提供IDT电极的Al换算波长标准化厚度比以往更厚、且温度特性良好、制造容易的弹性波装置。在LiTaO3基板(2)的主面(2a)设置IDT电极(3)，弹性波装置(1)利用SH波为主体的基本模式即SH0模式的板波。LiTaO3基板(2)的利用由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长进行标准化而得的LiTaO3基板(2)的波长标准化厚度、和IDT电极(3)的Al换算波长标准化厚度满足下述表1所示的任意组合。[表1]
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用了板波的弹性波装置，更详细的是涉及利用了LiTaO3基板的弹性波装置。
技术介绍
以往，能获得利用了LiTaO3的SH波元件。例如下述的专利文献1中公开了利用SH波的基本模式即SH0模式的SH波元件。专利文献1中，公开了通过将LiTaＯ3基板的厚度设为给定的厚度，能将延迟时间温度系数TCD基本设为0。再有，示出：在10MHz频带所使用的SH波元件的情况下，如果将金或铝等的电极材料膜形成为膜厚0.2μm左右，那么能使TCD基本为0。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2004-260381号公报
技术实现思路
-专利技术所要解决的技术问题-专利文献1所述的电极膜厚若用由SH波元件的电极指间距决定的波长进行标准化，则IDT电极的Al换算波长标准化厚度为0.000625λ，变得非常薄。即，必须形成波长的0.1％以下非常薄的电极膜。如专利文献1的实施例所示，在10MHz程度的频率下使用的情况下，电极的膜厚为0.2μm左右，并不那么薄。然而，在设成欲在500MHz那样的高频频带使用的情况下，电极膜厚为4nm，为了在1GHz频带使用，电极膜厚变为约2nm。这样若电极膜厚变薄，则电极指的电阻变得非常大。为此，存在损耗增大的问题。再加上，若电极膜厚变得过薄，则高精度地形成微细的间距的电极指也变得非常困难。本专利技术的目的在于，提供一种利用在LiTaO3基板中传播的SH0模式的板波、IDT电极的Al换算波长标准化厚度比以往更厚、且温度特性良好、而且制造容易的弹性波装置。-用于解决技术问题的手段-本申请第1专利技术涉及的弹性波装置具备：LiTaO3基板；和设置在该LiTaO3基板的主面的Al或以Al为主体的IDT电极，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波。在第1专利技术中，所述LiTaO3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的Al换算波长标准化厚度满足下述表1所示的任意组合。[表1]本申请第2专利技术涉及的弹性波装置具备：LiTaO3基板；和设置在该LiTaO3基板的主面的Al或以Al为主体的IDT电极，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波。第2专利技术中，所述LiTaＯ3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的占空比满足下述表2所示的任意组合。[表2](a)波长标准化厚度为0.07以上且0.21以下，且占空比为0.3以上且0.7以下(b)波长标准化厚度为0.03以上且0.27以下，且占空比为0.3以上且0.6以下(c)波长标准化厚度为0.01以上且0.30以下，且占空比为0.3以上且0.5以下(d)波长标准化厚度为0.01以上且0.32以下，且占空比为0.3以上且0.4以下本申请第3专利技术涉及的弹性波装置具备：具有第1主面及与该第1主面相反侧的第2主面的LiTaO3基板；设置在所述LiTaO3基板的所述第1主面的Al或以Al为主体的IDT电极；以及设置在所述LiTaO3基板的所述第2主面且被设置成隔着所述LiTaO3基板而与所述IDT电极对置的导电膜，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波。所述导电膜未被短路。第3专利技术中，所述LiTaO3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的Al换算波长标准化厚度满足下述表3所示的任意组合。[表3]本申请第4专利技术涉及的弹性波装置具备：具有第1主面及与该第1主面相反侧的第2主面的LiTaO3基板；设置在所述LiTaO3基板的所述第1主面的Al或以Al为主体的IDT电极；以及设置在所述LiTaO3基板的所述第2主面且被设置成隔着所述LiTaO3基板而与所述IDT电极对置的导电膜，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波。所述导电膜未被短路。本申请第4专利技术中，所述LiTaO3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的占空比满足下述表4所示的任意组合。[表41(a)波长标准化厚度为0.05以上且0.45以下，且占空比为0.3以上且0.7以下(b)波长标准化厚度为0.02以上且0.52以下，且占空比为0.3以上且0.6以下(c)波长标准化厚度为0.01以上且0.58以下，且占空比为0.3以上且0.5以下(d)波长标准化厚度为0.01以上且0.66以下，且占空比为0.3以上且0.4以下本申请第5专利技术涉及的弹性波装置具备：具有第1主面及与该第1主面相反侧的第2主面的LiTaO3基板；设置在所述LiTaO3基板的所述第1主面的Al或以Al为主体的IDT电极；以及设置在所述LiTaO3基板的所述第2主面且被设置成隔着所述LiTaO3基板而与所述IDT电极对置的导电膜，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波。所述导电膜被短路，。第5专利技术中，所述LiTaO3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的Al换算波长标准化厚度满足下述表5所示的组合。[表5]本申请第6专利技术涉及的弹性波装置具备：具有第1主面及与该第1主面相反侧的第2主面的LiTaO3基板；设置在所述LiTaO3基板的所述第1主面的Al或以Al为主体的IDT电极；以及设置在所述LiTaO3基板的所述第2主面且被设置成隔着所述LiTaO3基板而与所述IDT电极对置的导电膜，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波。所述导电膜被短路。第6专利技术中，所述LiTaO3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的占空比满足下述表6所示的任意组合。[表6](a)波长标准化厚度为0.05以上且0.60以下，且占空比为0.3以上且0.7以下(b)波长标准化厚度为0.02以上且0.68以下，且占空比为0.3以上且0.6以下(c)波长标准化厚度为0.01以上且0.70以下，且占空比为0.3以上且0.5以下-专利技术效果-根据本专利技术(第1～第6专利技术)，能够提供利用了SH0模式的板波、而且温度特性良好、且制造容易的弹性波装置。附图说明图1(a)是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的正面剖视图，图1(b)是表示其电极构造的示意性俯视图。图2(a)～图2(f)用于依序对S0模式、S1模式、A0模式、A1模式、SH0模式、SH1模式进行说明的示意图。图3是第2实施方式涉及的弹性波装置的正面剖视图。图4是第3实施方式涉及的弹性波装置的正面剖视图。图5是表示第1实施方式的弹性波装置中的Al膜的波长标准化厚度、LiTaO3基板的波长标准化厚度和温度特性改善度的关系的图。图6是表示第1实施方式的弹性波装置中的占空比、LiTaO3基板的波长标准化厚度和温度特性改善度的关系的图。图7是表示第2实施方式的弹性波装置中的Al膜的波长标准化厚度、LiTaO3基板的波长标准化厚度和温度特性改善度的关系的图。图8是表本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种弹性波装置，具备：LiTaO3基板；和设置在该LiTaO3基板的主面的Al或以Al为主体的IDT电极，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波，所述LiTaO3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的Al换算波长标准化厚度满足下述表1所示的任意组合，[表1]
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.14 JP 2014-0512991.一种弹性波装置，具备：LiTaO3基板；和设置在该LiTaO3基板的主面的Al或以Al为主体的IDT电极，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波，所述LiTaO3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的Al换算波长标准化厚度满足下述表1所示的任意组合，[表1]2.一种弹性波装置，具备：LiTaO3基板；和设置在该LiTaO3基板的主面的Al或以Al为主体的IDT电极，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波，所述LiTaO3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的占空比满足下述表2所示的任意组合，[表2]3.一种弹性波装置，具备：具有第1主面及与该第1主面相反侧的第2主面的LiTaO3基板；设置在所述LiTaO3基板的所述第1主面的Al或以Al为主体的IDT电极；以及设置在所述LiTaO3基板的所述第2主面且被设置成隔着所述LiTaO3基板而与所述IDT电极对置的导电膜，该弹性波装置利用SH波为主体的基本模式、即SH0模式的板波，所述导电膜未被短路，所述LiTaO3基板的利用由所述IDT电极的电极指间距决定的波长进行标准化而得的所述LiTaO3基板的波长标准化厚度、和所述IDT电极的Al换算波长标准化厚度满足下述表3所示的任意组合，[表3]4.一种弹性波装置，具备：具有第1主面及与该第1主面相反侧的第2主面的LiTaO3基板；设置在所述LiTaO3基板的所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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