一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法，涉及真空蒸发镀膜领域，能够解决现有的蒸镀坩埚无法有效控制排气阀的开启时间，从而影响蒸镀过程的问题。包括：坩埚本体，在坩埚本体上设置有至少一个蒸镀出口。磁性盖片，盖设在蒸镀出口位置处，以使得坩埚本体内部的蒸镀材料与外界空气隔绝。电磁组件，包括电磁线圈，设置在坩埚本体内，电磁线圈在通入电流的状态下能够形成磁场，磁场的作用力可将磁性盖片推离蒸镀出口。

Evaporation crucible, evaporation source, evaporation device and evaporation method

The embodiment of the invention provides an evaporation crucible, evaporation source, device and method for deposition, relates to the vacuum evaporation field, can solve the existing open time evaporation crucible is unable to effectively control the exhaust valve, thus affecting the evaporation process of the problem. The utility model comprises a crucible body, and at least one evaporation outlet is arranged on the crucible body. The magnetic cover sheet is arranged at the position of the evaporation outlet so that the evaporation material inside the crucible body is isolated from the outside air. The electromagnetic component comprises an electromagnetic coil and is arranged in the crucible body, and the electromagnetic coil can form a magnetic field when the current is passed in, and the force of the magnetic field pushes the magnetic cover sheet away from the evaporation outlet.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法
本专利技术涉及真空蒸发镀膜领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法。
技术介绍
真空蒸发镀膜是指在真空环境中，将待成膜物质加热蒸发或升华后，使其在低温工件或基片表面凝结或沉积，以形成镀层的工艺。待成膜物质在蒸镀坩埚内部加热蒸发或升华后，上升并通过蒸镀坩埚上方的蒸镀出口发出，待蒸镀基板静止固定于蒸镀出口位置处或匀速通过蒸镀出口，蒸发出的待成膜物质离开蒸镀坩埚的加热后逐渐降温，蒸发运动的速度也逐渐降低，最终在待蒸镀基板的表面沉积形成膜层。对于有机显示器件，例如有机电致发光显示器件(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)，其发光层的主要制作工艺即是真空蒸发镀膜。在蒸镀工艺过程中，经常需要使用一些活性金属作为蒸镀材料，活性金属极容易在大气环境中与空气发生氧化反应，活性金属受到氧化后再蒸发并沉积在待蒸镀基板的表面，就会对OLED器件的功能实现造成不良影响，甚至导致OLED器件的失效。授权公告号为CN103695847B的专利技术专利中提出一种坩埚及其蒸镀方法，在坩埚塞顶部设置排气孔以及与该排气孔相匹配的排气阀，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，在所述坩埚本体上设置有至少一个蒸镀出口；磁性盖片，盖设在所述蒸镀出口位置处，以使得所述坩埚本体内部的蒸镀材料与外界空气隔绝；电磁组件，包括电磁线圈，设置在所述坩埚本体内，所述电磁线圈在通入电流的状态下能够形成磁场，所述磁场的作用力可将所述磁性盖片推离所述蒸镀出口。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，在所述坩埚本体上设置有至少一个蒸镀出口；磁性盖片，盖设在所述蒸镀出口位置处，以使得所述坩埚本体内部的蒸镀材料与外界空气隔绝；电磁组件，包括电磁线圈，设置在所述坩埚本体内，所述电磁线圈在通入电流的状态下能够形成磁场，所述磁场的作用力可将所述磁性盖片推离所述蒸镀出口。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述电磁线圈沿所述坩埚本体的内壁设置有一组，在通入电流的状态下所述电磁线圈形成的磁场的作用力方向垂直于所述磁性盖片所在的平面。3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述电磁线圈在所述坩埚本体内设置有多组，多组所述电磁线圈之间相互平行且以所述蒸镀出口为中心周向设置，在通入电流的状态下多组所述电磁线圈形成的磁场的作用力方向均垂直于所述磁性盖片所在的平面。4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述电磁组件还包括设置在所述电磁线圈中心的铁芯。5.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，在所述蒸镀出口位于所述坩埚本体内的一侧周边还设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗程远，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11