The invention discloses an anti-pollution sheet-type combination baffle, which comprises N sheet-type splices. The sheet-type splices include a flat plate, two sides of the flat plate in the first direction are provided with a first lap structure, two sides of the flat plate in the second direction are respectively provided with a second lap structure and a third lap structure, and M sheet-type splices are arranged along the horizontal direction, and the former one is provided with a second lap structure. The second overlap structure is connected with the third overlap structure of the latter piece of splicing piece; each piece of splicing piece set in the horizontal direction is provided with splicing components on both sides of the first direction. The splicing components include L pieces of splicing pieces set in the vertical direction, and the first overlap structure at the end of the upper piece of splicing piece is connected with the first overlap structure at the end of the next piece of splicing piece. The invention can realize that uniform baffles are used for different size of coating chambers, reduce the preparation cost, and prevent the excessive deformation of the whole baffle during coating to cause the equipment to fail to work properly.
【技术实现步骤摘要】
一种防污染片式组合挡板
本专利技术具体涉及一种防污染片式组合挡板,其能够适用于磁控溅射设备的腔体内实现防污染。
技术介绍
立式磁控溅射镀膜设备无论是使用平面靶还是柱形靶,由于均存在一定的发散角,会有一定比例的溅射靶材料沉积到设备的腔体上,如若不对腔体的内表面进行污染防护,沉积的材料会影响磁控溅射镀膜设备的性能。现有技术中常见的防污染挡板根据设备腔体的形状做成几大片挡板并固定在设备的腔体上以实现设备防护,但是由于溅射的粒子轰击会导致挡板变形,可能会碰到靶材或产品,很容易引起设备故障,另外大片挡板除去沉积的材料也不是很方便。
技术实现思路
针对上述问题,本专利技术提出一种防污染片式组合挡板,不仅能够实现不同尺寸的镀膜腔体采用统一的挡板组件,从而降低制备成本,同时由于其拼接属性,可以防止整片式挡板在镀膜时的过量形变导致设备无法正常工作。实现上述技术目的,达到上述技术效果,本专利技术通过以下技术方案实现:一种防污染片式组合挡板,包括N个片式拼接件,各片式拼接件均包括平板,所述平板上位于第一方向上的两个侧部均设有第一搭接结构;所述平板上位于第二方向上的两个侧部分别设有第二搭接结构和第三搭接结构,所述第二方向与第一方向为垂直关系其中,M个片式拼接件沿水平方向顺次设置,前一个片式拼接件的第二搭接结构与后一个片式拼接件的第三搭接结构相配合,实现连接;各沿水平方向设置的片式拼接件上位于第一方向的两侧分别设有拼接组件,所述拼接组件包括L个沿竖直方向上顺次设置的片式拼接件,上一个片式拼接件端部的第一搭接结构与下一个片式拼接件端部的第一搭接结构相配合,实现连接;所述L、M和N满足下列 ...
【技术保护点】
1.一种防污染片式组合挡板,其特征在于,包括N个片式拼接件,各片式拼接件均包括平板,所述平板上位于第一方向的两个侧部均设有第一搭接结构;所述平板上位于第二方向上的两个侧部分别设有第二搭接结构和第三搭接结构,所述第二方向与第一方向为垂直关系;其中,M个片式拼接件沿水平方向顺次设置,前一个片式拼接件的第二搭接结构与后一个片式拼接件的第三搭接结构相配合,实现连接;各沿水平方向设置的片式拼接件上位于第一方向的两侧分别设有拼接组件,所述拼接组件包括L个沿竖直方向上顺次设置的片式拼接件,上一个片式拼接件端部的第一搭接结构与下一个片式拼接件端部的第一搭接结构相配合,实现连接;所述L、M和N满足下列公式:(2L+1)*M=N。
【技术特征摘要】
1.一种防污染片式组合挡板,其特征在于,包括N个片式拼接件,各片式拼接件均包括平板,所述平板上位于第一方向的两个侧部均设有第一搭接结构;所述平板上位于第二方向上的两个侧部分别设有第二搭接结构和第三搭接结构,所述第二方向与第一方向为垂直关系;其中,M个片式拼接件沿水平方向顺次设置,前一个片式拼接件的第二搭接结构与后一个片式拼接件的第三搭接结构相配合,实现连接;各沿水平方向设置的片式拼接件上位于第一方向的两侧分别设有拼接组件,所述拼接组件包括L个沿竖直方向上顺次设置的片式拼接件,上一个片式拼接件端部的第一搭接结构与下一个片式拼接件端部的第一搭接结构相配合,实现连接;所述L、M和N满足下列公式:(2L+1)*M=N。2.根据权利要求1所述的一种防污染片式组合挡板,其特征在于:所述平板两端处的第一搭接结构朝向相对,且所述第一搭接结构为L型,包括第一段和第二段;所述第一段垂直于所述平板设置,其一端与所述平板相连,另一端与所述第二段的一端相连;所述第二段平行于平板设置,第二段上远离第一段的一端处于自由状态。3.根据权利要求2所述的一种防污染片式组合挡板,其特征在于:所述第二搭接结构位于所述平板之外,其包括顺次相连的第三段、第四段和第五段;所述第三段垂直于所述平板设置,其一端与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯斌,王德苗,金浩,顾为民,顾骏,
申请(专利权)人:苏州求是真空电子有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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