直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面缺陷分布的方法技术

技术编号:9252596 阅读:209 留言:0更新日期:2013-10-16 19:28
本发明专利技术涉及一种直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面缺陷分布的方法,包括:将未转移的CVD石墨烯连同金属衬底一起放入氧化性溶液中,石墨烯褶皱以及其他缺陷处的金属衬底会被氧化,然后将氧化后的CVD石墨烯连同金属衬底置于光学显微镜下观察即可。本发明专利技术的方法重复性高、简单易行;本发明专利技术可以使处理前需要超高放大倍数显微镜才能观察到纳米级缺陷分布在低放大倍数光学显微镜下清晰显现出来。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面缺陷分布的方法,包括:将未转移的CVD石墨烯连同金属衬底一起放入氧化性溶液中,石墨烯褶皱处的金属衬底会被氧化,然后将氧化后的CVD石墨烯连同金属衬底置于光学显微镜下观察即可。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张燕辉于广辉陈志蓥王彬张浩然
申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
类型:发明
国别省市:

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