The invention discloses a method for wafer transfer optimization of wafer edge defect judgment, wafer alignment gap through an isolation valve position sensor four possible occlusion position through the pre initial angle, in handling controller single rotation angle and rotation angle range setting, in order to avoid the wafer gap from the four occlusion position through the position sensor and controller of wafer handling error caused by the center position, so as to realize the accurate control of the wafer transfer position, the wafer is arranged at the center of the electrostatic adsorption disc to avoid causing abnormal on the back of the helium flow rate and crystal defects edge down. The method of the invention has the advantages of convenient realization and obvious effect, and can be applied to the process requiring higher alignment of the wafer center in the process.
【技术实现步骤摘要】
一种用于优化晶圆边缘缺陷的晶圆传送方法
本专利技术涉及微电子领域,更具体地,涉及一种用于优化晶圆边缘缺陷的晶圆传送方法。
技术介绍
随着半导体集成电路技术的发展,半导体器件尺寸不断缩小,对器件的制造技术要求越来越高,因此,对于刻蚀时晶圆与刻蚀腔体中静电吸附盘中心之间重合的精度要求也越来越高。每片晶圆都会在其记录晶圆编号处设计有对准缺口,当晶圆吸附在静电吸附盘上时,该对准缺口处的静电吸附盘表面就将露出。因此,在浅沟槽刻蚀或多晶硅刻蚀过程中,为了保护静电吸附盘,避免其在晶圆对准缺口处露出的表面遭受等离子的连续轰击,延长其使用寿命,在通过搬运手臂进行晶圆的逐次传送时,采取了晶圆与晶圆之间每次按照顺时针方向依次转动一定角度的方式进行传送,以便当不同晶圆先后吸附在静电吸附盘上时,各晶圆上的对准缺口在静电吸附盘上的位置不断变换,以减少静电吸附盘在同一位置遭受等离子的连续轰击。但在浅沟槽隔离和多晶硅刻蚀工艺技术日趋成熟的同时,也存在着以下的一些问题。请参阅图1-图4,图1-图4是晶圆通过刻蚀腔体隔离阀门时的位置状态示意图。如图1所示,刻蚀腔体设有用于传送晶圆时供晶圆进出的隔离阀F,在隔离阀F的两侧,以左右非对称方式各设有一个位置传感器G,形成非对称的位置传感器G,用于在晶圆两侧轮廓位置分别感测晶圆的通过。因此,当晶圆的边缘经过腔体隔离阀门F时,共有四次遮挡安置于阀门上的非对称位置传感器G的机会。当晶圆的对准缺口E在传送过程中不经过两个非对称的位置传感器G的其中任意一个时,连接位置传感器G的搬运控制器就能够精确识别首先被感测到的晶圆边缘的A点位置。之后,在该晶圆通过过程中 ...
【技术保护点】
一种用于优化晶圆边缘缺陷的晶圆传送方法,所述晶圆通过搬运手臂传送至刻蚀腔体中的静电吸附盘上,所述刻蚀腔体设有用于晶圆进出的隔离阀,所述隔离阀两侧以非对称方式各设有一个位置传感器,用于分别感测晶圆的通过,所述搬运手臂和位置传感器分别连接搬运控制器,其特征在于,所述晶圆传送方法包括以下步骤:步骤S01:以晶圆上的对准缺口作为旋转角度的起点,在搬运控制器上设定晶圆传送时的初始角度、单次旋转角度以及旋转角度范围,以使晶圆在旋转角度范围内任意旋转时,其对准缺口在传送过程中都不会通过两个位置传感器中的任意一个;步骤S02:搬运手臂按照初始角度抓取第一个晶圆,向隔离阀方向传送,搬运控制器根据两个位置传感器感应的晶圆边缘非对准缺口处的四个点位置,计算出晶圆圆心的精确位置,并校正搬运手臂的最终放置位置,将晶圆送入刻蚀腔体,使晶圆安置于静电吸附盘上,并位于中心对准的位置进行工艺;步骤S03:完成工艺后,退出第一个晶圆;步骤S04:搬运手臂在旋转角度范围内逐次传送相对于前一个晶圆旋转单次旋转角度的后续晶圆进行工艺,直至完成整个批次的晶圆传送。
【技术特征摘要】
1.一种用于优化晶圆边缘缺陷的晶圆传送方法,所述晶圆通过搬运手臂传送至刻蚀腔体中的静电吸附盘上,所述刻蚀腔体设有用于晶圆进出的隔离阀,所述隔离阀两侧以非对称方式各设有一个位置传感器,用于分别感测晶圆的通过,所述搬运手臂和位置传感器分别连接搬运控制器,其特征在于,所述晶圆传送方法包括以下步骤:步骤S01:以晶圆上的对准缺口作为旋转角度的起点,在搬运控制器上设定晶圆传送时的初始角度、单次旋转角度以及旋转角度范围,以使晶圆在旋转角度范围内任意旋转时,其对准缺口在传送过程中都不会通过两个位置传感器中的任意一个;步骤S02:搬运手臂按照初始角度抓取第一个晶圆,向隔离阀方向传送,搬运控制器根据两个位置传感器感应的晶圆边缘非对准缺口处的四个点位置,计算出晶圆圆心的精确位置,并校正搬运手臂的最终放置位置,将晶圆送入刻蚀腔体,使晶圆安置于静电吸附盘上,并位于中心对准的位置进行工艺;步骤S03:完成工艺后,退出第一个晶圆;步骤S04:搬运手臂在旋转角度范围内逐次传送相对于前一个晶圆旋转单次旋转角度的后续晶圆进行工艺,直至完成整个批次的晶圆传送。2.根据权利要求1所述的用于优化晶圆边缘缺陷的晶圆传送方法,其特征在于,以对准缺口位于晶圆传送方向上的位...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯奇艳,许进,荆泉,任昱,张旭升,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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