进入和排出。9.如权利要求5所述的晶圆盒测试装置，其特征在于，所述第一升降装置在晶圆盒测试过程中的升降的幅度为0～14厘米。10.如权利要求7所述的晶圆盒测试装置，其特征在于，所述第二升降装置在晶圆盒测试过程中的升降的幅度为0～14厘米。11.一种晶圆盒监测系统，其特征在于，所述晶圆盒监测系统包括：晶圆盒承载装置、驱动装置、振幅传感装置及控制器；其中，所述晶圆盒承载装置位于所述驱动装置上，所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置振动；...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴健健，朱瑜杰，许晓世，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12