弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在通带内难以产生脉动的弹性波装置。弹性波装置(1)是具有压电膜(6)的弹性波装置(1)，具备：高音速构件，所传播的体波音速与在压电膜(6)中传播的主模的弹性波音速相比为高速；压电膜(6)，直接或间接地层叠在高音速构件上；第一导电膜，设置在压电膜(6)上；以及第二导电膜，设置在压电膜(6)上以及第一导电膜的至少一部分上。在压电膜(6)上设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极，由第一导电膜构成多个IDT电极(8)的至少电极指，由第二导电膜构成对多个IDT电极(8)之间进行连接的连接布线的至少一部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
以往，弹性波装置广泛用于便携式电话机等。例如，在下述的专利文献1记载的弹性波滤波器具有依次层叠了高音速膜、由绝缘体构成的低音速膜以及压电膜的层叠体。在压电膜上，设置有IDT电极。另外，在高音速膜中传播的体波音速与在压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速。在低音速膜中传播的体波音速与在压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为低速。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2012/086639号
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在专利文献1记载的弹性波滤波器中，压电膜的厚度薄，进而在压电膜下设置有由绝缘体构成的低音速膜，因此在压电膜上形成IDT电极的工序中，电荷会滞留，有时会在IDT电极的电极指与汇流条之间等产生浪涌击穿。因此，有时会在弹性波滤波器的通带内产生脉动。脉动的产生频率、大小也往往存在偏差。本专利技术的目的在于，提供一种在通带内难以产生脉动的弹性波装置。用于解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波装置是具有压电膜的弹性波装置，其具备：高音速构件，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速；所述压电膜，直本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，具有压电膜，其中，所述弹性波装置具备：高音速构件，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速；所述压电膜，直接或间接地层叠在所述高音速构件上；第一导电膜，设置在所述压电膜上；以及第二导电膜，设置在所述压电膜上以及所述第一导电膜的至少一部分上，在所述压电膜上，设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极，由所述第一导电膜构成所述多个IDT电极的至少所述电极指，由所述第二导电膜构成对所述多个IDT电极之间进行连接的连接布线的至少一部分。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.25 JP 2014-2628991.一种弹性波装置，具有压电膜，其中，所述弹性波装置具备：高音速构件，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速；所述压电膜，直接或间接地层叠在所述高音速构件上；第一导电膜，设置在所述压电膜上；以及第二导电膜，设置在所述压电膜上以及所述第一导电膜的至少一部分上，在所述压电膜上，设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极，由所述第一导电膜构成所述多个IDT电极的至少所述电极指，由所述第二导电膜构成对所述多个IDT电极之间进行连接的连接布线的至少一部分。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在所述高音速构件上直接层叠有所述压电膜。3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在所述高音速构件与所述压电膜之间形成有密接层。4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置还具备：低音速膜，层叠在所述高音速构件上，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为低速，所述压电膜隔着所述低音速膜间接地层叠在所述高音速构件上。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述连接布线全部由所述第二导电膜构成。6.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述连接布线具有由所述第一导电膜构成的第一布线部分，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：高峰裕一，山根毅，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP