一种真空镀膜用防护支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜用防护支架，包括桶体，桶体下端设置有支架，桶体上端设置有桶盖，桶盖右端设置有铰链，桶体前侧设置有桶门，桶体内壁上端设置有上卡板，桶体内壁下端设置有下卡板，上卡板内部设置有卡槽，卡槽内部设置有防护板，防护板内部设置有基板，基板内侧设置有内层，内层远离基板的一侧设置有过渡层，过渡层内侧设置有防护层。本实用新型专利技术的一种真空镀膜用防护支架，通过桶体内部上卡板与下卡板固定防护板式防护板安装与拆卸更便捷，且防护板内层、过渡层与防护层粗糙度逐层递增使防护板对溅射物质吸附能力更强，利于收集，避免对真空室造成污染。避免对真空室造成污染。避免对真空室造成污染。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用防护支架


[0001]本技术涉及镀膜设备
，特别涉及一种真空镀膜用防护支架。

技术介绍

[0002]在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。在磁控溅射镀膜过程中，溅射靶的物质会沉积到基片材料上，但也有一部分物质会沉积到真空腔室内壁，为了防止物质沉积到腔室内壁，通常在真空腔室内安装防护设备，防止造成室内污染难以清理。
[0003]目前的真空镀膜用防护设备，通常在真空腔室内壁安装防护板，但是在真空内壁安装防护板操作麻烦，且不方便拆卸清洗；另外防护板通过在基板上设置两个涂层形成，不能承载较多的溅射物质，导致溅射到防护板上物质容易脱落，对真空腔室造成污染；因此，探索出一种安装方便，能有效防护溅射物质的真空镀膜用防护支架就显得尤为重要。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种真空镀膜用防护支架，可以有效改善
技术介绍
中阐述的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种真空镀膜用防护支架，包括桶体，所述桶体下端设置有支架，所述桶体上端设置有桶盖，所述桶盖右端设置有铰链，所述桶体前侧设置有桶门，所述桶体内壁上端设置有上卡板，所述桶体内壁下端设置有下卡板，所述上卡板内部设置有卡槽，所述卡槽内部设置有防护板，所述防护板内部设置有基板，所述基板内侧设置有内层，所述内层远离基板的一侧设置有过渡层，所述过渡层内侧设置有防护层。
[0007]优选的，所述支架宽度尺寸与桶体外径尺寸相匹配，所述桶体下端与支架固定连接，所述支架数量为三组，呈圆周等距排布。
[0008]优选的，所述桶盖外径尺寸与桶体内径尺寸相同，所述桶盖与铰链固定连接，所述桶体与铰链固定连接，所述桶盖通过铰链与桶体转动连接。
[0009]优选的，所述上卡板外径尺寸与桶体内径尺寸相同，所述下卡板外径尺寸与桶体内径尺寸相同，所述上卡板与下卡板均形状为圆柱体，所述上卡板与下卡板均与桶体固定连接。
[0010]优选的，所述上卡板与下卡板内部均设有卡槽，所述卡槽宽度尺寸与防护板宽度尺寸相匹配，所述防护板通过卡槽与上卡板滑动连接，所述防护板通过卡槽与下卡板滑动连接，所述防护板可拆卸地安装在桶体的内壁。
[0011]优选的，所述防护板为圆弧形，所述防护板数量为若干组，呈圆周衔接排布，所述防护板通过衔接在桶体内部形成防护壁。
[0012]优选的，所述基板安装与靠近筒体的一侧，所述防护层安装于桶体内腔一侧，所述
基板依次叠层设置在防护板上的内层、过渡层和防护层，所述内层、过渡层和防护层的表面粗糙度依次增大。
[0013]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：该真空镀膜用防护支架，通过在桶体内部设置上卡板与下卡板，当安装防护板时，只需从桶门处将防护板从卡槽内划入，使防护板上下两端处于卡槽内，依次排列即可，当防护板内壁由于溅射物过多时同理取下清洗即可，这样使防护板安装清洗方便，实用性更大；另外在基板上依次叠层设置内层、过渡层和防护层，并且粗糙度逐渐增大，通过过渡层可以对内层与防护层之间粗糙度的变化起到过渡作用，使得溅射到防护层上的溅射物质不容易脱落，从而，防护板能收集更多的溅射物质，避免真空腔室被溅射物质污染。
附图说明
[0014]图1为本技术一种真空镀膜用防护支架的结构示意图；
[0015]图2为本技术一种真空镀膜用防护支架的桶体内部结构示意图；
[0016]图3为本技术一种真空镀膜用防护支架的卡槽与防护板连接示意图；
[0017]图4为本技术一种真空镀膜用防护支架的防护板结构示意图。
[0018]图中：1、桶体；2、支架；3、桶盖；4、铰链；5、桶门；6、上卡板；7、下卡板；8、卡槽；9、防护板；10、基板；11、内层；12、过渡层；13、防护层。
具体实施方式
[0019]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面对本技术的技术方案进行进一步详细的阐述。
[0020]如图1-4所示，本实施例中一种真空镀膜用防护支架，包括桶体1，桶体1下端设置有支架2，桶体1上端设置有桶盖3，桶盖3右端设置有铰链4，桶体1前侧设置有桶门5，桶体1内壁上端设置有上卡板6，桶体1内壁下端设置有下卡板7，上卡板6内部设置有卡槽8，卡槽8内部设置有防护板9，防护板9内部设置有基板10，基板10内侧设置有内层11，内层11远离基板10的一侧设置有过渡层12，过渡层12内侧设置有防护层13。
[0021]本实施例中，支架2宽度尺寸与桶体1外径尺寸相匹配，支架2用于支撑桶体1，桶体1下端与支架2固定连接，支架2数量为三组，呈圆周等距排布，使桶体1放置稳定；桶盖3外径尺寸与桶体1内径尺寸相同，桶盖3用于防止溅射物从桶体1上端溅出，桶盖3与铰链4固定连接，桶体1与铰链4固定连接，桶盖3通过铰链4与桶体1转动连接，铰链4用于方便桶盖3放置；上卡板6外径尺寸与桶体1内径尺寸相同，下卡板7外径尺寸与桶体1内径尺寸相同，用于固定防护板9在桶体1内的位置，上卡板6与下卡板7均形状为圆柱体，上卡板6与下卡板7均与桶体1固定连接；上卡板6与下卡板7内部均设有卡槽8，用于防护板9滑动，卡槽8宽度尺寸与防护板9宽度尺寸相匹配，防护板9通过卡槽8与上卡板6滑动连接，防护板9通过卡槽8与下卡板7滑动连接，防护板9可拆卸地安装在桶体1的内壁，用于溅射防护；防护板9为圆弧形，防护板9数量为若干组，呈圆周衔接排布，防护板9通过衔接在桶体1内部形成防护壁，用于溅射防护保护桶壁；基板10安装与靠近桶体1的一侧，防护层13安装于桶体1内腔一侧，基板10依次叠层设置在防护板9上的内层11、过渡层12和防护层13，内层11、过渡层12和防护层13的表面粗糙度依次增大，方便各层之间的连接。
[0022]需要说明的是，本技术为一种真空镀膜用防护支架，在使用时，使用者将桶体1放置于磁控溅射镀膜装置外，然后将防护板9从桶门5处从卡槽8内滑入，使防护板9上下两端处于卡槽8内依次排列，然后关闭桶门5与桶盖3，进行镀膜；当防护板9内壁由于溅射物过多时，将防护板9沿卡槽8取下清洗即可，这样使防护板9安装清洗方便，实用性更大；另外内层11、过渡层12和防护层13的粗糙度逐渐增大，通过过渡层12对内层11与防护层13之间粗糙度的变化起到过渡作用，使溅射到防护层13上的溅射物质不容易脱落，若时间过长溅射物质掉落，会落入桶体1底部，也更易于清洗，避免真空腔室被溅射物质污染。
[0023]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用防护支架，其特征在于：包括桶体(1)，所述桶体(1)下端设置有支架(2)，所述桶体(1)上端设置有桶盖(3)，所述桶盖(3)右端设置有铰链(4)，所述桶体(1)前侧设置有桶门(5)，所述桶体(1)内壁上端设置有上卡板(6)，所述桶体(1)内壁下端设置有下卡板(7)，所述上卡板(6)内部设置有卡槽(8)，所述卡槽(8)内部设置有防护板(9)，所述防护板(9)内部设置有基板(10)，所述基板(10)内侧设置有内层(11)，所述内层(11)远离基板(10)的一侧设置有过渡层(12)，所述过渡层(12)内侧设置有防护层(13)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用防护支架，其特征在于：所述支架(2)宽度尺寸与桶体(1)外径尺寸相匹配，所述桶体(1)下端与支架(2)固定连接，所述支架(2)数量为三组，呈圆周等距排布。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用防护支架，其特征在于：所述桶盖(3)外径尺寸与桶体(1)内径尺寸相同，所述桶盖(3)与铰链(4)固定连接，所述桶体(1)与铰链(4)固定连接，所述桶盖(3)通过铰链(4)与桶体(1)转动连接。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用防护支架，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱爱军，朱一兵，
申请(专利权)人：太仓伟林五金制品有限公司，
类型：新型
国别省市：