【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及包含特定结构的结构单元的正型感光性树脂组合物、由该正型感光性树脂组合物的固化物形成的微透镜、和使用前述正型感光性树脂组合物的微透镜的制造方法。
技术介绍
1、以往，在照相机、摄像机等中，使用了固体摄像器件。在该固体摄像器件中，使用了ccd(charge-coupled device，电荷耦合器件)图像传感器、cmos(complementary metal-oxide semiconductor，互补金属氧化物半导体)图像传感器。在图像传感器中，设置有以提高聚光率为目的的微细的聚光透镜(以下称为微透镜)。
2、作为形成所述微透镜的方法，在工业上广泛采用了被称为热流法的方法。
3、在热流法中，首先，在ccd元件等的上部形成光致抗蚀剂膜。光致抗蚀剂膜是由感光性树脂组合物等构成的膜。然后，通过对光致抗蚀剂膜进行曝光、显影，从而在元件上形成由树脂形成的点图案。点图案是由位于待形成微透镜的部位的多个点形成的。构成点图案的各点具有大致圆筒形状、或大致圆锥台形状。通过于构成点的树脂材料的玻璃化转变温度以上的温度对点图案进行加热，从而构成点的树脂材料流动，利用表面张力，各点的形状变化为半球状的透镜形状。如上所述地形成了微透镜的图案(例如，参见专利文献1)。
4、另外，作为ccd或cmos图像传感器用微透镜的制作方法之一，已知有蚀刻法(专利文献2及3)。在该方法中，首先，在滤色器上形成微透镜用树脂层。接着，通过与上述的热流法同样的方法，使用感光性树脂组合物，在微透镜用树脂层上形成透镜图案。将如上所
5、现有技术文献
6、专利文献
7、专利文献1：日本特开2007-33518号公报
8、专利文献2：日本特开平1-10666号公报
9、专利文献3：日本特开平6-112459号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、在上述的热流法、蚀刻法中，为了形成微透镜的图案、具有微透镜形状的掩模图案，从热流动性的方面考虑，大多使用正型感光性树脂组合物。
3、对于被供于利用热流形成的微透镜的图案或具有微透镜形状的掩模图案的点而言，从形成微透镜的图案或具有微透镜形状的掩模图案时的作业性、所期望的形状的微透镜的图案或具有微透镜形状的掩模图案的形成容易性的方面考虑，要求宽的流动裕度(flow margin)。此处，流动裕度是能够形成所期望的形状的微透镜的图案、或具有微透镜形状的掩模图案的最低温度与最高温度之间的幅度。
4、另外，对于被供于利用热流形成的微透镜的图案或具有微透镜形状的掩模图案的点而言，为了形成所期望的形状及尺寸的微透镜，要求不发生显影后的膜厚的过度减少、与基板垂直的方向的截面形状为矩形。
5、然而，使用以往已知的正型感光性树脂组合物的情况下，难以形成显示出宽的流动裕度、不会发生显影后的膜厚的过度减少、并且由具有矩形截面的点形成的图案。
6、本专利技术是鉴于这样的以往的实际情况而作出的，其目的是提供能够形成显示出宽的流动裕度、不会发生显影后的膜厚的过度减少、并且由具有矩形截面的点形成的图案的正型感光性树脂组合物、由前述正型感光性树脂组合物的固化物形成的微透镜、及使用前述正型感光性树脂组合物的微透镜的制造方法。
7、用于解决课题的手段
8、本申请的专利技术人发现，通过在含有具有酸解离性溶解抑制基团并且在碱中的溶解性通过酸的作用而增大的树脂(a)、具备将树脂(a)交联的官能团的化合物(b)、光产酸剂(c)、和猝灭剂(d)的正型感光性树脂组合物中，使用作为光产酸剂(c)的鎓盐系光产酸剂、和作为猝灭剂(d)的脂肪族仲胺或脂肪族叔胺，能够解决上述课题，从而完成了本专利技术。具体而言，本专利技术提供以下方式。
9、本专利技术的第1方式为正型感光性树脂组合物，其含有：具有酸解离性溶解抑制基团并且在碱中的溶解性通过酸的作用而增大的树脂(a)；具备将树脂(a)交联的官能团的化合物(b)；光产酸剂(c)；和猝灭剂(d)，
10、树脂(a)包含树脂(a1)及树脂(a2)，
11、树脂(a1)具有下述式(a1)表示的结构单元及下述式(a2-1)表示的结构单元，
12、树脂(a2)具有下述式(a1)表示的结构单元及下述式(a2-2)或(a2-3)表示的结构单元，
13、光产酸剂(c)包含鎓盐系光产酸剂，
14、猝灭剂(d)包含选自脂肪族仲胺及脂肪族叔胺中的1种以上。
15、[化学式1]
16、
17、(式(a1)中，ra1表示氢原子、烷基、卤素原子、或卤代烷基，ra2表示氢原子或烷基，p表示1以上5以下的整数，q表示0以上4以下的整数。)
18、[化学式2]
19、
20、(式(a2-1)～(a2-3)中，ra3表示氢原子、烷基、卤素原子、或卤代烷基，ra4、ra5及ra6各自独立地表示氢原子或烷基，ra7表示烷基或环烷基，ra8表示具有叔碳原子的有机基团，式(a2-2)及式(a2-3)中的、o与ra8之间的键合为氧原子与前述叔碳原子的键合，r表示1以上5以下的整数，s及t各自独立地表示0以上4以下的整数。)
21、本专利技术的第2方式为微透镜，其是由第1方式涉及的正型感光性树脂组合物的固化物形成的。
22、本专利技术的第3方式为微透镜的制造方法，其包括下述工序：
23、使用第1方式涉及的正型感光性树脂组合物形成正型感光性树脂组合物层的工序；
24、位置选择性地对正型感光性树脂组合物层进行曝光的工序；
25、对经曝光的正型感光性树脂组合物层进行显影的工序；以及
26、对显影后的正型感光性树脂组合物层进行加热，使其变形为微透镜形状的工序。
27、本专利技术的第4方式为微透镜的制造方法，其包括下述工序：
28、在透镜材料层上，使用第1方式涉及的正型感光性树脂组合物而层叠正型感光性树脂组合物层的工序；
29、位置选择性地对正型感光性树脂组合物层进行曝光的工序；
30、对经曝光的正型感光性树脂组合物层进行显影的工序；
31、对显影后的正型感光性树脂组合物层进行加热，形成具有微透镜图案的掩模层的工序；以及
32、对透镜材料层及前述掩模层进行干式蚀刻，将微透镜图案的形状转印至透镜材料层的工序。
33、专利技术效果
34、根据本专利技术，可以提供能够利用光刻法形成显示出宽的流动裕度、不会发生显影后的膜厚的过度减少、并且由具有矩形截面的点形成的图案的正型感光性树脂组合物、由该正型感光性树脂组合物的固化物形成的微透镜、和使用前述正型感光性树脂组合物的微透镜的制造方法。
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1.正型感光性树脂组合物，其含有：具有酸解离性溶解抑制基团并且在碱中的溶解性通过酸的作用而增大的树脂(A)；具备将所述树脂(A)交联的官能团的化合物(B)；光产酸剂(C)；和猝灭剂(D)，
2.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述光产酸剂(C)包含具有下述式(c9)表示的阴离子部的鎓盐系光产酸剂，
3.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述式(a2-1)表示的结构单元相对于构成所述树脂(A)的全部结构单元而言的比率为10摩尔％以上35摩尔％以下，
4.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述正型感光性树脂组合物中的所述光产酸剂(C)中包含的鎓盐系光产酸剂的含量相对于所述猝灭剂(D)而言为2当量以上10当量以下。
5.微透镜，其是由权利要求1至4中任一项所述的正型感光性树脂组合物的固化物形成的。
6.微透镜的制造方法，其包括下述工序：
7.微透镜的制造方法，其包括下述工序：
【技术特征摘要】
1.正型感光性树脂组合物，其含有：具有酸解离性溶解抑制基团并且在碱中的溶解性通过酸的作用而增大的树脂(a)；具备将所述树脂(a)交联的官能团的化合物(b)；光产酸剂(c)；和猝灭剂(d)，
2.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述光产酸剂(c)包含具有下述式(c9)表示的阴离子部的鎓盐系光产酸剂，
3.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述式(a2-1)表示的结构单元相对于构成所述树脂(a)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：矶部信吾，山地晃大，仓田岬，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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