机械手换向控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了机械手换向控制装置，属于半导体器件制造领域。所述的机械手换向控制装置包括制动气缸(1)，旋转轴(2)，“L”形旋转件(3)，限位柱(4)，机械手(5)，回转盘(6)和机械手移动架(7)。旋转轴(2)穿过“L”形旋转件(3)的圆孔安装于机械手移动架(7)上，并可借助弹力回复原位，“L”形旋转件(3)安装于旋转轴(2)上。当制动气缸(1)上升时，顶起“L”形旋转件(3)下部下表面，使“L”形旋转件(3)上部内侧面脱离限位柱(4)，此时，机械手(5)便可绕回转盘(6)做旋转运动。当制动气缸(1)下降时，“L”形旋转件(3)回复原位，“L”形旋转件(3)上部内侧面压紧限位柱(4)，机械手(5)便做直线运动。

Manipulator reversing control device

The invention discloses a manipulator reversing control device, belonging to the field of semiconductor device manufacturing. The manipulator reversing control device comprises a brake cylinder (1), a rotating shaft (2), a L shaped rotating part (3), a limit post (4), a manipulator (5), a rotating disk (6) and a manipulator moving bracket (7). The rotating shaft (2) is mounted on a mechanical hand moving rack (7) through a round hole of the L type rotating part (3) and can be reversed in situ by means of an elastic force, and a L shaped rotating member (3) is mounted on the rotating shaft (2). When the brake cylinder (1) rises from the top of the \L\ shape rotating member (3) at the lower part of the lower surface of the \L\ shaped rotating parts (3) from the upper side limit column (4), at this time, the manipulator (5) can back turntable (6) rotation. When the brake cylinder (1) drops, the \L\ shaped rotating member (3) is returned to the original position, and the upper inner side of the L type rotating member (3) presses the spacing column (4), and the manipulator (5) makes a straight line movement.

【技术实现步骤摘要】
机械手换向控制装置
本专利技术涉及一种半导体器件制造装置，特别涉及一种制造半导体器件地离子注入机中的晶片传输机械手换向控制装置。
技术介绍
现有半导体集成电路制造技术中，随着集成度越来越高和电路规模越来越大，要求电路中单元器件尺寸越来越小，于是对半导体器件制造设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备，其内部的晶片传输机械手运动的平稳性和精确性直接关系到离子注入机整机的性能。目前国内使用的离子注入机中的晶片传输机械手的控制装置相对复杂，通常采用电机驱动的方式，结构繁琐，故障率高，并且运行中的平稳性和精确度较差。
技术实现思路
本专利技术克服现有技术的缺点，提供了一种结构简单，操作简便，可靠性高的机械手换向控制装置。本专利技术包括制动气缸，旋转轴，”L”形旋转件，限位柱，机械手，回转盘和机械手移动架。旋转轴穿过”L”形旋转件的圆孔安装于机械手移动架上，当制动气缸上升时，顶起”L”形旋转件下部下表面，使”L”形旋转件上部内侧面脱离限位柱，此时，机械手便可绕回转盘做旋转运动。当制动气缸下降时，”L”形旋转件回复原位，”L”形旋转件上部内侧面压紧限位柱，机械手便做直线运动。本专利技术采用气缸来控制机械手的运动形式，结构简单，维护方便，并且切换平滑，机械手运行平稳而精确。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中：1-制动气缸；2-旋转轴；3-”L”形旋转件；4-限位柱；5-机械手；6-回转盘；7-机械手移动架。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的结构和工作原理做进一步说明：如附图1所示，本专利技术包括制动气缸1，旋转轴2，”L”形旋转件3，限位柱4，机械手5，回转盘6，机械手移动架7。制动气缸1位于”L”形旋转件3下部下表面正对位置，当制动气缸1上升时可顶起”L”形旋转件3的下部下表面。”L”形旋转件3通过其上的孔穿过旋转轴2，并固定于其上。旋转轴2一端安装于机械手移动架7上，并具有弹性回复原位的功能，如安装弹簧，借助弹力来回复原位。”L”形旋转件3的上部内侧面正常状态为紧贴限位柱4。回转盘6安装于机械手移动架7上。机械手5安装于回转盘6上，并可绕回转盘6做自由旋转运动。在机械手工作时，通过制动气缸1的上升或下降，可改变机械5手的直线或旋转运动。当制动气缸1上升时，其顶面顶起”L”形旋转件3的下部的下表面，使”L”形旋转件3的上部内侧面脱离限位柱4，这样机械手5就可绕回转盘6做旋转运动。当制动气缸1下降时，其顶面脱离”L”形旋转件3的下部下表面，”L”形旋转件3在旋转轴2的弹性力作用下回复原位而压紧限位柱4，这样机械手5继续做直线运动。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机械手换向控制装置，包括机械手移动架(7)，机械手(5)，回转盘(6)，限位柱(4)，制动气缸(1)，其特征在于还包括”L”形旋转件(3)，旋转轴(2)；制动气缸(1)位于”L”形旋转件(3)下部下表面正对位置，”L”形旋转件(3)通过其上的圆孔穿过旋转轴(2)，并与旋转轴(2)固定在一起，旋转轴(2)一端安装于机械手移动架(7)上，”L”形旋转件(3)的上部内侧面正常状态为紧贴限位柱(4)，回转盘(6)安装于机械手移动架(7)上，机械手(5)安装于回转盘(6)上，并可绕回转盘(6)做自由旋转运动。

【技术特征摘要】
1.一种机械手换向控制装置，包括机械手移动架(7)，机械手(5)，回转盘(6)，限位柱(4)，制动气缸(1)，其特征在于还包括”L”形旋转件(3)，旋转轴(2)；制动气缸(1)位于”L”形旋转件(3)下部下表面正对位置，”L”形旋转件(3)通过其上的圆孔穿过旋转轴(2)，并与旋转轴(2)固定在一...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏燊艳，何刚，
申请(专利权)人：重庆蓝阳船舶修造有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50