The present invention relates to a vapor deposition assembly. The evaporation assembly includes a magnetic plate, a magnetic plate parallel to the mask, and the mask on the magnetic board; magnetic plate includes a plurality of magnetic blocks are uniformly distributed on the same plane, the plane is parallel to the magnetic block mask, each magnetic block provides the same force on the mask, so that mask to the substrate. The invention also relates to a steam deposition apparatus comprising the evaporation assembly. The evaporation component and evaporation equipment, towards the direction of the substrate, the mask is uniform throughout the push or pull, can make the mask and the substrate tightly, so that the material is only deposited on the substrate and the mask, the mask pattern corresponding to the location, and then make the substrate deposition good effect.
【技术实现步骤摘要】
蒸镀组件及蒸镀设备
本专利技术涉及显示面板制造
,特别涉及一种蒸镀组件及蒸镀设备。
技术介绍
在OLED(OrganicLightEmittingDiode,有机发光二极管)显示面板的制造过程中,通常蒸镀设备利用掩模板(Mask)板将有机电致发光材料蒸镀在基板上形成发光层。传统的蒸镀设备中,基板与掩模板的贴合处存在间隙,即基板与掩模板的贴合度不好,进而导致基板的蒸镀效果不好。
技术实现思路
基于此,有必要针对传统的蒸镀设备中,基板与掩模板的贴合度不好,导致基板的蒸镀效果不好的问题,提供一种蒸镀组件及蒸镀设备。一种蒸镀组件,用于使掩模板与待蒸镀的基板贴合,所述掩膜板采用磁性材料制备而成。所述蒸镀组件包括磁性板,所述磁性板平行于所述掩模板,且所述磁性板正对所述掩模板;所述磁性板包括均匀分布于同一平面的多个磁性块,所述磁性块所在的平面平行于所述掩模板,每个所述磁性块提供相同的作用力作用于所述掩模板上,以使得所述掩模板向所述基板贴合。上述蒸镀组件,磁性板平行于掩模板,磁性板正对掩模板,且多个磁性块均匀分布于同一平面,每个磁性块作用于掩模板上的力相同,即掩模板受到了磁性板给予的朝向基板的均匀磁力。这样,在朝向基板的方向上,掩模板各处受到了均匀的推力或拉力,可以使掩模板与基板紧密贴合,避免了因掩模板与基板的贴合处存在间隙而导致的材料通过该间隙被蒸镀在基板上的错误位置的情况,从而使得材料只被蒸镀在基板上与掩模板的掩模图案对应的位置,进而使得基板的蒸镀效果较好。在其中一个实施例中,多个所述磁性块的分布呈矩阵状。在其中一个实施例中,所述磁性块包括电磁铁,所述电磁铁包括铁芯 ...
【技术保护点】
一种蒸镀组件,用于使掩模板与待蒸镀的基板配合在一起,所述掩膜板采用磁性材料制备而成;其特征在于,所述蒸镀组件包括磁性板,所述磁性板平行于所述掩模板,且所述磁性板正对所述掩模板;所述磁性板包括均匀分布于同一平面的多个磁性块,所述磁性块所在的平面平行于所述掩模板,每个所述磁性块提供相同的作用力作用于所述掩膜板上,以使得所述掩膜板向所述基板贴合。
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀组件,用于使掩模板与待蒸镀的基板配合在一起,所述掩膜板采用磁性材料制备而成;其特征在于,所述蒸镀组件包括磁性板,所述磁性板平行于所述掩模板,且所述磁性板正对所述掩模板;所述磁性板包括均匀分布于同一平面的多个磁性块,所述磁性块所在的平面平行于所述掩模板,每个所述磁性块提供相同的作用力作用于所述掩膜板上,以使得所述掩膜板向所述基板贴合。2.根据权利要求1所述的蒸镀组件,其特征在于,多个所述磁性块的分布呈矩阵状。3.根据权利要求1所述的蒸镀组件,其特征在于,所述磁性块包括电磁铁,所述电磁铁包括铁芯,所述铁芯的形状为条形、圆柱形。4.根据权利要求3所述的蒸镀组件,其特征在于,所述铁芯垂直于所述磁性板所在的平面;所述电磁铁还包括线圈绕组,所述线圈绕组缠绕于所述铁芯上,所有所述磁性块的线圈绕组的缠绕方向相同。5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:焦浩,陈祥麟,
申请(专利权)人:昆山国显光电有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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