一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法技术

本发明专利技术公开一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，包括以下步骤：将氧化锌粉末和氧化铝粉末混合均匀，得混合物料，将混合物料加入尼龙罐中，并加入分散剂和水，用氨水或醋酸调pH值为8.5～10.3；将预混液经球磨制备成悬浮液浆料；将球磨好的浆料经真空除气，把除气后料浆注入石膏模具中；吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上；固化后脱脂，得AZO坯体；坯体经烧结制得AZO靶材。本发明专利技术采用注浆成型与无压烧结AZO靶材工艺，可低成本制得高密度的AZO靶材。

【技术实现步骤摘要】
一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法
本专利技术涉及氧化锌靶材制备
，特别涉及一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法。
技术介绍
近年来随着液晶显示器与太阳能电池的发展，使得透明导电薄膜成为关键性材料之一。目前常用的透明导电薄膜材料主要是ITO。近年来由于液晶显示器与太阳能电池的需求大幅增长；手机及触摸屏的需求迅速增加。如何降低透明导电薄膜的材料成本与提高薄膜材料的性能成为当前的首要目标。但由于铟资源的稀少和价格的增加，世界各国的学者都急欲寻找新一代的透明导电薄膜材料，开发具有高透光、导电特性好的“非铟”材料来替代ITO。由于AZO透明导电薄膜价格较为低廉，且不具毒性，在发展上有相当的优势。对AZO材料和制备技术的研究，引起了广泛的重视。虽然，目前AZO薄膜的特性仍与ITO薄膜有一定差距，但在触控面板与太阳能电池领域AZO最具潜力取代ITO。对于用磁控溅射法制备AZO薄膜来说，其靶材性能在很大程度上影响其制得的薄膜的性能，也就是说没有高性能靶材，就没有高性能薄膜。靶材质量高低的一个重要指标就是靶材的致密度，所以如何获得高致密度的靶材成为一个亟待解决的难题。一般把相对密度在95本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)预混液制备：将重量比为100：3～5的氧化锌粉末和氧化铝粉末混合均匀，得混合物料，将混合物料加入尼龙罐中，以混合物重量为100％计，向尼龙制罐中加入1.5～3.0％的分散剂和20～35％的水，用氨水或醋酸调pH值为8.5～10.3；(2)悬浮浆料的制备：将预混液经湿磨制备悬浮液；(3)坯体成型：将球磨好的浆料进行真空除气，把进行除气后料浆注入石膏模中；吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上，得AZO坯体；(4)脱脂：将脱模后的AZO素坯置于脱脂炉中，以0.5℃/min升温至600℃，并恒温3h；(5)烧结：将脱脂的AZO坯体放...

【技术特征摘要】
1.一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)预混液制备：将重量比为100：3～5的氧化锌粉末和氧化铝粉末混合均匀，得混合物料，将混合物料加入尼龙罐中，以混合物重量为100％计，向尼龙制罐中加入1.5～3.0％的分散剂和20～35％的水，用氨水或醋酸调pH值为8.5～10.3；(2)悬浮浆料的制备：将预混液经湿磨制备悬浮液；(3)坯体成型：将球磨好的浆料进行真空除气，把进行除气后料浆注入石膏模中；吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上，得AZO坯体；(4)脱脂：将脱模后的AZO素坯置于脱脂炉中，以0.5℃/min升温至600℃，并恒温3h；(5)烧结：将脱脂的AZO坯体放在置在高温烧结炉中进行无压烧结，以50～100℃/h升温至1300～1500℃，保温5～10h，冷却，得AZO靶材。2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张天舒，宋晓超，陈晨，钱邦正，
申请(专利权)人：安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34