一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法技术

本发明专利技术公开一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：配制表面修饰剂溶液，在表面修饰剂溶液中加入Zn(NO3)2·6H2O和Al(NO3)3·9H2O，加入尿素，搅拌混合均匀；升温，在搅拌下反应2h以上，得到白色沉淀；母液经超声波处理，继续搅拌并陈化；真空抽滤，所得产物用稀氨水洗涤两次，再用有机溶剂洗涤；洗涤后真空干燥，经研磨、过筛制得AZO前驱体；将AZO前驱体煅烧，喷雾造粒后压制成型，得素坯，将素坯进行烧结，即得高致密度掺铝氧化锌靶材。本发明专利技术可制备出高纯度、高密度、晶粒度细小的AZO靶材，且本发明专利技术制造工艺简单可控、生产成本低，易于实现规模化生产。

Preparation method of high densification aluminium doped Zinc Oxide target material

The invention discloses a high density aluminum doped Zinc Oxide target preparation method comprises the following steps: preparing surfactant solution in surface modification agent solution adding Zn (NO3) 2 - 6H2O and Al (NO3) 3 - 9H2O, adding urea, stirring the mixture; heating, in the above reaction stirring 2H next, get a white precipitate; mother liquor by ultrasonic treatment, continue stirring and aging; vacuum filtration, the product with dilute ammonia washed two times with organic solvent washing; washing after vacuum drying, grinding and sieving prepared by AZO precursor; AZO precursor calcined, spray granulation after pressing, grain blank, the blank is sintered to obtain high density aluminum doped Zinc Oxide target. The invention can prepare AZO target material with high purity, high density and fine grain size, and the manufacturing process of the invention is simple and controllable, the production cost is low, and the large-scale production is easy to realize.

【技术实现步骤摘要】
一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法
本专利技术涉及氧化锌靶材制备
，特别涉及一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法。
技术介绍
氧化锌(ZnO)是一种半导体材料，其原材料便宜、无毒，已经在表面声学波器件、平板显示器、太阳能电池、建筑玻璃等领域得到应用。在聚合物应用中，可以将纳米氧化锌表面改性后作为添加剂加入，从而使聚合物具有抗紫外、杀菌等功能.将其掺杂Al元素后，可以提高ZnO中自由载流子浓度，使其对红外区域的光线产生较强的吸收和反射。将其制备成纳米粒子。并将其应用于聚合物中，作为ITO(氧化铟锡)和ATO(氧化锡锑)等透明隔热添加剂的替代品，可以大幅度降低生产成本，具有很大的现实意义。氧化锌(AZO)纳米粒子的制备方法主要有化学共沉淀法、微乳液法、水热法、溶胶-凝胶法等。采用微乳法制得的粉体粒径小且分布窄，但成本高、产量低，难以在工业上产业化；水热法制备粉体投资量大，大批量生产时不易控制粉体的纯度；溶胶凝胶法对原料要求极高，很难满足工业化生产需求。相比较而言，采用化学共沉淀法生产掺杂粉体，可达原子级的均匀性，同时，成本低、产量大，但该法制得粉体团聚较严重，且粒径分布较宽。专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)配制浓度为15～20g/L的表面修饰剂溶液，在表面修饰剂溶液中加入Zn(NO3)2·6H2O和Al(NO3)3·9H2O，加入过量20％以上的尿素，搅拌混合均匀；(2)逐步升温至90～100℃，在搅拌下反应2h以上，得到白色沉淀；(3)母液经超声波处理1小时后，继续搅拌并陈化1～24小时；(4)真空抽滤，所得产物用0.1mol/L稀氨水洗涤两次，再用有机溶剂洗涤；(5)洗涤后真空干燥，经研磨、过筛制得AZO前驱体；(6)将AZO前驱体3～5℃/min升温至100～200℃，保温30～50min，再以3℃/min升温至600～8...

【技术特征摘要】
1.一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)配制浓度为15～20g/L的表面修饰剂溶液，在表面修饰剂溶液中加入Zn(NO3)2·6H2O和Al(NO3)3·9H2O，加入过量20％以上的尿素，搅拌混合均匀；(2)逐步升温至90～100℃，在搅拌下反应2h以上，得到白色沉淀；(3)母液经超声波处理1小时后，继续搅拌并陈化1～24小时；(4)真空抽滤，所得产物用0.1mol/L稀氨水洗涤两次，再用有机溶剂洗涤；(5)洗涤后真空干燥，经研磨、过筛制得AZO前驱体；(6)将AZO前驱体3～5℃/min升温至100～200℃，保温30～50min，再以3℃/min升温至600～800℃，保温3～5小时，喷雾造粒后压制成型，得到素坯；(7)将素坯进行烧结，所述烧结条件为：以2℃/min升温至1200～1400℃并保温1～5小时，最后随炉冷却至室温，即得高致密度掺铝氧化锌靶材。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张天舒，宋晓超，陈晨，钱邦正，
申请(专利权)人：安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34