一种真空镀膜衬底底座制造技术

本发明专利技术公开了一种真空镀膜衬底底座，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。本发明专利技术可以实现衬底底座的简单的类行星式转动，以使衬底底座在加工过程中能够旋转、翻转，达到改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率，尤其是深孔镀膜情况下的改善深孔内壁膜厚均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜衬底底座
本专利技术涉及一种真空镀膜衬底底座，属于真空镀膜装置

技术介绍
真空镀膜装置被广泛应用于各种平面镀膜领域，但是对于立体异形结构的镀膜，往往需要复杂的衬底旋转、翻转等复杂机构的支持，现有的真空镀膜衬底底座难以实现这一要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种真空镀膜衬底底座，可使衬底底座在加工过程中能够旋转、翻转，达到改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率，尤其是深孔镀膜情况下的改善深孔内壁膜厚均匀性。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种真空镀膜衬底底座，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。所述传动轴包括旋转机构连接轴和关节盖帽，所述旋转机构连接轴的末端为关节球体，所述关节球体被球关节盖帽包合，所述球关节盖帽与转轴相连。所述转轴包括结构连接螺钉，所述结构连接螺钉一端与衬底托盘固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空镀膜衬底底座，其特征在于，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜衬底底座，其特征在于，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜衬底底座，其特征在于，所述传动轴包括旋转机构连接轴和关节盖帽，所述旋转机构连接轴的末端为关节球体，所述关节球体被球关节盖帽包合，所述球关节盖帽与转轴相连。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜衬底底座，...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯斌，任高潮，顾为民，金浩，王德苗，
申请(专利权)人：苏州求是真空电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32