下载一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法的技术资料

文档序号:15929296

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本发明公开一种高致密化掺铝氧化锌靶材的制备方法,包括以下步骤:配制表面修饰剂溶液,在表面修饰剂溶液中加入Zn(NO3)2·6H2O和Al(NO3)3·9H2O,加入尿素,搅拌混合均匀;升温,在搅拌下反应2h以上,得到白色沉淀;母液经超声波处...
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