蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括蒸发部、传输管道以及蒸镀部；传输管道包括第一管道、第二管道以及第三管道，第一管道的一端与蒸发部的蒸发腔连通；第二管道的一端与蒸镀部的蒸镀腔连通，第三管道用于将第一管道的另一端以及第二管道的另一端连通；第三管道上设置有蒸汽压控制组件，该蒸汽压控制组件用于在由蒸镀切换为闲置时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，由闲置切换为蒸镀时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压升高。该方案在传输管道上设置蒸汽压控制组件，在由蒸镀切换为闲置时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，以减缓蒸发材料的蒸发速率，使得在闲置时蒸发材料的蒸发量减少，从而降低蒸发材料的损耗，提升材料利用率。

Evaporation device

The present invention provides a vapor deposition device. The evaporation device comprises evaporation part, transmission pipeline and evaporation; the transmission pipeline includes a first conduit, second pipe and third pipe, one end of the first pipe evaporation chamber and the evaporation part connected; one end of the second pipeline and evaporation of the evaporation chamber, third for pipeline will be connected to the other end of the other pipeline at the end of second and third of the pipeline; the pipeline is provided with a steam pressure control component, the steam pressure control components are used in steam evaporation by switching to idle control gas pipeline third evaporation pressure drop, the steam by the idle switch control third evaporation gas pipeline is evaporation pressure. The scheme provided in the transmission pipeline components in steam pressure control, steam evaporation by switching to idle control of gas pipeline third evaporation pressure drop, to slow evaporation rate of evaporation materials, which can reduce the evaporation of evaporation materials in the idle time, thereby reducing the evaporation loss of materials, improve the utilization rate of materials.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置
本专利技术涉及液晶面板制作领域，特别是涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
在信息社会的当代，作为可视信息传输媒介的显示器的重要性在进一步加强，为了在未来占据主导地位，显示器正朝着更轻、更薄、更低能耗、更低成本以及更好图像质量的趋势发展。OLED显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀机是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，其设备核心部分为蒸镀装置，分为点蒸发源、线蒸发源、面蒸发源等。线蒸发源为当前重要的OLED量产技术，主要分为一体式线蒸发源和输送式线蒸发源。当蒸发源处于闲置模式时，蒸发源各个部分的温度需保持与正常镀膜时相当的模式，使得蒸发气体仍然继续导向外界，导致材料损耗较大，材料利用率下降。因此，现有技术存在缺陷，急需改进。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种改进的蒸镀装置。为解决上述问题，本专利技术提供的技术方案如下：本专利技术提供一种蒸镀装置，包括：蒸发部、传输管道以及蒸镀部；蒸发部用于对蒸镀材料进行加热蒸发，以在其蒸发腔内形成蒸发气体；传输管道用于将该蒸发腔中形成的蒸发气体传输到蒸镀部的蒸镀腔；蒸镀部用于将其蒸镀腔内收容的蒸发气体蒸镀到基板上；该传输管道包括第一管道、第二管道以及第三管道；第一管道的一端与蒸发部的蒸发腔连通，第一管道上设置有第一温控组件，以用于保持第一管道内的温度恒定；第二管道的一端与蒸镀部的蒸镀腔连通，第二管道上设置有第二温控组件，用于保持第二管道内的温度恒定；第三管道用于将第一管道的另一端以及第二管道的另一端连通；第三管道上设置有蒸汽压控制组件，该蒸汽压控制组件用于在由蒸镀切换为闲置时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，由闲置切换为蒸镀时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压升高。在一些实施例中，所述蒸汽压控制组件包括控制器、制冷件以及制热件，所述控制器与所述制冷件及制热件电连接；由蒸镀切换为闲置时，控制器控制该制冷件降低第三管道内的温度，以将第三管道内蒸发气体的蒸汽压由当前的第一蒸汽压值降低至第二蒸汽压值；由闲置切换为蒸镀时，控制器控制该制热件升高第三管道内的温度，以将第三管道内的蒸发气体的蒸汽压由第二蒸汽压值升高至第一蒸汽压值。在一些实施例中，所述制热件包覆在第三管道的外壁上，所述制冷件包覆所述制热件。在一些实施例中，所述制冷件与所述制热件之间设置有保温层。在一些实施例中，所述制热件为缠绕第三管道的电热丝。在一些实施例中，所述制冷件为包括外套管及制冷剂；所述外套管套设在所述保温层外，所述外套管的内壁与所述保温层的外壁形成间隙，以容纳制冷剂。在一些实施例中，所述外套管设置有供制冷剂流入的流入口，以及供制冷剂流出的流出口。在一些实施例中，所述外套管内设置有流量阀，以用于控制所述外套管内制冷剂的流量。在一些实施例中，第一管道、第二管道以及第三管道为同轴设置，且均呈圆管状；其中，第三管道的通道小于第一管道以及第二管道的通道。在一些实施例中，所述蒸镀部具有一壁体，所述壁体上设置有与蒸镀腔连通的喷射口，以用于将蒸镀腔内的蒸发气体喷射到基板上。相较于现有的蒸镀装置，本专利技术的蒸镀装置包括蒸发部、传输管道以及蒸镀部；蒸发部用于对蒸镀材料进行加热蒸发，以在其蒸发腔内形成蒸发气体；传输管道用于将该蒸发腔中形成的蒸发气体传输到蒸镀部的蒸镀腔；蒸镀部用于将其蒸镀腔内收容的蒸发气体蒸镀到基板上；该传输管道包括第一管道、第二管道以及第三管道；第一管道的一端与蒸发部的蒸发腔连通，第一管道上设置有第一温控组件，以用于保持第一管道内的温度恒定；第二管道的一端与蒸镀部的蒸镀腔连通，第二管道上设置有第二温控组件，用于保持第二管道内的温度恒定；第三管道用于将第一管道的另一端以及第二管道的另一端连通；第三管道上设置有蒸汽压控制组件，该蒸汽压控制组件用于在由蒸镀切换为闲置时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，由闲置切换为蒸镀时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压升高。该方案在传输管道上设置蒸汽压控制组件，在由蒸镀切换为闲置时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，以减缓蒸发材料的蒸发速率，使得在闲置时蒸发材料的蒸发量减少，从而降低蒸发材料的损耗，提升材料利用率。附图说明图1为本专利技术优选实施例中蒸镀装置的第一种立体结构示意图。图2为本专利技术优选实施例中蒸镀装置的第二种立体结构示意图。图3为图2所示蒸镀装置沿线P1-P1的一种剖面图。图4为图2所示蒸镀装置的局部立体结构示意图。图5为图4所示局部立体结构沿线P2-P2的一种剖面图。图6为图4所示局部立体结构沿线P2-P2的另一种剖面图。图7为图4所示局部立体结构沿线P2-P2的又一种剖面图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的模块是以相同标号表示。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。参阅图1，图1为本专利技术优选实施例中蒸镀装置的第一种立体结构示意图。如图1所示，本优选实施例的蒸镀装置，包括蒸发部10、传输管道20以及蒸镀部30。在本专利技术实施例中，蒸发部10、传输管道20、蒸镀部30以及喷射口40依次连通。蒸发部10用于对蒸镀材料进行加热蒸发，以在其蒸发腔11内形成蒸发气体。传输管道20用于将该蒸发腔11中形成的蒸发气体传输到蒸镀部30的蒸镀腔31内。蒸镀部30用于将其蒸镀腔31内收容的蒸发气体蒸镀到基板上。在一些实施例中，该蒸发部10的蒸发腔11内可设有用于容纳蒸镀材料的坩埚，坩埚内可放置加热丝，以对蒸镀材料进行加热蒸发形成蒸发气体。一般地，该蒸发材料呈结晶态。具体地，蒸镀部30具有一壁体32，该壁体32上设置有与蒸镀腔31连通的喷射口40，以用于将蒸镀腔内31的蒸发气体喷射到基板上。如图1所示，该喷射口40可以为一个个呈圆管状的通芯管。实际应用中，该喷射口40还可以为一条沿壁体32设置的狭缝。本实施例中，该传输管道20包括依次连通的第一管道21、第三管道23、以及第二管道22。如图1到图3所示，第一管道21、第二管道22以及第三管道23可为同轴设置，且均呈圆管状。其中，第三管道23的通道小于第一管道21以及第二管道22的通道。实际应用中，第三管道23的通道可设计为热容较小的狭长区域。参考图2、图3，具体地，第一管道21的一端与蒸发部10的蒸发腔11连通，第一管道21上设置有第一温控组件60，以用于保持第一管道21内的温度恒定。第二管道22的一端与蒸镀部30的蒸镀腔3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，其特征在于，该蒸镀装置包括：蒸发部、传输管道以及蒸镀部；蒸发部用于对蒸镀材料进行加热蒸发，以在其蒸发腔内形成蒸发气体；传输管道用于将该蒸发腔中形成的蒸发气体传输到蒸镀部的蒸镀腔；蒸镀部用于将其蒸镀腔内收容的蒸发气体蒸镀到基板上；该传输管道包括第一管道、第二管道以及第三管道；第一管道的一端与蒸发部的蒸发腔连通，第一管道上设置有第一温控组件，以用于保持第一管道内的温度恒定；第二管道的一端与蒸镀部的蒸镀腔连通，第二管道上设置有第二温控组件，用于保持第二管道内的温度恒定；第三管道用于将第一管道的另一端以及第二管道的另一端连通；第三管道上设置有蒸汽压控制组件，该蒸汽压控制组件用于在由蒸镀切换为闲置时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，由闲置切换为蒸镀时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压升高。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，该蒸镀装置包括：蒸发部、传输管道以及蒸镀部；蒸发部用于对蒸镀材料进行加热蒸发，以在其蒸发腔内形成蒸发气体；传输管道用于将该蒸发腔中形成的蒸发气体传输到蒸镀部的蒸镀腔；蒸镀部用于将其蒸镀腔内收容的蒸发气体蒸镀到基板上；该传输管道包括第一管道、第二管道以及第三管道；第一管道的一端与蒸发部的蒸发腔连通，第一管道上设置有第一温控组件，以用于保持第一管道内的温度恒定；第二管道的一端与蒸镀部的蒸镀腔连通，第二管道上设置有第二温控组件，用于保持第二管道内的温度恒定；第三管道用于将第一管道的另一端以及第二管道的另一端连通；第三管道上设置有蒸汽压控制组件，该蒸汽压控制组件用于在由蒸镀切换为闲置时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，由闲置切换为蒸镀时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压升高。2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸汽压控制组件包括控制器、制冷件以及制热件，所述控制器与所述制冷件及制热件电连接；由蒸镀切换为闲置时，控制器控制该制冷件降低第三管道内的温度，以将第三管道内蒸发气体的蒸汽压由当前的第一蒸汽压值降低至第二蒸汽压值；由闲置切换为蒸镀时，控制器控制该制热件升高第三管道...

【专利技术属性】
技术研发人员：沐俊应，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42