一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架制造技术

本发明专利技术公开一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其包括主框架和至少两组横杆组件；主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。相邻装片横杆的卡槽之间可形成装片卡位，掩膜板或样品的一个对端分别卡入两相邻装片横杆的卡槽之间，即实现装片。装片横杆可拆卸连接主框架横杆，使得装片横杆的高度位置可调，从而可适应不同高度尺寸的掩膜板或样品的装夹镀膜膜，提高镀膜效率。

A vertical mounting frame for magnetron sputtering coating

【技术实现步骤摘要】
一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架
本专利技术涉及溅射镀膜设备配件
，特别是一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架。
技术介绍
现有大型镀膜设备的装片架一般采用固定杆形式，无法适应不同尺寸的掩膜板或样品，使得镀膜工序较为繁琐，镀膜工作效率难以提升，产品镀膜后的效果也不尽人意。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其装片空间可调，能够适应不同尺寸掩膜板或样品的镀膜，提高镀膜效率。本专利技术采取的技术方案为：一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，包括主框架和至少两组横杆组件；主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。本专利技术中，相邻装片横杆的卡槽之间可形成装片卡位，掩膜板或样品的一个对端分别卡入两相邻装片横杆的卡槽之间，即实现装片。装片横杆可拆卸连接主框架横杆，使得装片横杆的高度位置可调，从而可适应不同高度尺寸的掩膜板或样品的装夹镀膜。进一步的，本专利技术的立式装片架还包括定位杆，定位杆平行于主框架竖杆，且两端连接主框架横杆，中部贯穿各装片横杆。定位杆可对主框架结构以及各装片横杆的水平位置进行定位，使得装夹稳定可靠。可选的，定位杆固定安装于主框架的垂直中心位置；各装片横杆的长度方向中部设有与定位杆松配的贯通孔。松配的设置可使得装片横杆在进行高度调节时可直接升降，简化操作。可选的，定位杆为螺纹杆，其两端螺纹连接主框架横杆，并通过螺帽定位；各装片横杆贯通孔两侧的定位杆上分别设有定位螺帽。定位螺帽能够对装片横杆起到进一步定位的作用，避免装片横杆两端固定不紧导致的脱落。可选的，本专利技术的立式装片架中，主框架的其中一个横杆的两端分别固连两竖杆顶端，该横杆背离主框架的一侧顶部设有U型槽。在主框架顶部设置U型槽可实现历史装片架的位移导向。进一步的，本专利技术的立式装片架还包括固连主框架的导向座，导向座上设有开口背离主框架的U型槽，使得主框架的横杆能够通过U型槽在相配合的导轨中滑动，从而可带动装片架移动，实现装片架的位移导向。可选的，所述导向座数量为两个，主框架的两横杆的两端分别固连两竖杆的顶端和底端，两导向座分别固定于主框架的两横杆上。导向座可配合镀膜设备与相适配的导轨进行安装，以适应镀膜位置为准。可选的，所述导向座数量为1个，与主框架顶部横杆相适配；主框架底部还设有配重块，配重块可拆卸固定于主框架上。在顶部导向座的限位导向作用下，底部配重块可随其它动力驱动装置如皮带等实现移位，配重块的设置可使得主框架整体不易歪斜。配重块可通过螺钉固定于主框架下端，如两竖杆下端部。可选的，装片横杆的上表面和下表面分别设置一卡槽。也可仅在其一面上设置一卡槽。可选的，横杆组件还包括套环和定位螺钉，套环套设于主框架横杆外周，套环周部设有螺孔和销钉；定位螺钉通过与所述螺孔配合抵接主框架竖杆以固定装片横杆；装片横杆两端分别设有与所述销钉松配的销孔，装片横杆通过销孔与所述销钉连接，即可实现装片横杆在主框架上的安装定位。有益效果本专利技术横杆与主框架之间的可调节结构，能够通过调节任意两根装片横杆之间的距离，实现与不同尺寸掩膜板或样品的相匹配，实现在同一装片架上不同尺寸样品的镀膜，可大大节省定制片架的时间。附图说明图1所示为本专利技术立式装片架的结构示意图，图中：1-配重块，1-1为配重块固定螺钉，2-主框架，3-导向座，4-定位杆，4-1/4-2--螺帽，5-装片横杆，6-套环，6-1-套环定位螺钉。具体实施方式以下结合附图和具体实施例进一步描述。参考图1所示，本专利技术适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，包括主框架2和至少两组横杆组件；主框架2包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆5，装片横杆5两端分别可拆卸连接主框架2的两根横杆；装片横杆5上沿其长度方向至少设有一装片卡槽（未示出）。在应用时，相邻装片横杆的卡槽之间可形成装片卡位，掩膜板或样品的一个对端分别卡入两相邻装片横杆的卡槽之间，即实现装片。装片横杆可拆卸连接主框架横杆，使得装片横杆的高度位置可调，从而可适应不同高度尺寸的掩膜板或样品的装夹镀膜。实施例1图1所示的实施例中，立式装片架还包括定位杆4、配重块1以及导向座3。主框架2的横杆和竖杆可采用方管焊接固定，装片横杆5采用具有一定宽度的板件，以方便在其表面设置卡槽。定位杆4平行于主框架2竖杆，且两端连接主框架2横杆，中部贯穿各装片横杆5。定位杆可对主框架结构以及各装片横杆的水平位置进行定位，使得装夹稳定可靠。定位杆4固定安装于主框架2的垂直中心位置；各装片横杆5的长度方向中部设有与定位杆4松配的贯通孔。松配的设置可使得装片横杆5在进行高度调节时可直接升降，简化操作。定位杆4为螺纹杆，其两端螺纹连接主框架2横杆，并通过螺帽定位；各装片横杆贯通孔两侧的定位杆上分别设有定位螺帽4-1/4-2。定位螺帽能够对装片横杆起到进一步定位的作用，避免装片横杆两端固定不紧导致的脱落。导向座3数量为1个，导向座3上设有开口背离主框架的U型槽，使得主框架的横杆能够通过U型槽在相配合的导轨中滑动，从而可带动装片架移动，实现装片架的位移导向，同时支持通过设置多个装片架，实现流水线式的掩膜板或样品批量镀膜。配重块1可拆卸设置于主框架2底部，通过螺钉1-1固定于主框架2两竖杆下端部。在顶部导向座的限位导向作用下，底部配重块可随其它动力驱动装置如皮带等实现移位，配重块的设置可使得主框架整体不易歪斜。导向座的功能也可直接通过主框架的横杆来实现，即：主框架的其中一个横杆的两端分别固连两竖杆顶端，该横杆背离主框架的一侧顶部设置U型槽。装片横杆5的上表面和下表面分别设置一卡槽，可为方形槽。横杆组件还包括套环6和定位螺钉6-1，套环6套设于主框架横杆外周，套环周部设有螺孔和销钉；定位螺钉通过与所述螺孔配合抵接主框架竖杆以固定装片横杆；装片横杆两端分别设有与所述销钉松配的销孔，装片横杆通过销孔与所述销钉连接，即可实现装片横杆在主框架上的安装定位。实施例2与实施例1不同的是，本实施例不设置配重块，导向座数量为两个，分别固定于主框架的顶部和底部横杆外侧，并设置开口背离主框架的U型槽。这种实施方式下，主框架的底部横杆两端固连两竖杆的低端。导向座可配合镀膜设备进行安装，以适应镀膜位置为准。本实施例也可仅在装片横杆的一面上设置一个卡槽，但这种实施方式不适合批量的镀膜处理。以上显示和描述了本专利技术的基本原理和主要特征和本专利技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，包括主框架和至少两组横杆组件；/n主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；/n各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，包括主框架和至少两组横杆组件；
主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；
各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。


2.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，还包括定位杆，定位杆平行于主框架竖杆，且两端连接主框架横杆，中部贯穿各装片横杆。


3.根据权利要求2所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，定位杆固定安装于主框架的垂直中心位置；各装片横杆的长度方向中部设有与定位杆松配的贯通孔。


4.根据权利要求2或3所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，定位杆为螺纹杆，其两端螺纹连接主框架横杆，并通过螺帽定位；各装片横杆贯通孔两侧的定位杆上分别设有定位螺帽。


5.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，主框架的其中一个横杆的两端分别固连两竖杆顶端，该横杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴疆，冯斌，李东滨，金浩，王德苗，
申请(专利权)人：苏州求是真空电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32