一种单驱动单晶硅棒双边切割机制造技术

一种单驱动单晶硅棒双边切割机，包括环形金刚石线锯、线锯运行机构、送料机构、机架，其要点在于：线锯运行机构由驱动机构、从动机构、摇臂张紧机构构成，驱动机构包括驱动轮、驱动轴、伺服电机、电机联接座，驱动轴上套有两个驱动轮，有两套从动机构；采用一体式双线摇臂张紧机构，由两个重锤、摇臂杆、传动轴、张紧轮组件、张紧摇臂构成，两传动轴通过轴承套在一起，相互间可自由转动，不同的重锤带动各自的张紧轮组件摆动，互不干涉。本发明专利技术采用两组环形金刚石线锯运行机构，具有磨床约6倍、或普通线锯切割设备2倍以上的效率，制造成本相对于类似设备增加小于10%。本发明专利技术结构紧凑，加工同步性容易控制，具有非常明显的经济效益。

A single drive single crystal silicon rod double side cutting machine

A single drive monocrystalline silicon bilateral cutting machine, including ring, diamond wire wire running mechanism, a feeding mechanism, a frame, which is characterized in that the wire running mechanism comprises a driving mechanism, a driven mechanism, rocker arm tensioning mechanism, the driving mechanism comprises a driving wheel, a driving shaft, servo motor, motor drive shaft connecting seat there are two sets of driving wheels, two driven mechanism; the integrated double rocker clamping mechanism is composed of two hammer, rod, rocker shaft, the tension wheel assembly, tensioning rocker arm, two drive shaft through a bearing sleeve together, each other can freely rotate, different hammer drives respective the tensioner assembly swings, mutual non-interference. The invention adopts two sets of ring diamond wire running mechanism, efficiency is about 6 times, or ordinary grinder wire cutting equipment more than 2 times, compared to similar equipment manufacturing cost increase of less than 10%. The invention has the advantages of compact structure, easy control of processing synchronization, and obvious economic benefit.

【技术实现步骤摘要】
一种单驱动单晶硅棒双边切割机
本专利技术属于硬脆材料的切割设备，具体是一种金刚石线锯切割设备。
技术介绍
单晶硅体是具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，在制造半导体器件、太阳能电池等领域被广泛应用。高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制成铸锭，再对铸锭开方、截断后形成各种规格的棒料。硅棒倒角是指把切割后的硅棒锐利边缘通过加工修整成弧角或斜角，其目的是消除边缘切割应力，防止边缘破裂及颗粒脱落。对单晶硅棒料的倒角方法如下：1、使用磨床倒角：采用金刚石砂轮，对单晶硅棒料长方体四平面的45°棱角用磨削方法加工。用磨削方法加工，表面精度高，但是生产效率低，废料无法利用，废料融入切削液后容易对环境造成污染。2使用卧式、立式环形金刚石单线锯设备切割：1.）环形金刚石线锯设备的金刚石线锯线速度约30m∕秒～40m∕秒，切割效率高，表面质量好，废料能够100%利用。其线锯运行机构都只能运行一条线锯。对于单晶硅棒这种四边都要加工的材料，在加工完一面后要重新装卸，不仅增加了工作量，加工时间长，而且各个加工面的形位工差精度低。
技术实现思路
：针对现有技术的不足，本专利技术的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单驱动单晶硅棒双边切割机，由环形金刚石线锯、线锯运行机构、送料机构、机架组成，其特征在于：所述机架由下从动轮支撑架（901）、机架底座（902）、底架面板（903）、轮系安装侧板（904）、工作台基座（905）、上从动轮支撑架（906）构成，所述送料机构，由承载棒料工件的晶棒承座台（505）、晶棒承座尼龙板（506）、直线导轨（502）、齿条（503）、滑块（504）构成，用紧固件将晶棒承座尼龙板（506）、晶棒承座台（505）固定于送料工作台上，由送料工作台驱动电机（501）驱动整个送料工作台的进给，所述线锯运行机构由驱动机构（2）、从动机构（3）、摇臂张紧机构（4）构成，所述驱动机构（...

【技术特征摘要】
1.一种单驱动单晶硅棒双边切割机，由环形金刚石线锯、线锯运行机构、送料机构、机架组成，其特征在于：所述机架由下从动轮支撑架（901）、机架底座（902）、底架面板（903）、轮系安装侧板（904）、工作台基座（905）、上从动轮支撑架（906）构成，所述送料机构，由承载棒料工件的晶棒承座台（505）、晶棒承座尼龙板（506）、直线导轨（502）、齿条（503）、滑块（504）构成，用紧固件将晶棒承座尼龙板（506）、晶棒承座台（505）固定于送料工作台上，由送料工作台驱动电机（501）驱动整个送料工作台的进给，所述线锯运行机构由驱动机构（2）、从动机构（3）、摇臂张紧机构（4）构成，所述驱动机构（1）包括驱动轮、驱动轴、伺服电机、电机联接座，伺服电机（101）通过电机联接座（102）与机架相连，并通过联轴器（107）进行驱动，驱动轴（116）上套有两个驱动轮（113），一个驱动轮（113）定位在内驱动轮定位圈（112）上，联接套（111）套入驱动轴（116）止口，用螺钉（114）将内驱动轮盖（115）、内驱动轮定位圈（112）、联接套（111）固定在一起，另一个驱动轮（113）定位在驱动轴（116）末端的外驱动轮盖（117）上，通过螺钉与外驱动轮定位圈（118）联接，套入驱动轴（116）后，用螺钉锁紧端盖（119）完成定位；配有两套从动机构（3）；所述摇臂张紧机构（4）为双线摇臂张紧机构，由两个重锤（401）、摇臂杆A（402）、摇臂杆B（403）、传动轴A（407）、传动轴B（408）、两个张紧...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱文志，李海威，林冬，黄田玉，林孝狮，许光先，梁兴华，
申请(专利权)人：福州天瑞线锯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35