对准镜筒、对准镜头及光刻机制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻技术领域，尤其涉及一种对准镜筒、对准镜头及光刻机。对准镜筒包括第一镜筒和第二镜筒；第一镜筒沿长度方向设置有第一光路通道，第一光路通道贯穿第一镜筒；第二镜筒沿长度方向设置有第二光路通道，第二光路通道贯穿所述第二镜筒；第一镜筒的第一端与第二镜筒的第三端可拆卸连接，第一镜筒的长度方向与第二镜筒的长度方向重合；对准镜头包括上述对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组；光刻机包括上述对准镜头。本实用新型专利技术的目的在于提供一种对准镜筒、对准镜头及光刻机，以解决现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了难度的技术问题。

Aligning the lens barrel, aligning lens and photoetching machine

The utility model relates to the technical field of lithography, in particular to an aligning lens barrel, an alignment lens and a photoetching machine. At the first and second lens barrel includes a barrel; the first barrel is provided with a first optical channel along the length direction, the first light passage through the first barrel; the second lens barrel is provided with second optical channels along the length direction, the second light passage through the second barrel; the first end and the second barrel the first lens barrel third terminal remove the link length direction, the first barrel and second barrel of coincidence; including the camera alignment lens also comprises a first lens group and the second lens group includes the lens alignment lithography machine. The utility model aims to provide an alignment lens, lens alignment and lithography, in order to solve the slender cylinder alignment tube of the existing technology has brought difficulty to machining and assembly late optical lens.

【技术实现步骤摘要】
对准镜筒、对准镜头及光刻机
本技术涉及光刻
，尤其是涉及一种对准镜筒、对准镜头及光刻机。
技术介绍
光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征的构图的技术。这样的基底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的芯片。在直写式光刻机的光刻系统中，特征图形由空间光调制器微镜阵列产生，这些微镜可以独立寻址单独受控以不同的倾斜方向反射照射的光束，以产生空间光强调制，最后将特征图形通过相应成像光路投影到PCB板上，为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。目前，直写式光刻机设备的对准镜筒一般采用传统的圆筒状结构将光学系统光路组件包裹起来，这包括四组直径不同的镜片，一个光阑及相应的隔圈、压圈等部件。这种结构因为镜片的直径均较小，且光路上要求镜片间距较大等原因造成对准镜筒筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度。因此，本申请针对上述问题提供一种新的对准镜筒、对准镜头及光刻机。
技术实现思路
本技术的第一目的在于提供一种对准镜筒，以解决现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。本技术的第二目的在于提供一种对准镜头，以解决现有的对准镜头的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。本技术的第三目的在于提供一种光刻机，以解决现有的光刻机的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。基于上述第一目的，本技术提供一种对准镜筒，包括第一镜筒和第二镜筒；所述第一镜筒沿长度方向设置有用于固设第一镜片组的第一光路通道，所述第一光路通道贯穿所述第一镜筒；所述第二镜筒沿长度方向设置有用于固设第二镜片组的第二光路通道，所述第二光路通道贯穿所述第二镜筒；所述第一镜筒的第一端与所述第二镜筒的第三端可拆卸连接，且所述第一镜筒的长度方向与所述第二镜筒的长度方向重合。进一步地，本技术所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧能够套设入所述第一光路通道内；所述第二镜筒与所述第一镜筒通过螺接或者扣接连接。进一步地，本技术所述第一镜筒靠近所述第一端的一侧具有锥形内周面；所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧具有与所述锥形内周面相匹配的锥形外周面。进一步地，本技术所述锥形外周面延伸至所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧的端部。基于上述第二目的，本技术提供一种对准镜头，包括上述的对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组。进一步地，本技术所述第一镜片组包括第一镜片；所述第二镜片组包括第二镜片、第三镜片和第四镜片；所述第一镜片固设于所述第一光路通道内；沿所述第二光路通道的延伸方向，所述第二光路通道内依次固设有所述第二镜片、所述第三镜片和所述第四镜片；且所述第二镜片位于所述第一镜片与所述第三镜片之间。进一步地，本技术所述第一镜片的中心点、所述第二镜片的中心点、所述第三镜片的中心点和所述第四镜片的中心点均位于所述第一光路通道的中心线上。进一步地，本技术所述第一镜片通过第一压圈固设于所述第一光路通道内；所述第一压圈位于所述第一镜片远离所述第一端的一侧；所述第二镜片与所述第三镜片之间设置有隔圈，所述第二镜片与所述第三镜片通过第二压圈固设于所述第二光路通道内；所述第二压圈位于所述第二镜片靠近所述第三端的一侧；所述第四镜片通过第三压圈固设于所述第二光路通道内；所述第三压圈位于所述第四镜片远离所述第三端的一侧。基于上述第三目的，本技术提供一种光刻机，包括上述的对准镜头。进一步地，本技术所述第一镜筒远离所述第一端的一侧设置有用于连接环形光源的连接孔。综上所述，本技术提供的对准镜筒，包括第一镜筒和第二镜筒；第一镜筒内固设有第一镜片组，第二镜筒内固设有第二镜片组；使用时，先将第一镜片组安装在第一镜筒内，再将第二镜片组安装在第二镜筒内，之后将第一镜筒的第一端与第二镜筒的第三端连接，使得第一镜筒的长度方向与第二镜筒的长度方向重合，完成了对准镜筒的组装。由于光路上要求镜片间距较大等原因造成对准镜筒的筒体细长，因此本技术将对准镜筒的筒体沿长度方向分成两段：第一镜筒和第二镜筒，第一镜筒和第二镜筒组装后的长度等于现有技术中对准镜筒的筒体的长度，因而第一镜筒和第二镜筒的长度均小于现有技术中对准镜筒的筒体的长度，使得机械加工更简单、方便，从而也提高了加工精度；另一方面，由于第一镜筒和第二镜筒的长度均小于现有技术中对准镜筒的筒体的长度，因而后期光学镜片装配进第一镜筒和第二镜筒也变得更容易、方便，也提高了镜片的装配精度。解决了现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。本技术提供的对准镜头，包括上述的对准镜筒，解决了现有的对准镜头的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。本技术提供的光刻机，包括上述的对准镜头，解决了现有的光刻机的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施例一提供的对准镜筒的立体结构示意图；图2为本技术实施例一提供的对准镜筒的主视图；图3为本技术实施例一提供的对准镜筒的第一结构的剖视图；图4为本技术实施例一提供的对准镜筒的第二结构的剖视图；图5为本技术实施例一提供的对准镜筒的第三结构的剖视图。图标：1-第一镜筒；11-第一端；2-第二镜筒；21-第三端；3-第一光路通道；4-第二光路通道；51-第一镜片；52-第二镜片；53-第三镜片；54-第四镜片；61-第一压圈；62-第二压圈；63-第三压圈；7-连接孔。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对准镜筒，其特征在于，包括第一镜筒和第二镜筒；所述第一镜筒沿长度方向设置有用于固设第一镜片组的第一光路通道，所述第一光路通道贯穿所述第一镜筒；所述第二镜筒沿长度方向设置有用于固设第二镜片组的第二光路通道，所述第二光路通道贯穿所述第二镜筒；所述第一镜筒的第一端与所述第二镜筒的第三端可拆卸连接，且所述第一镜筒的长度方向与所述第二镜筒的长度方向重合。

【技术特征摘要】
1.一种对准镜筒，其特征在于，包括第一镜筒和第二镜筒；所述第一镜筒沿长度方向设置有用于固设第一镜片组的第一光路通道，所述第一光路通道贯穿所述第一镜筒；所述第二镜筒沿长度方向设置有用于固设第二镜片组的第二光路通道，所述第二光路通道贯穿所述第二镜筒；所述第一镜筒的第一端与所述第二镜筒的第三端可拆卸连接，且所述第一镜筒的长度方向与所述第二镜筒的长度方向重合。2.根据权利要求1所述的对准镜筒，其特征在于，所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧能够套设入所述第一光路通道内；所述第二镜筒与所述第一镜筒通过螺接或者扣接连接。3.根据权利要求2所述的对准镜筒，其特征在于，所述第一镜筒靠近所述第一端的一侧具有锥形内周面；所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧具有与所述锥形内周面相匹配的锥形外周面。4.根据权利要求3所述的对准镜筒，其特征在于，所述锥形外周面延伸至所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧的端部。5.一种对准镜头，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组。6.根据权利要求5所述的对准镜头，其特征在于，所述第一镜片组包括第一镜片；所述第二镜片...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宝金，刘涛，王喜宝，
申请(专利权)人：天津芯硕精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12