一种提高刻蚀药液寿命的工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种提高刻蚀药液寿命的工艺，包括以下几个步骤：步骤1)：向药液活性低的刻蚀药液中加入2～15％中性盐，同时加入13～40‰乙氧基化合物；其中刻蚀药液中的SiF6

【技术实现步骤摘要】
一种提高刻蚀药液寿命的工艺
本专利技术涉及刻蚀
，具体为一种提高刻蚀药液寿命的工艺。
技术介绍
蚀刻过程是氢氟酸对玻璃主要成分SiO2反应生成氟硅酸H2SiF6，具体为：SiO2+4HF→SiF4+2H2O；3SiF4+3H2O→H2SiO3+2H2SiF6。在刻蚀药液寿命末期，刻蚀药液活性低，不如之前，副产物氟硅酸越来越多，对刻边效果有一定影响。通过对A、B两个刻蚀车间同样工艺条件、刻蚀800万片和1800万片产品的电性能进行科学记录，具体数据如下表；已生产片数EtaUocIscFFRsRshIRev2刻蚀A车间1800万10.32％602.587.1873.063.1621023.160.131刻蚀B车间800万18.31％632.68.79680.031.4361257.830.044GAP-8.01％-30.02-1.616-6.972.726-224.77-0.86表中GAP表示偏差、Eta表示刻蚀效率、Uoc表示开路电压、Isc表示短路电流、FF表示填充因子、Rs表示串联电阻、Rsh表示并联电阻、IRev2表示暗电流。由表中数据可知刻蚀A车间生产1800万片，刻蚀药本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高刻蚀药液寿命的工艺，其特征在于，包括以下几个步骤：步骤1)：向药液活性低的刻蚀药液中加入其质量2～15％的中性盐，同时加入其质量13～40‰的乙氧基化合物，混合并搅匀；其中刻蚀药液中的SiF6

【技术特征摘要】
1.一种提高刻蚀药液寿命的工艺，其特征在于，包括以下几个步骤：步骤1)：向药液活性低的刻蚀药液中加入其质量2～15％的中性盐，同时加入其质量13～40‰的乙氧基化合物，混合并搅匀；其中刻蚀药液中的SiF62-阴离子与中性盐水解的磁性阳离子反应通式如下：刻蚀药液中的H+阳离子与中性盐水解的阴离子反应通式如下：步骤2)：将搅匀后的混合溶液经过磁场强度为20～40kHz空化，然后再将空化后溶液中的沉淀物(X2)(SiF6)n滤出，滤出沉淀物(X2)(SiF6)n后的溶液再通过离子交换树脂，得到滤液；步骤3)：向步骤2)中的滤液加入去离子水，形成新溶液，保持pH值为1.8～2.3。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱军，李龙庭，陈霞，王杰，李刚，
申请(专利权)人：通威太阳能合肥有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34