一种静电吸附拾取夹具系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种静电吸附拾取夹具系统，包括可对微薄片进行筛选的筛选平台、可对筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具、可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台。具体地，筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台，以及位于负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板；静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板。相对于现有技术，本实用新型专利技术能够有效解决纳米级成品进行准确搬移的技术问题，能够有效筛选成品、有效吸附成品以及缓降定位等优点，能够提高生产效率以及保证成品完整性。

【技术实现步骤摘要】
一种静电吸附拾取夹具系统
本技术涉及静电吸附夹具
，特别涉及一种静电吸附拾取夹具系统。
技术介绍
在半导体生产技术中，单晶硅等微小薄片成品的长和宽尺寸通常在2—10um范围内，由于微薄片的外形尺寸过小，如果通过机械夹装的方式容易造成微薄片边界的破损，但是微薄片的外形尺寸过少，容易造成夹紧不牢固而导致松脱等情况发生，因此外形尺寸较小微薄片进行搬移时存在较多技术问题。
技术实现思路
本技术的主要目的是提出一种生产效率高以及准确搬移微薄片的静电吸附拾取夹具系统，旨在解决现有技术中外形尺寸较小微薄片难以搬移的技术问题。为实现上述目的，本技术提出的一种静电吸附拾取夹具系统，包括：可对微薄片进行筛选的筛选平台；可对所述筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具；可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台；所述筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台、位于所述负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板以及位于所述筛选正极板下方的电池层；所述静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，所述去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板。优选地，所述筛选正极板为若干个相互分离且分别与电池层电连接的正极板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，包括：可对微薄片进行筛选的筛选平台；可对所述筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具；可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台；所述筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台、位于所述负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板以及位于所述筛选正极板下方的电池层；所述静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，所述去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板。

【技术特征摘要】
1.一种静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，包括：可对微薄片进行筛选的筛选平台；可对所述筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具；可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台；所述筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台、位于所述负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板以及位于所述筛选正极板下方的电池层；所述静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，所述去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板。2.如权利要求1所述的静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，所述筛选正极板为若干个相互分离且分别与电池层电连接的正极板。3.如权利要求2所述的静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，若干个所述正极板可呈阵列状进行排布...

【专利技术属性】
技术研发人员：张一博，刘强，姚建华，卢诗毅，喻里程，刘浩，刘震，张霞峰，张根明，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：新型
国别省市：广东,44