一种插片机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种插片机，包括用于放置硅片的硅片盒，在硅片盒的侧部设有将层叠放置在硅片盒内的硅片分离开的喷水泵，在硅片盒的上方设有用于将分离开的单个硅片吸附并平移至硅片传送带的吸水泵，硅片传送带的另一端设有花篮，在花篮的上方设有用于将硅片传送带传送至花篮的硅片移送至下级皮带的机械手臂，硅片传送带设有硅片位置矫正装置，硅片位置矫正装置包括竖向设置的左侧导向板和竖向设置的右侧导向板，左侧导向板和右侧导向板呈喇叭口形设置，其开口端位于硅片来的方向，缩口端的端口宽度略大于硅片的宽度。它具有安装制作成本低、方便实用，硅片位置矫正效果可靠，提高生产效率、降低人工成本等特点。

Chip inserting machine

The utility model discloses a plug machine, used for silicon wafer including box, to the side of the box is provided with a silicon wafer laminated will spray pump placed in the wafer box away, on top of the wafer box is provided with a separate single wafer for adsorption and suction pump and shifted to silicon belt and the other end is provided with a basket of wafer conveyor belt, in the basket above is used for silicon wafer conveyor mechanical arm to the lower basket transferred to the belt conveyor belt is provided with a correction device, the silicon wafer, wafer position correction device comprises a right guide plate arranged vertically on the left side of the guide plate and arranged vertically, the left guide plate and on the right side of the guide plate is in horn shape, and the open end is located in the direction of the silicon wafer, necking end port width is larger than the width of silicon wafer. The utility model has the advantages of low installation and manufacture cost, convenience and practicability, reliable effect of silicon wafer position correction, improvement of production efficiency and reduction of labor cost.

【技术实现步骤摘要】
一种插片机
本技术涉及一种插片机。
技术介绍
插片机在插片过程中，硅片传输时硅片很容易倾斜或转圈，在输送至花篮篮过程中容易被整出瑕疵或碎片。这就降低了交片率和增加了瑕疵率。造成生产效率低、耽误生产进度、成本高、产生的不良品多等诸多弊端。插片机不能顺利插片入花篮，需要人工一一修正，这个人工修正的过程也会产生瑕疵片和碎片。这不仅同时增加了人员和人工投入，还不能很好的实现自动化生产。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种插片机，它具有安装制作成本低、方便实用，硅片位置矫正效果可靠，提高生产效率、降低人工成本等特点。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是：一种插片机，包括用于放置硅片的硅片盒，在硅片盒的侧部设有将层叠放置在硅片盒内的硅片分离开的喷水泵，在硅片盒的上方设有用于将分离开的单个硅片吸附并平移至硅片传送带的吸水泵，硅片传送带的另一端设有花篮，在花篮的上方设有用于将硅片传送带传送至花篮的硅片移送至下级皮带的机械手臂，硅片传送带设有硅片位置矫正装置，硅片位置矫正装置包括竖向设置的左侧导向板和竖向设置的右侧导向板，左侧导向板和右侧导向板以硅片传送带的中心线为中心对称设置在硅片传送带的两侧，左侧导向板和右侧导向板的外侧各自固定在插片机支臂上；左侧导向板和右侧导向板呈喇叭口形设置，其开口端位于硅片来的方向，缩口端位于硅片去的方向，缩口端的端口宽度略大于硅片的宽度；缩口端的端口至硅片传送带末端部的距离不大于硅片的长度。本技术进一步改进在于：硅片位置矫正装置中开口端的端口宽度约为硅片对角线的长度。左侧导向板和右侧导向板的外侧中部各自通过一个螺栓固定在插片机支臂上。左侧导向板和右侧导向板的高度为3cm。采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本技术通过在硅片传送带上设有硅片位置矫正装置，使在传输过程中发生倾斜的硅片在进入呈喇叭口形设置的左侧导向板和右侧导向板时进行位置自动校正，避免了在输送至花篮篮过程中硅片容易出现的瑕疵或碎片，省去了人工修正过程，节约了人工成本，提高了自动化生产程度。附图说明图1是本技术的结构示意图。在附图中：1、硅片；2、硅片盒；3、喷水泵；4、硅片传送带；5、吸水泵；6、花篮；7、机械手臂；8、左侧导向板；9、右侧导向板；10、插片机支臂；11、螺栓。具体实施方式下面将结合附图和具体实施例对本技术进行进一步详细说明。由图1所示的实施例可知，本实施例包括用于放置硅片1的硅片盒2，在硅片盒2的侧部设有将层叠放置在硅片盒2内的硅片1分离开的喷水泵3，在硅片盒2的上方设有用于将分离开的单个硅片1吸附并平移至硅片传送带4的吸水泵5，硅片传送带4的另一端设有花篮6，在花篮6的上方设有用于将硅片传送带4传送至花篮6的硅片1移送至下级皮带的机械手臂7，硅片传送带4设有硅片位置矫正装置，硅片位置矫正装置包括竖向设置的左侧导向板8和竖向设置的右侧导向板9，左侧导向板8和右侧导向板9以硅片传送带4的中心线为中心对称设置在硅片传送带4的两侧，左侧导向板8和右侧导向板9的外侧各自固定在插片机支臂10上；左侧导向板8和右侧导向板9呈喇叭口形设置，其开口端位于硅片1来的方向，缩口端位于硅片1去的方向，缩口端的端口宽度略大于硅片1的宽度；缩口端的端口至硅片传送带4末端部的距离不大于硅片1的长度。硅片位置矫正装置中开口端的端口宽度约为硅片1对角线的长度。左侧导向板8和右侧导向板9的外侧中部各自通过一个螺栓11固定在插片机支臂10上。左侧导向板8和右侧导向板9的高度为3cm。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种插片机，包括用于放置硅片(1)的硅片盒(2)，在所述硅片盒(2)的侧部设有将层叠放置在硅片盒(2)内的硅片(1)分离开的喷水泵(3)，在所述硅片盒(2)的上方设有用于将分离开的单个硅片(1)吸附并平移至硅片传送带(4)的吸水泵(5)，所述硅片传送带(4)的另一端设有花篮(6)，在所述花篮(6)的上方设有用于将硅片传送带(4)传送至花篮(6)的硅片(1)移送至下级皮带的机械手臂(7)，其特征在于：所述硅片传送带(4)设有硅片位置矫正装置，所述硅片位置矫正装置包括竖向设置的左侧导向板(8)和竖向设置的右侧导向板(9)，所述左侧导向板(8)和右侧导向板(9)以硅片传送带(4)的中心线为中心对称设置在硅片传送带(4)的两侧，所述左侧导向板(8)和右侧导向板(9)的外侧各自固定在插片机支臂(10)上；所述左侧导向板(8)和右侧导向板(9)呈喇叭口形设置，其开口端位于硅片(1)来的方向，缩口端位于硅片(1)去的方向，所述缩口端的端口宽度略大于硅片(1)的宽度；所述缩口端的端口至硅片传送带(4)末端部的距离不大于硅片(1)的长度。

【技术特征摘要】
1.一种插片机，包括用于放置硅片(1)的硅片盒(2)，在所述硅片盒(2)的侧部设有将层叠放置在硅片盒(2)内的硅片(1)分离开的喷水泵(3)，在所述硅片盒(2)的上方设有用于将分离开的单个硅片(1)吸附并平移至硅片传送带(4)的吸水泵(5)，所述硅片传送带(4)的另一端设有花篮(6)，在所述花篮(6)的上方设有用于将硅片传送带(4)传送至花篮(6)的硅片(1)移送至下级皮带的机械手臂(7)，其特征在于：所述硅片传送带(4)设有硅片位置矫正装置，所述硅片位置矫正装置包括竖向设置的左侧导向板(8)和竖向设置的右侧导向板(9)，所述左侧导向板(8)和右侧导向板(9)以硅片传送带(4)的中心线为中心对称设置在硅片传送带(4)的两侧，所述左侧导向板(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李峰起，颜玉峰，王辉，赵飞，及军，
申请(专利权)人：宁晋松宫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13