能量敏感性树脂组合物制造技术

本发明专利技术提供：即使在低温下对聚苯并噁唑前体进行热处理的情况下，也带来拉伸伸长率之类的机械特性和耐药品性优异、着色受到抑制、透明性高的聚苯并噁唑树脂的能量敏感性树脂组合物；使用上述能量敏感性树脂组合物的聚苯并噁唑膜或聚苯并噁唑成形体的制造方法；以及使用上述能量敏感性树脂组合物的图案制造方法。本发明专利技术所涉及的能量敏感性树脂组合物含有：聚苯并噁唑前体、溶剂、以及在光和热中的至少一种的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物(A)，所述聚苯并噁唑前体是使芳香族二胺二醇与二甲酰化合物或二羧酸二卤化物反应而获得的。

Energy sensitive resin composition

The present invention provides: even at low temperature and body heat treatment of polyphenylene oxazole before the case, the energy sensitive resin composition has mechanical properties and chemical resistance, excellent tensile elongation, inhibition of coloring and transparency of polybenzoxazole resin; using polystyrene resin composition and the energy sensitive membrane of sulfamethoxazole or polybenzoxazole compact production method; and a method of manufacturing pattern using the energy sensitive resin composition. The energy sensitive resin composition of the invention contains: PbO precursors, solvents, as well as in the light and heat of the at least one under the effect of decomposition and generates at least one compound of alkali and acid (A), the PbO precursors are the aromatic amine and two glycol two formyl compounds or two carboxylic acid halide reaction was two.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及含有聚苯并噁唑前体的能量敏感性树脂组合物、使用上述能量敏感性树脂组合物的聚苯并噁唑膜或聚苯并噁唑成形体的制造方法、以及使用上述能量敏感性树脂组合物的图案制造方法。
技术介绍
聚苯并噁唑树脂由于耐热性、机械强度、绝缘性、和尺寸稳定性等优异，不仅被用作纤维、膜，还被广泛用作各种元件、多层布线基板等电子基板之类的电气电子部件中的绝缘材、保护材。通常，聚苯并噁唑树脂是对前体聚合物在300℃左右的高温下进行热处理而形成的，所述前体聚合物是使芳香环中的相邻碳原子上具有氨基和羟基的芳香族二胺二醇与二醛化合物、二羧酸二卤化物之类的二羰基化合物在N－甲基－2－吡咯烷酮(NMP)、二甲基乙酰胺(DMAc)和二甲基甲酰胺(DMF)之类的有机溶剂中聚合获得的。作为通过这类方法制造的聚苯并噁唑树脂的具体例子，已知如下形成的聚苯并噁唑树脂：使芳香环中的相邻的碳原子上具有氨基和羟基的芳香族二胺二醇与二(4－甲酰基苯基)烷烃或二(4－卤代羰基苯基)烷烃在二甲基甲酰胺中反应，将所获得的前体聚合物的溶液从200℃起升温，最终在300℃下进行热处理而形成(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2012/137840号
技术实现思路
专利技术要解决的课题就专利文献1记载的这类现有方法而言，必须在高温下进行前体聚合物的加热，在低于200℃这样的低温下对前体聚合物进行加热时，聚苯并噁唑树脂的机械特性、耐药品性、透明性等的下降明显。本专利技术是鉴于上述课题作出的，目的在于提供：即使在低温下对聚苯并噁唑前体进行热处理的情况下，也带来拉伸伸长率之类的机械特性和耐药品性优异、着色受到抑制、透明性高的聚苯并噁唑树脂的能量敏感性树脂组合物、使用上述能量敏感性树脂组合物的聚苯并噁唑膜或聚苯并噁唑成形体的制造方法、以及使用上述能量敏感性树脂组合物的图案制造方法。用于解决课题的方案本专利技术人为了解决上述课题反复进行了深入研究。其结果是，发现通过对含有聚苯并噁唑前体的组合物添加在光和热中的至少一种的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物，可以解决上述课题，以至完成了本专利技术。具体而言，本专利技术提供以下方案。本专利技术的第一方案为一种能量敏感性树脂组合物，其含有：聚苯并噁唑前体、溶剂、以及在光和热中的至少一种的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物(A)，所述聚苯并噁唑前体是使下述式(1)所示的芳香族二胺二醇与下述式(2)所示的二羰基化合物反应而获得的。[化学式1](式中，Ra1为含有1个以上芳香环的4价的有机基团，关于式(1)所示的芳香族二胺二醇中所含的2组氨基和羟基的组合，在各组合中，氨基和羟基键合在Ra1中所含的芳香环上的相邻的2个碳原子上。)[化学式2](式中，Ra2表示2价的有机基团，A表示氢原子或卤素原子。)本专利技术的第二方案为一种聚苯并噁唑膜或聚苯并噁唑成形体的制造方法，其包括：形成包含上述能量敏感性树脂组合物的涂膜或成形体的形成工序；和通过对上述涂膜或成形体进行曝光或加热使上述涂膜或成形体中的化合物(A)分解的分解工序。本专利技术的第三方案为一种图案制造方法，在上述化合物(A)为至少在光的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物的情况下，所述图案制造方法包括：形成包含上述能量敏感性树脂组合物的涂膜或成形体的形成工序；对上述涂膜或成形体进行选择性曝光的曝光工序；对曝光后的上述涂膜或成形体进行显影的显影工序；和对显影后的上述涂膜或成形体进行加热的加热工序。专利技术效果根据本专利技术，可以提供：即使在低温下对聚苯并噁唑前体进行热处理的情况下，也带来拉伸伸长率之类的机械特性和耐药品性优异、着色受到抑制、透明性高的聚苯并噁唑树脂的能量敏感性树脂组合物、使用上述能量敏感性树脂组合物的聚苯并噁唑膜或聚苯并噁唑成形体的制造方法、和使用上述能量敏感性树脂组合物的图案制造方法。具体实施方式《能量敏感性树脂组合物》本专利技术所涉及的能量敏感性树脂组合物至少含有：聚苯并噁唑前体、溶剂、以及在光和热中的至少一种的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物(A)，所述聚苯并噁唑前体是使上述式(1)所示的芳香族二胺二醇与上述式(2)所示的二羰基化合物反应而获得的。＜聚苯并噁唑前体＞聚苯并噁唑前体可以单独使用或将2种以上混合使用。作为聚苯并噁唑前体的合成原料，使用芳香族二胺二醇和特定结构的二羰基化合物。以下对芳香族二胺二醇和二羰基化合物进行说明。[芳香族二胺二醇]本专利技术中，使用下述式(1)所示的化合物作为芳香族二胺二醇。芳香族二胺二醇可以单独使用1种，也可以将2种以上组合使用。[化学式3](式中，Ra1为含有1个以上芳香环的4价的有机基团，关于式(1)所示的芳香族二胺二醇中所含的2组氨基和羟基的组合，在各组合中，氨基和羟基键合在Ra1中所含的芳香环上的相邻的2个碳原子上。)式(1)中，Ra1为含有1个以上芳香环的4价的有机基团，其碳数优选为6～50，更优选为6～30。Ra1可以为芳香族基团，也可以为2个以上芳香族基团经由脂肪族烃基和卤代脂肪族烃基或者含有氧原子、硫原子、和氮原子等杂原子的键键合而成的基团。作为Ra1中所含的含有氧原子、硫原子、和氮原子等杂原子的键，可以列举：－CONH－、－NH－、－N＝N－、－CH＝N－、－COO－、－O－、－CO－、－SO－、－SO2－、－S－、和－S－S－等，优选－O－、－CO－、－SO－、－SO2－、－S－、和－S－S－。Ra1中所含的芳香环还可以是芳香族杂环。Ra1中的与氨基和羟基键合的芳香环优选为苯环。Ra1中的与氨基和羟基键合的环为含有2个以上的环的稠合环时，该稠合环中的与氨基和羟基键合的环优选为苯环。作为Ra1的优选例子，可以例示下述式(1－1)～(1－9)中的任一个所示的基团。[化学式4](式(1－1)中，X1为选自碳数1～10的亚烷基、碳数1～10的氟代亚烷基、－O－、－S－、－SO－、－SO2－、－CO－、－COO－、－CONH－、和单键中的1种。式(1－2)～(1－5)中，Y1可以彼此相同或不同，为选自－CH2－、－O－、－S－、－SO－、－SO2－、－CO－、和单键中的1种。)上述式(1－1)～(1－9)中的任一个所示的基团可以在芳香环上具有1个或多个取代基。作为取代基的优选例子，优选氟原子、碳数1～6的烷基、碳数1～6的烷氧基、碳数1～6的氟代烷基、碳数1～6的氟代烷氧基。在取代基为氟代烷基或氟代烷氧基时，优选为全氟烷基或全氟烷氧基。作为上述式(1)所示的化合物的具体例子，可以列举：2，4－二氨基－1，5－苯二醇、2，5－二氨基－1，4－苯二醇、2，5－二氨基－3－氟－1，4－苯二醇、2，5－二氨基－3，6－二氟－1，4－苯二醇、2，6－二氨基－1，5－二羟基萘、1，5－二氨基－2，6－二羟基萘、2，6－二氨基－3，7－二羟基萘、1，6－二氨基－2，5－二羟基萘、4，4’－二氨基－3，3’－二羟基联苯、3，3’－二氨基－4，4’－二羟基联苯、2，3’－二氨基－3，2’－二羟基联苯、3，4’－二氨基－4，3’－二羟基联苯、4，4’－二氨基－3，3’－二羟基－6，6’－双三氟甲基联苯、3，3’－二氨基－4，4’－二羟基－6，6’－双三氟甲基联苯、2，3’－二氨基－3，2’－二羟基－6，6’－双三氟甲基联苯、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种能量敏感性树脂组合物，其含有：聚苯并噁唑前体、溶剂、以及在光和热中的至少一种的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物(A)，所述聚苯并噁唑前体是使下述式(1)所示的芳香族二胺二醇与下述式(2)所示的二羰基化合物反应而获得的，式(1)中，Ra1为含有1个以上芳香环的4价的有机基团，关于式(1)所示的芳香族二胺二醇中所含的2组氨基和羟基的组合，在各组合中，氨基和羟基键合在Ra1中所含的芳香环上的相邻的2个碳原子上，式(2)中，Ra2表示2价的有机基团，A表示氢原子或卤素原子。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.27 JP 2014-1330881.一种能量敏感性树脂组合物，其含有：聚苯并噁唑前体、溶剂、以及在光和热中的至少一种的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物(A)，所述聚苯并噁唑前体是使下述式(1)所示的芳香族二胺二醇与下述式(2)所示的二羰基化合物反应而获得的，式(1)中，Ra1为含有1个以上芳香环的4价的有机基团，关于式(1)所示的芳香族二胺二醇中所含的2组氨基和羟基的组合，在各组合中，氨基和羟基键合在Ra1中所含的芳香环上的相邻的2个碳原子上，式(2)中，Ra2表示2价的有机基团，A表示氢原子或卤素原子。2.根据权利要求1所述的能量敏感性树脂组合物，其中，所述化合物(A)含有在光和热中的至少一种的作用下分解并产生咪唑化合物的化合物(A－1)、和肟化合物(A－2)中的至少1种。3.根据权利要求2所述的能量敏感性树脂组合物，其中，所述化合物(A－1)为产生下述式(3)所示的咪唑化合物的化合物，式(3)中，R1、R2、和R3分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅醇基、硝基、亚硝基、磺酸基、膦基、氧膦基、磷酸基、或有机基团。4.根据权利要求2或3所述的能量敏感性树脂组合物，其中，所述化合物(A－1)为下述式(4)所示的化合物，式(4)中，R1、R2、和R3分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、...

【专利技术属性】
技术研发人员：野田国宏，千坂博树，盐田大，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP