【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜衬底底座
本专利技术涉及一种真空镀膜衬底底座,属于真空镀膜装置
技术介绍
真空镀膜装置被广泛应用于各种平面镀膜领域,但是对于立体异形结构的镀膜,往往需要复杂的衬底旋转、翻转等复杂机构的支持,现有的真空镀膜衬底底座难以实现这一要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种真空镀膜衬底底座,可使衬底底座在加工过程中能够旋转、翻转,达到改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率,尤其是深孔镀膜情况下的改善深孔内壁膜厚均匀性。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种真空镀膜衬底底座,包括衬底托盘、转轴和传动轴,所述传动轴与旋转机构连接,所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连,所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽,所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆,所述角度调节杆一端固定在设备底座上,另一端为接触球端,所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。所述传动轴包括旋转机构连接轴和关节盖帽,所述旋转机构连接轴的末端为关节球体,所述关节球体被球关节盖帽包合,所述球关节盖帽与转轴相连。所述转轴包括结构连接螺钉,所述结构连接螺钉一端与衬底托盘固定连接,另一端与传动轴转动连接。所述结构连接螺钉通过固定螺钉固定在衬底托盘的底部。所述衬底托盘圆心处设置有螺钉沉孔,所述固定螺钉安装于螺钉沉孔内。所述衬底托盘的边缘设置有样品限位环。所述球关节盖帽包括上盖帽和下盖帽,所述上盖帽上设置有容纳转轴的凹孔。本专利技术所达到的有益效果:1.真空镀膜进行时,传动轴与旋转机构连接并不断旋转,放于衬底托盘上的样品以传动轴为中心对称轴在俯视平面内 ...
【技术保护点】
一种真空镀膜衬底底座,其特征在于,包括衬底托盘、转轴和传动轴,所述传动轴与旋转机构连接,所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连,所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽,所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆,所述角度调节杆一端固定在设备底座上,另一端为接触球端,所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜衬底底座,其特征在于,包括衬底托盘、转轴和传动轴,所述传动轴与旋转机构连接,所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连,所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽,所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆,所述角度调节杆一端固定在设备底座上,另一端为接触球端,所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜衬底底座,其特征在于,所述传动轴包括旋转机构连接轴和关节盖帽,所述旋转机构连接轴的末端为关节球体,所述关节球体被球关节盖帽包合,所述球关节盖帽与转轴相连。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜衬底底座,...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯斌,任高潮,顾为民,金浩,王德苗,
申请(专利权)人:苏州求是真空电子有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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