弹性波谐振器、弹性波滤波器、双工器以及弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制非线性信号的产生的弹性波谐振器。弹性波谐振器(1)具备压电基板(2)和形成在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具备：第1电极层(4)，具有配置在压电基板(2)侧的第1主面(4a)和与第1主面(4a)对置的第2主面(4b)，并由Al或以Al为主体的合金构成。利用SH波作为传播的弹性波。在弹性波谐振器(1)中，在将弹性波谐振器(1)的谐振频率设为fr并将反谐振频率设为fa时，在由下述式(1)表示的频率f处，通过二维有限元法计算出的第1主面(4a)中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波谐振器、弹性波滤波器、双工器以及弹性波装置
本专利技术涉及在压电基板上设置有IDT电极的弹性波谐振器、以及具有该弹性波谐振器的弹性波滤波器和双工器。
技术介绍
以往，作为构成在便携式电话机等中使用的带通滤波器的谐振器，广泛使用了弹性波谐振器。例如，在下述专利文献1公开了一种具备压电基板和设置在该压电基板上的IDT电极的弹性波谐振器。在专利文献1中记载了上述IDT电极由Al膜形成。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开平2-295212号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在像专利文献1的弹性波谐振器那样由Al膜构成IDT电极的情况下，有时信号的线性度会下降。因此，在将专利文献1的弹性波谐振器用于双工器的发送滤波器的情况下，有时从发送滤波器产生的非线性信号的电平会增大，从而接收灵敏度下降。本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制非线性信号的产生的弹性波谐振器、以及具有该弹性波谐振器的弹性波滤波器和双工器。用于解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波谐振器，具备压电基板和形成在上述压电基板上的IDT电极，其中，上述IDT电极具备：第1电极层，具有配置在上述压电基板侧的第1主面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波谐振器，具备压电基板和形成在所述压电基板上的IDT电极，其中，所述IDT电极具备：第1电极层，具有配置在所述压电基板侧的第1主面和与所述第1主面对置的第2主面，并由Al或以Al为主体的合金构成，利用SH波作为传播的弹性波，在将所述弹性波谐振器的谐振频率设为fr，并将反谐振频率设为fa时，在由下述式(1)表示的频率f处，通过二维有限元法计算出的所述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.01 JP 2014-2431841.一种弹性波谐振器，具备压电基板和形成在所述压电基板上的IDT电极，其中，所述IDT电极具备：第1电极层，具有配置在所述压电基板侧的第1主面和与所述第1主面对置的第2主面，并由Al或以Al为主体的合金构成，利用SH波作为传播的弹性波，在将所述弹性波谐振器的谐振频率设为fr，并将反谐振频率设为fa时，在由下述式(1)表示的频率f处，通过二维有限元法计算出的所述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下，f＝fr+0.06×bw…式(1)式(1)中，bw是fa-fr。2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其中，在所述频率f处，通过二维有限元法计算出的所述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。3.一种弹性波谐振器，具备压电基板和形成在所述压电基板上的IDT电极，其中，所述IDT电极具备：第1电极层，具有配置在所述压电基板侧的第1主面和与所述第1主面对置的第2主面，并由Al或以Al为主体的合金构成，利用SH波作为传播的弹性波，在将所述弹性波谐振器的谐振频率设为fr，并将反谐振频率设为fa时，在由下述式(1)表示的频率f处，通过二维有限元法计算出的所述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下，f＝fr+0.06×bw…式(1)式(1)中，bw是fa-fr。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波谐振器，其中，所述IDT电极具备形成在所述压电基板上的第2电极层，在所述第2电极层上层叠有所述第1电极层，所述第2电极层通过从由Ti、Pt、Mo、W、Au、Cu、Ag以及NiCr构成的组中选择的至少一种金属而构成。5.根据权利要求4所述的弹性波谐振器，其中，所述第1电极层具有连结所述第1主面和所述第2主面的侧面，该侧面的至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川亮，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP