A TFT glass etching pretreatment liquid, characterized in that the pretreatment solution consists of the following components: the mass percentage content 10 ~ 20% hydrochloric acid; 2% ~ 5% wt hydrofluoric acid; mass percentage of 5 ~ 10% polyethylene glycol 6000; 0.5 ~ 1% wt two polydimethylsiloxane and allowance the water.
【技术实现步骤摘要】
一种TFT玻璃蚀刻预处理液
本专利技术涉及用于TFT玻璃基板蚀刻预处理的组合物。
技术介绍
TFT(ThinFilmTransistor,薄膜晶体管)显示屏是液晶显示屏的一种,其主要结构为包括在两层玻璃基板之间的液晶材料。市场需求的TFT显示屏越来越朝超薄方向发展,在制作超薄TFT显示屏使需要的玻璃基板厚度更薄,需要对现有规格玻璃基板进行薄化处理,现有技术中多采用含有氢氟酸的蚀刻液进行薄化处理,在薄化处理后玻璃基板表明往往会出现局部过蚀产生的凹坑,需要再对基板表明进行长时间的抛光处理,严重影响了生产效率,提高了加工成本。为了减少薄化处理出现的凹坑,除了在以氢氟酸为基础的蚀刻液中加入助剂外,还可以采用在薄化处理前对TFT液晶屏的玻璃基板(简称TFT玻璃)进行预处理的方法,中国专利CN103951270B公开了一种对TFT玻璃进行薄化预处理的方法,采用90-95%、3-5%、2-5%的浓硫酸、浓盐酸以及氢氟酸的混合酸液;对TFT玻璃基板进行预处理。该方法虽然可以实现一定的减少薄化后玻璃基板凹坑的效果,但预处理的混合酸中加入了大量的浓硫酸,预处理工序后产生的废液难于进行处理。因此提供一种新的TFT玻璃蚀刻预处理液,在提高处理效果的基础上降低污染排放,成为现有技术中亟待解决的问题。
技术实现思路
为解决前述技术问题,本专利技术提供了一种TFT玻璃蚀刻预处理液及其处理工艺,通过优化预处理液的处方和处理工艺,成功的实现了避免了浓硫酸等造成严重污染且难于处理的原材料的使用。本专利技术提供了一种TFT玻璃蚀刻预处理液,其特征在于所述预处理液由以下组分组成:质量百分比含量10~ ...
【技术保护点】
一种TFT玻璃蚀刻预处理液,其特征在于所述预处理液由以下组分组成:质量百分比含量10~20%的盐酸;质量百分比含量2%~5%的氢氟酸;质量百分比含量5~10%的聚乙二醇6000;质量百分比含量0.5~1%的聚二甲基硅氧烷及余量的水。
【技术特征摘要】
1.一种TFT玻璃蚀刻预处理液,其特征在于所述预处理液由以下组分组成:质量百分比含量10~20%的盐酸;质量百分比含量2%~5%的氢氟酸;质量百分比含量5~10%的聚乙二醇6000;质量百分比含量0.5~1%的聚二甲基硅氧烷及余量的水。2.如权利要求1所述的一种TFT...
【专利技术属性】
技术研发人员:张杰,沈励,郑建军,姚仕军,夏伟,吴青肖,
申请(专利权)人:天津美泰真空技术有限公司,
类型:发明
国别省市:天津,12
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