弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够谋求小型化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)；IDT电极(6)，设置在压电基板(2)上，具有多根第一电极指、第二电极指和第一汇流条、第二汇流条(6a2、6b2)；电容电极(8)，具有多根第三电极指、第四电极指和第三汇流条、第四汇流条；绝缘膜(9)，层叠在电容电极(8)；第一布线(14)，具有隔着绝缘膜(9)与电容电极(8)对置的第一部分(14b)；以及第二布线(15)，对第一汇流条(6a2)和第三汇流条进行连接。电容电极(8)在声表面波的传播方向上配置在IDT电极(6)的侧方。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
以往，弹性波装置广泛用于便携式电话机等。在下述的专利文献1中，公开了一种具有使用了梳齿状电极的电容部的声表面波装置。梳齿状电极的多根电极指与IDT电极连成一排，并形成在压电基板上，且隔着电介质膜与公共电极对置。由此，构成了电容部。在下述的专利文献2中，公开了一种具有由一对梳齿状电极构成的电容部的滤波器。专利文献2的滤波器具有纵向耦合谐振器型弹性波滤波器以及电抗元件。在纵向耦合谐振器型弹性波滤波器和电抗元件的连接点与接地电位之间，连接有上述电容部。电容部的电极指延伸的方向设为与纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的IDT电极的电极指延伸的方向垂直。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开昭63-86912号公报专利文献2：日本特表2010-512077号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，专利文献1的构成电容部的多根电极指在与上述IDT电极的电极指相同的方向上延伸。因此，会由电容部的多根电极指激励无用的波。因此，滤波器特性等劣化。近年来，要求弹性波装置的小型化。然而，在专利文献2的滤波器中，与设置电容部相应地，面积增大。因此，难以小型化。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，具备：压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板上，具有彼此相互交替插入的多根第一电极指和多根第二电极指、共同连接了所述多根第一电极指的一端的第一汇流条、以及共同连接了所述多根第二电极指的一端的第二汇流条；电容电极，具有彼此相互交替插入的多根第三电极指和多根第四电极指、共同连接了所述多根第三电极指的一端的第三汇流条、以及共同连接了所述多根第四电极指的一端的第四汇流条；绝缘膜，层叠在所述电容电极；第一布线，具有隔着所述绝缘膜与所述电容电极对置的部分；以及第二布线，对所述第一汇流条和所述第三汇流条进行连接，所述电容电极在声表面波的传播方向上配置在所述IDT电极的侧方。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.07 JP 2015-0015741.一种弹性波装置，具备：压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板上，具有彼此相互交替插入的多根第一电极指和多根第二电极指、共同连接了所述多根第一电极指的一端的第一汇流条、以及共同连接了所述多根第二电极指的一端的第二汇流条；电容电极，具有彼此相互交替插入的多根第三电极指和多根第四电极指、共同连接了所述多根第三电极指的一端的第三汇流条、以及共同连接了所述多根第四电极指的一端的第四汇流条；绝缘膜，层叠在所述电容电极；第一布线，具有隔着所述绝缘膜与所述电容电极对置的部分；以及第二布线，对所述第一汇流条和所述第三汇流条进行连接，所述电容电极在声表面波的传播方向上配置在所述IDT电极的侧方。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，还具备：第三布线，对所述第二汇流条和所述第四汇流条进行连接。3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述第四汇流条与接地电位连接。4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：村濑智彦，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP