下载一种静电吸附拾取夹具系统的技术资料

文档序号:16387811

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本实用新型公开一种静电吸附拾取夹具系统,包括可对微薄片进行筛选的筛选平台、可对筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具、可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台。具体地,筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台,以及位于负极板载物...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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