一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法技术
A method for preparing nanoparticle patterns on a variety of substrate surfaces
A method for preparing a variety of substrate surface preparation of nano grain pattern, which comprises the following steps: (1) nano imprint template prepared with specific nano pattern; (2) uniform nano imprint glue is coated with a layer containing nano particles on the substrate; (3) and the corresponding nano imprint template pattern (4); the residual layer is etched nanoimprint lithography, nanoimprint lithography pattern are independent; (5) to remove the part of stamping adhesive particles, pattern. The method of the invention can be used in any variety of nano pattern nanoparticles preparation, preparation of high resolution, and the preparation method has the advantages of simple process, high efficiency, low cost and large area preparation of nanoparticle patterns on a variety of substrates, can well meet the actual needs.
【技术实现步骤摘要】
一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法
本专利技术属于纳米颗粒图案化
，具体涉及一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法。
技术介绍
纳米颗粒作为构筑精细结构和器件的基本材料单元，在光电器件等领域具有巨大的应用前景。因而纳米颗粒的精确组装与图案化组装成为纳米科技研究领域的一个热点。目前，常见的衬底表面纳米颗粒图案化方法主要有喷墨打印技术，化学自组装技术，表面化学图案诱导组装等。这些方法都存在一定的不足：喷墨打印技术几乎可以在任意衬底上制备任意的纳米颗粒图案，但由于包含纳米颗粒的墨水与不同衬底表面的浸润性难以控制，会使纳米颗粒图案变形，从而影响纳米颗粒组装精度和分辨率；化学自组装技术方法简单，但组装过程受到热力学控制，只能制备少数几种简单的密集排列的纳米颗粒阵列图案。表面化学图案诱导组装技术则需要预先在衬底上用光刻等手段定义出表面化学图案，利用图案区域对特定纳米颗粒的定向锚定作用制备纳米颗粒图案，所以这种方法比较繁琐，对样品表面清洁度要求很高，且适用的纳米颗粒种类有限，纳米颗粒图案分辨率也不高。
技术实现思路
鉴于以上情况，本专利技术的目的在于提供一种用于多...
【技术保护点】
一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法，其特征是包括如下步骤：步骤1)准备带有特定纳米图案的纳米压印模板；步骤2)在衬底上均匀涂覆一层含有纳米颗粒的纳米压印胶；步骤3)压印出与纳米压印模板对应的纳米图案；步骤4)刻蚀掉压印胶残余层，得到独立的压印胶图案；步骤5)部分去掉压印胶，得到纳米颗粒的图案。
【技术特征摘要】
1.一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法，其特征是包括如下步骤：步骤1)准备带有特定纳米图案的纳米压印模板；步骤2)在衬底上均匀涂覆一层含有纳米颗粒的纳米压印胶；步骤3)压印出与纳米压印模板对应的纳米图案；步骤4)刻蚀掉压印胶残余层，得到独立的压印胶图案；步骤5)部分去掉压印胶，得到纳米颗粒的图案。2.根据权利要求1所述的一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法，其特征在于：所述的纳米压印模板为硅模板、金属模板、氧化硅模板、氮化硅模板、石英模板、硬质聚合物模板或柔性聚合物模板。3.根据权利要求1所述的一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法，其特征在于：所述的纳米压印胶为包含纳米颗粒的可紫外固化的液态预聚体或热塑性聚合物。4.根据权利要求1所述的一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法，其特征在于：所述的衬底...
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