一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台制造技术

本发明专利技术公开了一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台，主要由电极盘(1)，设置在电极盘(1)上并与电极盘(1)电连接的蒸发舟(7)，与蒸发舟(7)一一对应设置并与蒸发舟(7)电连接的从电极耳(3)组成。本发明专利技术的阻蒸盘设置有多个蒸发舟，该阻蒸盘能同时放置多种靶材，通过转换阻蒸盘的位置可对不同的靶材进行加热，本发明专利技术很好的解决了一位式阻蒸盘不能同时放置多种靶材，和不能连续的对不同靶材进行加热的问题，从而有效的减小了操作者的工作量，很好的提高了阻蒸器的工作效率。

Shock proof type multi stop steam station for steam resistance device

The invention discloses a shockproof type steam resistance Taiwan a resistance steamer, mainly by the electrode plate (1), (1) arranged on the electrode disc and disc electrode (1) electrically connected to the evaporator (7), and the evaporator (7) and set the corresponding evaporator (7) electrical connection from the electrode ear (3). The invention of the steam resistance plate is provided with a plurality of evaporation, the steam can also drag disc placed on a variety of target, through the conversion of resistance steaming plate location can be heated to different target materials, the invention solves a steaming plate type resistance cannot be placed on a variety of targets, and not continuous on different targets for the problem of heating, thus effectively reduces the operator's workload, greatly improve the working efficiency of the steam resistance.

【技术实现步骤摘要】
一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台
本专利技术涉及一种阻蒸器用阻蒸台，具体是指一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台。
技术介绍
阻蒸镀膜一般是通过加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。阻蒸台是阻蒸器中用于对靶材加热的组件，目前多采用的阻蒸台为一位式阻蒸台，这种阻蒸台只能对一种靶材进行加热，对不同的靶材进行加热时，则需要对蒸发舟进行清理后重新放置需加热的靶材，而不能连续的对不同的靶材进行加热，很大程度上降低了阻蒸器的工作效率。因此，提高一种既能同时放置多种靶材，又能连续的对不同的靶材进行加热的阻蒸台便是当务之急。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有的阻蒸台不能同时放置多种靶材，因此不能连续的对不同的靶材进行加热的缺陷，提供一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台。本专利技术的目的通过下述技术方案现实：一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台，主要由电极盘，设置在电极盘上并与电极盘电连接的蒸发舟，与蒸发舟一一对应设置并与蒸发舟电连接的从电极耳组成；所述从电极耳上还设置有与电极盘相连接的弹性组件；所述电极盘上设有多个蒸发舟。所述电极盘上设有加强筋。所述弹性组件包括与从电极耳相连接的绝缘垫，设置在绝缘垫上的安装板，以及一端与安装板相连接、以及一端与安装板相连接、另一端分别与加强筋和电极盘相连接的弹性件。所述电极盘上设有与蒸发舟一一配合的安装槽，所述蒸发舟的一端通过电极压块连接在电极盘上、其另一端通过从电极压块连接在从电极耳上。所述电极盘上分别设置有电极压块安装孔、加强筋安装孔和弹性件安装孔，所述加强筋安装孔上设有与电极盘上的弹性件安装孔相对应的通孔。所述电极盘为钢盘。所述弹性件为弹簧钢片。本专利技术与现有技术相比具有以下优点及有益效果：(1)本专利技术的电极盘上设有多个蒸发舟，因此，本专利技术能同时放置多种靶材，并通过转动电极盘能对不同的靶材进行加热，本专利技术很好的解决了一位式阻蒸盘不能同时放置多种靶材，并且不能连续的对不同靶材进行加热的问题，从而提高了阻蒸器的工作效率，有效的减小了操作者的工作量。(2)本专利技术在从电极耳与阻蒸盘之间设置了弹性组件，该弹性组件能使从电极耳快速的复位，防止了蒸发舟在受热后出现变形或断裂，从而有效的提高了蒸发舟的使用寿命。(3)本专利技术的具有结构简单、设计合理和生产成本低等优点。附图说明图1为本专利技术的俯视图。图2为本专利技术的剖视图。图3为本专利技术的电极盘的结构示意图。上述附图中，附图标记对应的部件名称如下：1—电极盘，2—绝缘垫，3—从电极耳，4—安装板，5—从电极压块，6—电极压块，7—蒸发舟，8—弹性件，9—加强筋，101—安装槽，102—电极压块安装孔，103—安装凹槽，104—弹性件安装孔，105—加强筋安装孔，106—槽孔。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术作进一步地详细说明，但本专利技术的实施方式并不限于此。实施例如图1～3所示，本专利技术公开了一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台，主要由电极盘1，设置在电极盘1上并与电极盘1电连接的蒸发舟7，与蒸发舟7一一对应设置并与蒸发舟7电连接的从电极耳3组成。其中，所述电极盘1如图1所示，本专利技术在电极盘1上设有六个蒸发舟7。同时，如图1、2所示，在所述的从电极耳3与电极盘1之间设有弹性组件，该弹性组件如图1所示，其包括绝缘垫2，安装板4，以及弹性件8。实施时，本专利技术所述的电极盘1优先采用了耐高温、导电性能强的钢盘来实现，本专利技术将电极盘1设置为圆形，如图1～3所示，在电极盘1上设置了与蒸发舟7一一配合的安装槽101，该安装槽101的数量可根据蒸发舟7的数量进行调整。电极盘1上还设置了多个电极压块安装孔102、弹性件安装孔104和加强筋安装孔105。该电极盘1上还设置有用于安装电极输入杆的安装凹槽103，在该安装凹槽103的底部设有用于安装固定螺钉的槽孔106，该槽孔106用于安装对电极输入杆进行固定的螺钉。所述的蒸发舟7优先采用了耐高温的钨舟，该蒸发舟7安装在电极盘1的安装槽101内，蒸发舟7的一端通过电极压块6连接在电极盘1上，其而另一端则通过从电极压块5连接在与电极盘1相配合的从电极耳3上，电极压块6通过与电极盘1上的电极压块安装孔102相配合的螺钉固定在电极盘1上，从电极压块5同样通过螺钉固定在从电极耳3上，这样便于蒸发舟7的安装或更换。所述电极盘1长期在高温下工作其硬度容易降低，为了防止电极盘1的硬度降低后使整个阻蒸台出现变形的问题，本专利技术在电极盘1的底部设置了多条加强筋9，该加强筋9通过与电极盘1的加强筋安装孔105螺纹相连接的螺钉固定在电极盘1上。所述加强筋9本专利技术优先设置为六条，该六条连接在一起，加强筋9的数量可根据需要进行调整，该加强筋9上设置了与电极盘1的安装槽103相配合使用的穿心孔，并且该加强筋9上还设有与电极盘1上的弹性件安装孔104相对应的通孔。外部的电极输入杆则贯穿加强筋9上的通孔后安装在电极盘1的安装槽103上，并通过螺钉贯穿安装槽103上的槽孔106后将外部的电极输入杆固定在安装槽103内。所述从电极耳3与从电极外部引入装置中的夹紧件相连接，而从电极外部引入装置的夹紧件在夹紧从电极耳3时会使从电极耳3的位置发生变化，如果夹紧件张开时从电极耳3不能及时复位，与从电极耳3相连接的蒸发舟7便容易出现变形或断裂。本专利技术为了防止蒸发舟7变形或断裂，在从电极耳3与电极盘1之间设置了弹性组件。该弹性组件能在从电极外部引入装置中的夹紧件张开时，使从电极耳3快速的复位，从而有效的防止了蒸发舟7出现变形或断裂。所述弹性组件如图1、2所示，其包括绝缘垫2，安装板4，以及弹性件8。其中，所述的绝缘垫2优先采用了陶瓷材料制成的绝缘垫，该绝缘垫2通过螺钉固定设置在从电极耳3的底部，安装板4则通过螺钉固定设置在绝缘垫2上。安装板4本专利技术采用了金属材料制成的安装板，该安装板4则用于安装弹性件8，弹性件8通过螺钉安装在安装板4上，且该弹性件8的一端通过螺钉安装在安装板4上，而另一端通过贯穿强筋9上的通孔后与电极盘1上的弹性件安装孔104螺纹连接的螺钉固定设置在加强筋9上。所述弹性件8本专利技术优先采用了具有较强的弹性的弹簧钢片制成，所述从电极耳3可延电极盘1与弹性件8的连接端上下摆动。该弹性件8能在从电极外部引入装置的夹紧件张开时，通过弹性件8所具有的弹性使与从电极耳3相连接的蒸发舟7快速的复位，从而防止了蒸发舟7在受热后出现变形，并且有效的提高了蒸发舟7的使用寿命。本专利技术具体实施时，将外部输入电极杆贯穿加强筋9上的通孔后安装在电极盘1的安装槽103上，将不同的靶材分别放置在多位阻蒸器上的六个蒸发舟7内，并将从电极耳3连接在从电极外部引入装置的夹紧件上，开启电源，蒸发舟7得电，蒸发舟7开始对靶材进行加热；当蒸发器停止工作时，弹性组件则能快速的使从电极耳3复位，即弹性组件能快速的使蒸发舟7快速的复位，从而很好的防止了蒸发舟7受热后变形。当人们需对多位阻蒸台上的其它位置的蒸发舟7内的靶材进行加热时，只需转动电极盘1，使与所需加热的蒸发舟7相对应的从电极耳3连接在从电极外部引入装置的夹紧件上，便能实现对需蒸发的靶材进行蒸发，不需要关闭阻蒸器后重新放置所需的靶材。从而使本专利技术实现了对不同靶材连续加热的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台，主要由电极盘(1)，设置在电极盘(1)上并与电极盘(1)电连接的蒸发舟(7)，与蒸发舟(7)一一对应设置并与蒸发舟(7)电连接的从电极耳(3)组成；其特征在于，所述从电极耳(3)上还设置有与电极盘(1)相连接的弹性组件；所述电极盘(1)上设有多个蒸发舟(7)。

【技术特征摘要】
1.一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台，主要由电极盘(1)，设置在电极盘(1)上并与电极盘(1)电连接的蒸发舟(7)，与蒸发舟(7)一一对应设置并与蒸发舟(7)电连接的从电极耳(3)组成；其特征在于，所述从电极耳(3)上还设置有与电极盘(1)相连接的弹性组件；所述电极盘(1)上设有多个蒸发舟(7)。2.根据权利要求1所述的一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台，其特征在于：所述电极盘(1)上设有加强筋(9)。3.根据权利要求2所述的一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台，其特征在于：所述弹性组件包括与从电极耳(3)相连接的绝缘垫(2)，设置在绝缘垫(2)上的安装板(4)，以及一端与安装板(4)相连接、另一端分别与加强筋(9)和电极盘(1)相连接的弹性件(8)。4.根据权利要求1～...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹德，向勇，孙力，
申请(专利权)人：成都西沃克真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51