【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种玻璃基板用蚀刻装置，作为用于蚀刻玻璃基板表面的蚀刻装置，其特征在于，上述蚀刻装置包括：一处理室；一闸门，朝上述处理室内部投进装载着玻璃基板的夹具；一移送件，将投进上述处理室内部的夹具进行移送，上述移送件包括：多个惰轮，其分别由锯齿构成，并且整体上位于一直线并以地面为准位于相同高度；多个夹具搬送齿轮，其锯齿与上述各个惰轮相啮合，并且位于比上述惰轮上方的位置，整体上位于一直线并以地面为准位于相同高度，上述惰轮或上述夹具搬送齿轮中任意一个与驱动马达相连，而通过驱动马达的驱动力进行驱动，在上述夹具搬送齿轮的锯齿之间设有比锯齿部分高度低并且平坦、凹陷而成的搬送面，上述夹具沿着上述搬送面进行移送。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：崔民玉，张台勳，
申请(专利权)人：AU技术株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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