Fe‑Ni系合金金属箔的电镀装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种在Fe‑Ni合金金属箔的表面进行电镀的电镀装置，包括：电解槽，包括电解液；第一导电辊和第二导电辊，位于所述电解槽外部，并用作阴极；浸渍辊，位于所述电解槽内部，将通过第一导电辊供应的金属箔引入到电解槽内部，并使其浸渍到电解液中后通过第二导电辊排出；一对第一阳极，设置于所述第一导电辊与所述浸渍辊间的金属箔移动路径的两侧；一对第二阳极，设置于所述浸渍辊与第二导电辊间的金属箔移动路径的两侧；以及电镀槽，通过连接使所述第一导电辊与所述第一阳极导电且使所述第二导电辊与所述第二阳极导电。

Electroplating device and method of Fe Ni alloy foil

The present invention relates to a device for electroplating, plating Fe Ni alloy in a metal foil surface comprises an electrolytic tank, including electrolyte; the first conductive roller and conductive roller second, located in the electrolytic bath outside, and used as a cathode; immersion roll, located inside the cell, will be introduced into the interior of the electrolytic bath by the first conductive metal foil and supply, and the dipping into the electrolyte through the conductive roller second discharged; a first anode, both sides are arranged on the first conductive roller and the dip roll between the metal foil moving path; a second anode, metal foil is arranged on the moving path on both sides of the conductive roller the dipping roller and the second; and the plating bath, by connecting the first conductive roller and the first anode and the second conductive roller and the second conductive anode.

【技术实现步骤摘要】
Fe-Ni系合金金属箔的电镀装置及方法
本专利技术涉及一种在可应用为品质特性优异的电子器件用面板(panel)、精细金属掩膜(FMM：FineMetalMask)、密封材或接合材料的Fe-Ni系合金金属箔上形成功能性后处理层的电镀方法及装置。
技术介绍
金属箔被开发为多种用途而广泛利用于家庭/工业中。例如，铝箔(AluminumFoil)广泛用于家庭或食物烹调，不锈钢箔(StainlessSteelFoil)主要用作建筑用内饰材料或外饰材料。并且，电解铜箔(ElectrolyticCopperFoil)广泛用于印刷回路基板(PCB：PrintedCircuitBoard)的电路，最近广泛用于电脑、个人掌上电脑(PDA)、电子书、手机等小型产品。还生产特殊用途的金属箔，其中Fe-Ni系合金金属箔因热膨胀系数(CoefficientofThermalExpansion，CTE)低而能够用作有机发光二极管(OLED，OrganicLightEmittingDiodes)用基板、密封材及FMM用材料等，还作为二次电池的集电体或电子器件的基板等而备受关注。众所周知，制造这种Fe-Ni系合金金属箔的方法有轧制(Rolling)法和电铸(Electro-Forming)法。其中，电铸法是向与设置在电解槽内的旋转的圆筒形阴极辊相对的一对圆弧形状的阳极所围绕的缝隙，通过供液喷嘴供应电解液来导电，使Fe-Ni系合金电沉积到所述阴极辊的表面，通过收卷来制造金属箔的方法。通过这种电铸法制造的Fe-Ni系合金金属箔的优点在于平均晶粒大小微细而机械物理性质优异，还可使用较低制造费用而使得制造成本低。另外，通过电铸法制造的Fe-Ni系合金金属箔虽然具有能够制造成柔韧且超极薄的优点，但若无法有效防止(确保防锈性)Fe-Ni系合金金属箔表面及内部不可避免地含有的水分或运送及储存中发生的生锈(红绣)，则会导致难以适用材料或缩短制造出的元件寿命的问题。为解决这种问题，采用了针对箔表面的多种防锈涂覆技术。其中，还曾提出过在Fe-Ni合金的外面形成电解铜(Cu)镀覆层并形成由电解殷钢形成的散热电路层来提高耐蚀性及散热性能的技术等(韩国专利公开第2011-0053805号)。作为另一例，通过电铸法制造的Fe-Ni系合金金属箔中，原子间化学结合且不伴随原子之间的扩散过程，因此残余应力非常大，根据不同情况，还有可能发生形状不均的现象。因此，一般，制造后要经通过焊后热处理消除残余应力的工艺，这种焊后热处理过程中会产生表面变色和表面生锈的问题。作为解决这种问题的一个例子，为了防止所述Fe-Ni合金金属箔的热处理过程中产生表面变色，曾提出在表面涂覆金属来形成金属阻挡层的方案。所述金属阻挡层能够有效防止在300℃以上高温的大气氛围下的氧气的渗透及Fe-Ni金属箔内的Fe向表面扩散，从而有助于提高Fe-Ni系合金金属箔的耐热性及防锈性。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题所述金属阻挡层可通过无电镀法、电解法或真空蒸镀法形成，本专利技术涉及一种用电解法(电镀法)在Fe-Ni金属箔上形成耐热性金属阻挡层或另一功能性金属涂覆的装置。本专利技术提供一种装置，当制造可应用为品质特性优异的电子器件用面板(panel)、精细金属掩膜(FMM：FineMetalMask)、密封材或接合材料的Fe-Ni系合金金属箔时，为了使金属箔具有特定功能而用金属处理表面的情况下，在Fe-Ni系合金金属箔表面进行电镀的装置。本专利技术要解决的技术问题并不限定于上述内容，本专利技术附加的技术问题记载于整个说明书内容中，本专利技术所属
的技术人员在通过本专利技术的说明书理解附加的技术问题上不存在任何困难。(二)技术方案本专利技术的作为在Fe-Ni合金金属箔的表面进行电镀的电镀装置，包括：电解槽，包括电解液；第一导电辊和第二导电辊，位于所述电解槽外部，并用作阴极；浸渍辊，位于所述电解槽内部，将通过第一导电辊供应的金属箔引入到电解槽内部，并使其浸渍到电解液中后通过第二导电辊排出；一对第一阳极，设置于所述第一导电辊与所述浸渍辊间的金属箔移动路径的两侧；一对第二阳极，设置于所述浸渍辊与所述第二导电辊间的金属箔移动路径的两侧；以及电镀槽，通过连接使所述第一导电辊与所述第一阳极间导电，且使所述第二导电辊与所述第二阳极间导电。所述电镀槽可具备2个以上，一个电镀槽和与其相邻的电镀槽共享一个导电辊。所述共享的导电辊可与形成一个电镀槽的上通道的阳极桥和形成邻接电镀槽的下通道的阳极桥电连接。在金属箔与所述第一导电辊接触后开始分离的地点部位，可具备用于向所述金属箔的两面喷电镀溶液的喷头。所述第一导电辊和第二导电辊中的至少一个导电辊在开始与金属箔接触的位置上可具备缓冲辊。本专利技术提供一种在Fe-Ni合金金属箔的表面进行电镀的电镀方法，所述电镀方法使用电镀装置，所述电镀装置包括：电解槽，包括电解液；第一导电辊和第二导电辊，位于所述电解槽外部，并用作阴极；浸渍辊，位于所述电解槽内部，将通过第一导电辊供应的金属箔引入到电解槽内部，并使其浸渍到电解液中后通过第二导电辊排出；一对第一阳极，设置于所述第一导电辊与所述浸渍辊间的金属箔移动路径的两侧；以及一对第二阳极，设置于所述浸渍辊与所述第二导电辊间的金属箔移动路径的两侧，电连接所述第一阳极与所述第一导电辊、电连接第二阳极与第二导电辊，并施加电流。另外，优选向金属箔与所述第一导电辊接触后开始分离的地点部位喷电镀溶液，将所述电镀溶液优选喷在金属箔的两面。进而，优选在所述金属箔开始与所述第一导电辊和所述第二导电辊中的至少一个导电辊接触的位置，通过缓冲辊使所述金属箔紧贴导电辊。(三)有益效果根据本专利技术，使得比电阻大而难以导电的Fe-Ni系合金金属箔具有固定的电压差，从而能够执行均匀的金属涂覆，制造高品质的Fe-Ni金属箔。进而，能够在高品质的Fe-Ni金属箔上均匀地形成功能性涂覆层，提高金属箔的耐热性、散热性等，因此可优选用作有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiodes)用FMM、密封材、电子器件的基板等的材料。附图说明图1是概略性地示出包括一般电镀槽的电镀装置的剖面结构的图。图2是示出施加相同电流时测定基于材料及极间距离的刷镀电压变化的图表。图3是概略性地示出可适用于比电阻高的Fe-Ni合金箔的本专利技术一实施例的导电结构的图。图4是概略性地示出本专利技术一实施例的具备溶液喷头的电镀槽的图。图5是概略性地示出本专利技术一实施例的具备缓冲辊的电镀槽的图。具体实施方式本专利技术作为向可应用为品质特性优异的电子器件用面板、精细金属掩膜(FMM：FineMetalMask)、密封材或接合材料的Fe-Ni系合金金属箔赋予功能性的方案，提供一种在Fe-Ni合金金属箔表面进行金属电镀的方法。下面参照附图来更具体地说明。图1是对为了确保Fe-Ni合金金属箔的耐热性、耐蚀性及蚀刻性等物理性质而能够实现两面和/或偏差电镀处理、干燥等的Fe-Ni合金金属箔的后处理设备的电镀槽的一个例子。将具有约20μm厚度的Fe-Ni合金金属箔连接到如图1中的后处理电镀槽并施加适当程度以上的电流(Current)时，能够确认到随刷镀电压上升而在导电辊(ConductorRoll)中发生电弧(Arc)等短路(Shot)现象本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电镀装置，其作为在Fe‑Ni合金金属箔的表面进行电镀的电镀装置，包括：电解槽，包括电解液；第一导电辊和第二导电辊，位于所述电解槽外部，并用作阴极；浸渍辊，位于所述电解槽内部，将通过第一导电辊供应的金属箔引入到电解槽内部，并使其浸渍到电解液中后通过第二导电辊排出；一对第一阳极，设置于所述第一导电辊与所述浸渍辊间的金属箔移动路径的两侧；一对第二阳极，设置于所述浸渍辊与所述第二导电辊间的金属箔移动路径的两侧；以及电镀槽，通过连接使所述第一导电辊与所述第一阳极间导电，且使所述第二导电辊与所述第二阳极间导电。

【技术特征摘要】
2015.12.24 KR 10-2015-01858901.一种电镀装置，其作为在Fe-Ni合金金属箔的表面进行电镀的电镀装置，包括：电解槽，包括电解液；第一导电辊和第二导电辊，位于所述电解槽外部，并用作阴极；浸渍辊，位于所述电解槽内部，将通过第一导电辊供应的金属箔引入到电解槽内部，并使其浸渍到电解液中后通过第二导电辊排出；一对第一阳极，设置于所述第一导电辊与所述浸渍辊间的金属箔移动路径的两侧；一对第二阳极，设置于所述浸渍辊与所述第二导电辊间的金属箔移动路径的两侧；以及电镀槽，通过连接使所述第一导电辊与所述第一阳极间导电，且使所述第二导电辊与所述第二阳极间导电。2.根据权利要求1所述的电镀装置，所述第一导电辊与第一阴极间的第一极间距离和第二导电辊与第二阴极间的第二极间距离相同。3.根据权利要求1或2所述的电镀装置，具备2个以上所述电镀槽，一个电镀槽和与其相邻的电镀槽共享一个导电辊。4.根据权利要求3所述的电镀装置，共享的所述导电辊与形成一个电镀槽的上通道的阳极桥和形成邻接电镀槽的下通道的阳极桥电连接。5.根据权利要求1或2所述的电镀装置，在金属箔与所述第一导电辊接触后开始...

【专利技术属性】
技术研发人员：李在隆，李载坤，其他发明人请求不公开姓名，
申请(专利权)人：POSCO公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR