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一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法技术
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文档序号:15878268
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一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法,包括如下步骤:(1)准备带有特定纳米图案的纳米压印模板;(2)在衬底上均匀涂覆一层含有纳米颗粒的纳米压印胶;(3)压印出与模板对应的纳米图案;(4)刻蚀掉压印胶残余层,得到独立的压印胶图案;(5)...
该专利属于边捷所有,仅供学习研究参考,未经过边捷授权不得商用。
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