传输装置监控系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术揭示了一种传输装置监控系统，包括：光发射器，所述光发射器发出一光；光接收器，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的量的弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置。当传输装置静止时，所述光照射到所述接收面的量多；当所述传输装置移动时，所述传输装置带动所述弹性单元发生弹性形变，使所述光接收器接收所述光的量减少，因此可以根据所述光接收器接收所述光的量监控所述传输装置的运动状况，对传输装置的寿命周期进行监控。

Transmission device monitoring system

The utility model discloses a transmission device monitoring system, including: light emitter, the light emitter emits a light; a light receiver, the optical receiver is for receiving the light receiving surface; and according to the motion to change the transmission device of the elastic element optical receiver receive the light quantity and the elastic unit is connected to the transmission device. When a transmission device, the light irradiation to the receiving surface of the amount; when the mobile transmission device, the transmission device drives the elastic unit elastic deformation, reduce the light receiver receives the light quantity, according to the movement condition of the monitoring light receiver the light of the transmission device, monitor the life cycle of transmission device.

【技术实现步骤摘要】
传输装置监控系统
本技术涉及设备
，特别是涉及一种传输装置监控系统。
技术介绍
在半导体工厂中，需要通过机械手臂(传输装置)将晶圆盒(cassette或FOUP)放到机台上，并通过另一机械手臂(传输装置)将晶圆(wafer)放到机台内部的腔中。如果机械手臂的传送运动不平稳，则机械手臂的震动造成晶圆震动，从而产生较多的颗粒(particle)；特别是带动机械手臂的马达卡死时，还需要人工地将晶圆从腔或机械手臂上取下，很容易划伤晶圆，造成晶圆的报废。在现有技术中，只能当马达或机械手臂出现异常时，进行问题部件的更换。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种传输装置监控系统，可以检测马达或机械手臂的传输装置的运动振幅，有利于对传输装置的寿命周期进行监控。为解决上述技术问题，本技术提供一种传输装置监控系统，用于监控一传输装置的运动振幅，所述传输装置监控系统包括：光发射器，所述光发射器发出一光；光接收器，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的量的弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置。可选的，所述传输装置监控系统还包括：移动靶，所述移动靶中设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传输装置监控系统，其特征在于，用于监控一传输装置的运动振幅，所述传输装置监控系统包括：光发射器，连接所述传输装置，所述光发射器发出一光；光接收器，连接所述传输装置，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的情况的弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置。

【技术特征摘要】
1.一种传输装置监控系统，其特征在于，用于监控一传输装置的运动振幅，所述传输装置监控系统包括：光发射器，连接所述传输装置，所述光发射器发出一光；光接收器，连接所述传输装置，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的情况的弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置。2.如权利要求1所述的传输装置监控系统，其特征在于，所述传输装置监控系统还包括：移动靶，所述移动靶中设置有一槽；当所述传输装置静止时，所述光从所述槽中穿过，并照射到所述光接收器的接收面。3.如权利要求2所述的传输装置监控系统，其特征在于，所述移动靶通过所述弹性单元连接所述传输装置。4.如权利要求3所述的传输装置监控系统，其特征在于，所述移动靶的底端连接所述弹性单元。5.如权利要求2所述的传输装置监控系统，其特征在于，所述槽为环形槽。6.如权利要求5所述的传输装置监控系统，其特征在于，所述槽位于所述移动靶的侧壁处。7.如权利要求5所述的传输装置监控系统，其特征在于，所述槽为圆环形槽或方环形槽。8.如权利要求5所述的传输装置监控系统，其特征在于，所述移动靶为圆柱形或方柱形。9.如权利要求5所述的传输装置监控系统，其特征在于，所述传输装置监控系统还包括：至少一改变所述光在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12