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本发明公开了一种提高刻蚀药液寿命的工艺，包括以下几个步骤：步骤1)：向药液活性低的刻蚀药液中加入2～15％中性盐，同时加入13～40‰乙氧基化合物；其中刻蚀药液中的SiF6...
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