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本发明实施例提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法,涉及真空蒸发镀膜领域,能够解决现有的蒸镀坩埚无法有效控制排气阀的开启时间,从而影响蒸镀过程的问题。包括:坩埚本体,在坩埚本体上设置有至少一个蒸镀出口。磁性盖片,盖设在蒸镀出口位置处,...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法,涉及真空蒸发镀膜领域,能够解决现有的蒸镀坩埚无法有效控制排气阀的开启时间,从而影响蒸镀过程的问题。包括:坩埚本体,在坩埚本体上设置有至少一个蒸镀出口。磁性盖片,盖设在蒸镀出口位置处,...