一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架制造技术

本实用新型专利技术公开一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其包括主框架和至少两组横杆组件；主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。相邻装片横杆的卡槽之间可形成装片卡位，掩膜板或样品的一个对端分别卡入两相邻装片横杆的卡槽之间，即实现装片。装片横杆可拆卸连接主框架横杆，使得装片横杆的高度位置可调，从而可适应不同高度尺寸的掩膜板或样品的装夹镀膜膜，提高镀膜效率。提高镀膜效率。提高镀膜效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架


[0001]本技术涉及溅射镀膜设备配件
，特别是一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架。

技术介绍

[0002]现有大型镀膜设备的装片架一般采用固定杆形式，无法适应不同尺寸的掩膜板或样品，使得镀膜工序较为繁琐，镀膜工作效率难以提升，产品镀膜后的效果也不尽人意。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其装片空间可调，能够适应不同尺寸掩膜板或样品的镀膜，提高镀膜效率。
[0004]本技术采取的技术方案为：一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，包括主框架和至少两组横杆组件；
[0005]主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；
[0006]各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。
[0007]本技术中，相邻装片横杆的卡槽之间可形成装片卡位，掩膜板或样品的一个对端分别卡入两相邻装片横杆的卡槽之间，即实现装片。装片横杆可拆卸连接主框架横杆，使得装片横杆的高度位置可调，从而可适应不同高度尺寸的掩膜板或样品的装夹镀膜。
[0008]进一步的，本技术的立式装片架还包括定位杆，定位杆平行于主框架竖杆，且两端连接主框架横杆，中部贯穿各装片横杆。定位杆可对主框架结构以及各装片横杆的水平位置进行定位，使得装夹稳定可靠。
[0009]可选的，定位杆固定安装于主框架的垂直中心位置；各装片横杆的长度方向中部设有与定位杆松配的贯通孔。松配的设置可使得装片横杆在进行高度调节时可直接升降，简化操作。
[0010]可选的，定位杆为螺纹杆，其两端螺纹连接主框架横杆，并通过螺帽定位；各装片横杆贯通孔两侧的定位杆上分别设有定位螺帽。定位螺帽能够对装片横杆起到进一步定位的作用，避免装片横杆两端固定不紧导致的脱落。
[0011]可选的，本技术的立式装片架中，主框架的其中一个横杆的两端分别固连两竖杆顶端，该横杆背离主框架的一侧顶部设有U型槽。在主框架顶部设置U型槽可实现历史装片架的位移导向。
[0012]进一步的，本技术的立式装片架还包括固连主框架的导向座，导向座上设有开口背离主框架的U型槽，使得主框架的横杆能够通过U型槽在相配合的导轨中滑动，从而可带动装片架移动，实现装片架的位移导向。
[0013]可选的，所述导向座数量为两个，主框架的两横杆的两端分别固连两竖杆的顶端
和底端，两导向座分别固定于主框架的两横杆上。导向座可配合镀膜设备与相适配的导轨进行安装，以适应镀膜位置为准。
[0014]可选的，所述导向座数量为1个，与主框架顶部横杆相适配；主框架底部还设有配重块，配重块可拆卸固定于主框架上。在顶部导向座的限位导向作用下，底部配重块可随其它动力驱动装置如皮带等实现移位，配重块的设置可使得主框架整体不易歪斜。配重块可通过螺钉固定于主框架下端，如两竖杆下端部。
[0015]可选的，装片横杆的上表面和下表面分别设置一卡槽。也可仅在其一面上设置一卡槽。
[0016]可选的，横杆组件还包括套环和定位螺钉，套环套设于主框架横杆外周，套环周部设有螺孔和销钉；定位螺钉通过与所述螺孔配合抵接主框架竖杆以固定装片横杆；装片横杆两端分别设有与所述销钉松配的销孔，装片横杆通过销孔与所述销钉连接，即可实现装片横杆在主框架上的安装定位。
[0017]有益效果
[0018]本技术横杆与主框架之间的可调节结构，能够通过调节任意两根装片横杆之间的距离，实现与不同尺寸掩膜板或样品的相匹配，实现在同一装片架上不同尺寸样品的镀膜，可大大节省定制片架的时间。
附图说明
[0019]图1所示为本技术立式装片架的结构示意图，图中：1-配重块，1-1为配重块固定螺钉，2-主框架，3-导向座，4-定位杆，4-1/4-2
--
螺帽，5-装片横杆，6-套环，6-1-套环定位螺钉。
具体实施方式
[0020]以下结合附图和具体实施例进一步描述。
[0021]参考图1所示，本技术适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，包括主框架2和至少两组横杆组件；
[0022]主框架2包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；
[0023]各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆5，装片横杆5两端分别可拆卸连接主框架2的两根横杆；装片横杆5上沿其长度方向至少设有一装片卡槽（未示出）。
[0024]在应用时，相邻装片横杆的卡槽之间可形成装片卡位，掩膜板或样品的一个对端分别卡入两相邻装片横杆的卡槽之间，即实现装片。装片横杆可拆卸连接主框架横杆，使得装片横杆的高度位置可调，从而可适应不同高度尺寸的掩膜板或样品的装夹镀膜。
[0025]实施例1
[0026]图1所示的实施例中，立式装片架还包括定位杆4、配重块1以及导向座3。
[0027]主框架2的横杆和竖杆可采用方管焊接固定，装片横杆5采用具有一定宽度的板件，以方便在其表面设置卡槽。
[0028]定位杆4平行于主框架2竖杆，且两端连接主框架2横杆，中部贯穿各装片横杆5。定位杆可对主框架结构以及各装片横杆的水平位置进行定位，使得装夹稳定可靠。
[0029]定位杆4固定安装于主框架2的垂直中心位置；各装片横杆5的长度方向中部设有与定位杆4松配的贯通孔。松配的设置可使得装片横杆5在进行高度调节时可直接升降，简化操作。
[0030]定位杆4为螺纹杆，其两端螺纹连接主框架2横杆，并通过螺帽定位；各装片横杆贯通孔两侧的定位杆上分别设有定位螺帽4-1/4-2。定位螺帽能够对装片横杆起到进一步定位的作用，避免装片横杆两端固定不紧导致的脱落。
[0031]导向座3数量为1个，导向座3上设有开口背离主框架的U型槽，使得主框架的横杆能够通过U型槽在相配合的导轨中滑动，从而可带动装片架移动，实现装片架的位移导向，同时支持通过设置多个装片架，实现流水线式的掩膜板或样品批量镀膜。
[0032]配重块1可拆卸设置于主框架2底部，通过螺钉1-1固定于主框架2两竖杆下端部。在顶部导向座的限位导向作用下，底部配重块可随其它动力驱动装置如皮带等实现移位，配重块的设置可使得主框架整体不易歪斜。
[0033]导向座的功能也可直接通过主框架的横杆来实现，即：主框架的其中一个横杆的两端分别固连两竖杆顶端，该横杆背离主框架的一侧顶部设置U型槽。
[0034]装片横杆5的上表面和下表面分别设置一卡槽，可为方形槽。
[0035]横杆组件还包括套环6和定位螺钉6-1，套环6套设于主框架横杆外周，套环周部设有螺孔和销钉；定位螺钉通过与所述螺孔配合抵接主框架竖杆以固定装片横杆；装片横杆两端分别设有与所述销钉松配的销孔，装片横杆通过销孔与所述销钉连接，即可实现装片横杆在主框架上的安装定位。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，包括主框架和至少两组横杆组件；主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。2.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，还包括定位杆，定位杆平行于主框架竖杆，且两端连接主框架横杆，中部贯穿各装片横杆。3.根据权利要求2所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，定位杆固定安装于主框架的垂直中心位置；各装片横杆的长度方向中部设有与定位杆松配的贯通孔。4.根据权利要求2或3所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，定位杆为螺纹杆，其两端螺纹连接主框架横杆，并通过螺帽定位；各装片横杆贯通孔两侧的定位杆上分别设有定位螺帽。5.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，主框架的其中一个横杆的两端分别固连两竖杆顶端，该横杆背离...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴疆，冯斌，李东滨，金浩，王德苗，
申请(专利权)人：苏州求是真空电子有限公司，
类型：新型
国别省市：